衢州常用晶圆植球设备销售企业
晶圆级微球植球机:晶圆级封装中鉴于电镀方式和印刷锡膏方式的缺点,业界一直在寻找替代解决方案,晶圆级植球技术的突破恰好满足了这一需求,并且随着多层堆叠技术(MCM)的发展,要求晶圆与晶圆间具有高精度的多引脚的10um级的互联,晶圆级植球技术可以稳定地实现。晶圆在前道刻好回路后,需要在各个芯片凸点上布上锡球,以达成电路的一个连通。目前主流以8寸,12寸晶圆为主,每片晶圆上有分布上千个芯片,每片芯片的凸点从几百到几千不等,需要在凸点上植入的锡球大小从50微米到300微米左右。晶圆植球机植球方式有人工手动植球和自动植球。衢州常用晶圆植球设备销售企业
全自动植球机,其包括架台、网板、供球机构、六自由度机械手、刮板及三维力传感器,网板通过网板夹持机构固定于架台上,所述的网板上设有与晶圆PAD点相对应的网孔,供球机构向网板上供应锡球;六自由度机械手为刮板动作的驱动机构,用于模仿手工植球方式,刮板设在六自由度机械手末端,受六自由度机械手带动而进行植球动作,三维力传感器设在六自由度机械手末端与刮板之间,用于检测植球过程中刮板的受力突变,并将刮板受力信息传递给六自由度机械手。与现有技术相比,本实用新型的植球机采用六自由度机械手,模仿人工植球动作,使植球动作更柔性、平稳,在工厂大批量生产情况下,稳定的植球质量可以得到保障。衢州常用晶圆植球设备销售企业晶圆植球设备采用了金属模板印刷法进行植球。
晶圆植球机的设备结构简易,易操作维护。根据客户需要,可选配检查补球机组线生产。晶圆植球机可对应8,12寸的晶圆。(注1)5.SECS/GEM、OHT、AGV可选。晶圆级微球植球机是半导体封装装备,专门用于6/8/12寸晶圆WLCSP封装制程,对应微球球径为80-450μm,对位精度达±25μm,植球良率达99.997%以上。单CCD双视场图像处理技术、微球弹性体压入技术和微球自动收集及循环供球技术,满足了微球搭载和精密丝网印刷工艺对定位精度的严苛要求,克服了国外同型号装备在定位精度和微球循环上的不足。
晶圆植球机的尺寸:850(W)x1100(D)x1750(H)mm二、WLCSP植球机TBM-10001)功能自动晶圆植球:自动对位,自动印刷和自动植球采用钢网印刷方式印刷助焊剂和锡球2)特点上下视野镜头自动定位,运动机构采用直线电机和DD马达,提高速度和精度独有的植球机构,特别适合微球植球,不伤球模块化结构,可以做成单机,也可以做成连线式机台;3)参数对应球大小50〜300微米对应产品:6、8、12英寸晶圆植球良率:不良率≤30PPM速度:UPH40(12英寸晶圆、200微米球)对应球50-300微米外形尺寸:3595(W)x1685(D)x1650(H)毫米。晶圆植球机,晶圆上凸点(Bump)的制作是关键的基础技术。
植球机注意事项:在使用时机台的放置不宜太挤,以免影响箱内的对流,在放置箱体时,请确保箱体有效接地,确保安全。工作时,请不要来回重复快速移动工作台,以免造成真空电机损坏。本机为半自动钢网植球机台。机台不使用时,请对钢网进行清洗,以防钢网变形损坏。使用时注意安全,工作中不要把手指放到工作范围内,以避免安全事故。日常维护:1、设备应经常保持清洁,钢网松软棉布擦拭,切忌用有腐蚀性的化学溶液擦拭,以免发生化学反应和擦伤钢网。2、如果机器长期不使用,应将机器进行清洗并封存,放在干燥的室内,以免电器受潮而影响使用。晶圆植球机工作时,请不要来回重复快速移动工作台,以免造成真空电机损坏。全自动植球机价钱
晶圆植球机的植球工艺是指制造芯片凸点(Bump)的过程。衢州常用晶圆植球设备销售企业
晶圆植球机使用的是比较多的,主要是因为产品的特性。晶圆植球机的设备结构简易,易操作维护。根据客户需要,可选配检查补球机组线生产。晶圆植球机可对应8,12寸的晶圆。(注1)5.SECS/GEM、OHT、AGV可选。晶圆级微球植球机是半导体封装装备,专门用于6/8/12寸晶圆WLCSP封装制程,对应微球球径为80-450μm,对位精度达±25μm,植球良率达99.997%以上。单CCD双视场图像处理技术、微球弹性体压入技术和微球自动收集及循环供球技术,满足了微球搭载和精密丝网印刷工艺对定位精度的严苛要求,克服了国外同型号装备在定位精度和微球循环上的不足。衢州常用晶圆植球设备销售企业
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