新北区多功能真空吸盘

    安装方便；(2)能有效保证减薄机在进行磨削晶圆时的真空吸附，并且能够防止多孔陶瓷在真空负压下产生过大的形变，保证吸盘主体的平整度，以及真空的均匀度；(3)吸盘可更换多孔陶瓷且不同尺寸的吸盘配合同一底座，降低了使用和加工成本。附图说明图1为本实用新型的结构示意图。图2为图1中吸盘环形槽处的局部示意图。图3为图1中腔体底部的十字环形交叉式水气通道示意图。附图标记：1-吸盘，2-内多孔陶瓷板，3-外陶瓷环，4-凸台，5-腔体，6-环形槽，7-第1水气通道，8-第二水气通道，9-吸盘主水气通道，10-吸盘辅助水气通道，11-吸盘密封槽，12-吸盘安装孔，13-底座，14-螺纹孔，15-底座水气通道，16-底座密封槽，17-底座安装孔。具体实施方式为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。请参照附图1-3所示，一种用于减薄机的真空吸盘，包括吸盘1和底座13，吸盘1安装在底座13上；所述吸盘1上部开设有腔体5，且腔体5内壁设有环形槽6，腔体5内安置有内多孔陶瓷板2、外陶瓷环3，所述内多孔陶瓷板2和外陶瓷环3粘接，外陶瓷环3和环形槽6粘接。高淳区糖袋真空吸盘推荐厂家！新北区多功能真空吸盘

    且可以在通孔14内进行上下活动；阀芯密封3安装在真空阀芯1的环形凹槽11内，可以密封真空阀芯1和面板13之间的间隙；调整顶丝6安装在吸盘主体5下部底板16的螺纹孔17内，调整顶丝6可以在底板16内通过螺纹副上下活动，通过压缩弹簧7调节真空阀芯1的预紧力；调整顶丝6与真空阀芯1的盲孔12之间安装弹簧7；参照附图2、3，试样8放置在吸盘主体5的上表面，并压迫部分真空阀芯1退回至吸盘主体5内部，使真空阀芯呈两种状态，一种为常态，一种为压迫态。如图1所示，真空阀芯1为常态，真空阀芯1在弹簧7的作用下，向上顶出，使顶针10完全突出在吸盘主体5的外部，密封阀芯、真空阀芯1和真空室4上表面之间的间隙，保证真空室的密封状态。如图2所示，真空阀芯1为压迫态，试样8放置在吸盘主体5的上表面，将顶针10压迫到吸盘主体5以下，而且试样8与吸盘主体5之间由试样密封2所密封，则试样8下部形成真空状态，在大气压力的作用下，压紧在吸盘主体5的表面。参照附图3所示，试样8的面积越大，压迫的顶针10数量就越多，吸盘的吸力就越大。在放置试样8时，必须保证试样8完全盖住顶针10周围的通孔，才能压迫顶针，否则需要调整试样的位置，防止破坏真空室的真空度。新北区多功能真空吸盘溧水区多功能真空吸盘推荐厂家！

    所述真空阀芯上半部圆锥形的顶角设有顶针，顶针位于面板通孔的中心位置。所述顶针为具有15°圆锥角的圆锥面。所述真空阀芯与面板之间设有阀芯密封。所述真空阀芯上设有与阀芯密封相配合的环形凹槽一。所述面板上的通孔和底板上的通孔的中心线重合。所述面板上通孔的直径小于底板上通孔的直径。所述真空阀芯的下半部设有与弹簧相配合的盲孔。所述吸盘主体上多个贯通于面板和底板的通孔排列成矩形。本实用新型的有益效果是：本实用新型采用真空结构，利用大气压使非磁性材料牢牢的贴合在吸盘表面，采用o型密封，不但具有较强的吸力，而且成本较低，结构简单，尤其适用于一些无磁性的材料，如镍基合金、不锈钢材料等。附图说明图1为本实用新型的剖视图；图2为本实用新型试样安装状态示意图；图3为本实用新型的俯视图；图4为本实用新型真空阀芯主视图；图5为本实用新型真空阀芯俯视图；图6为本实用新型吸盘主体结构示意图；图中：1、真空阀芯；2、试样密封；3、阀芯密封；4、真空室；5、吸盘主体；6、调整顶丝；7、弹簧；8、试样；9、真空接头；10、顶针；11、环形凹槽一；12、盲孔；13、面板；14、通孔；15、环形凹槽二；16、底板；17、螺纹孔；18、侧板。

