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    本发明能够有效解决现有技术中机械手运行速度低，定位精度差的问题。本机械手包含3个轴，分别为升降轴、旋转轴和伸展轴，其中伸展轴又包含3个关节，三个关节分别为一级关节、二级关节和三级关节，三个关节之间的传动比为1:2:1，伸展电机通过谐波减速机驱动一级伸展臂转动，通过一级关节、二级关节和三级关节之间设置有传动结构，同时带动二级伸展臂和手指固定座的移动，间接将第1级关节远端的一级同步带轮变为主动轮，通过这种结构，可以在一级伸展臂和二级伸展臂移动时，保持手指固定座的始终直线运动，既晶圆中心始终保持直线运动，晶圆的角度也保持不变。这种结构还提高了机械手整体强度，达到高速度运行和重复定位精度高的双重目的。与现有技术相比，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。附图说明图1是本发明示意图。图2是本发明伸展轴示意图。图3是本发明伸展轴内部俯视示意图。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。实施例1。雨花台区糖袋气动悬臂吊推荐厂家！新沂包装袋气动悬臂吊原理

    所述壁部与散热器形成为一体。由此，在壁部与散热器之间不存在接合的边界，因此，能够提高壁部与散热器之间的连结强度。另外，壁部的材料与散热器相同，例如是金属。若壁部的材料为金属，则在壁部的环的内侧与外侧之间能够屏蔽磁场。作为理想的技术方案，所述散热器具有设于所述第1面的凹部，所述壁部能嵌入所述凹部。由此