    第1吸盘112的相对两侧分别设置有第1槽体114，连接弹片2的端部固定连接于第1槽体112的槽沿上。具体地，参见图1至图3，第二吸盘122的相对两侧分别设置有第二槽体124，连接弹片2的端部固定连接于第二槽体124的槽沿上。具体地，参见图1至图3，第1吸盘112和第二吸盘122皆为方形吸盘。本实用新型所提供的一种防转动的真空吸盘装置包安装基板、第1吸盘部件、第二吸盘部件和连接弹片，第1吸盘部件和第二吸盘部件旋接与安装基板的两端，连接弹片相对两端分别固定连接第1吸盘部件和第二吸盘部件。吸盘在松开或者吸紧时原本会形成的吸盘自转动现象，由于连接弹片限制了第1吸盘部件和第二吸盘部件的相对位置，吸盘自转动现象得以避免。本实用新型提供了一种防转动的真空吸盘装置，其可以有效地防止吸盘在松开或者吸紧产生自转动现象，保证真空吸盘吸附作业的稳定性。实施例二：参见图1至图3，图中示出了本实用新型实施例二提供的一种防转动的真空吸盘装置，本实施例在上述实施例的基础上还进一步地做出了以下作为改进的技术方案：连接弹片2为矩形弹片。由于第1吸盘和第二吸盘皆为方形吸盘，矩形弹片的两端更好的匹配吸盘的边沿，起到更好的限制效果。实施例三：参见图1至图3。高淳区包装袋真空吸盘推荐厂家！

    本实用新型涉及半导体加工制造领域，尤其涉及晶圆减薄机吸附装置，具体为一种用于减薄机的真空吸盘。背景技术：晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。在硅晶圆正面制作完集成电路后，为了降低器件热阻、提高工作散热及冷却能力、便于封装，需要采用减薄机对晶圆进行背面减薄。一方面，晶圆减薄机在磨削过程中，需要将所磨削晶圆置于真空吸盘之上吸附进行磨削过程，对于所涉及的真空吸盘要求能够有效的吸附晶圆，并且能够保证吸盘主体的平整度，以及真空的均匀度，使得减薄机砂轮在磨削时吸附晶圆不发生位移，且吸盘在真空形成的负压之下要能防止产生过大的形变；另一方面，由于加工制造成本相对较高，所以又要保证减薄机所用真空吸盘能够利于更换多次磨削修整后的多孔陶瓷板，且所用底座能够配合多个尺寸类型的真空吸盘。技术实现要素：有鉴于此，本申请提供一种安装方便，能够保证减薄过程中吸盘主体的平整度和真空的均匀度，还能更换多孔陶瓷适于不同尺寸的吸盘配合于同一底座的用于减薄机的真空吸盘。为达到上述目的。浦口区包装袋真空吸盘推荐厂家！泉山区粉尘真空吸盘原理

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    使待吸附件与真空吸盘9紧紧贴合达到抓取待吸附件的目的。当真空泵5停止工作时，电动破空阀3打开，大气通过气动接头8以及吸盘气腔体7进入真空吸盘9，原有的真空环境被破坏，待吸附件与真空吸盘9脱离。该真空吸盘装置由于不需要使用交流电源，只在直流电源驱动下就能够实现对待吸附件的抓取作业，因此该真空吸盘装置可以简化真空抓取工具的结构，简化设备的使用方式，采用通用电源电压供电，兼容主流控制方式，满足复合型机器人对小巧、轻量、易用的需求。故该真空吸盘装置具有供电难度小，结构简单，小型化等优点。本实施例还提供了一种机器人，该机器人包括上述的真空吸盘装置，通过采用上述的真空吸盘装置，减小了该机器人的体积，简化了该机器人的结构，使该机器人实现了小型化。显然，本实用新型的上述实施例只只是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。新北区多功能真空吸盘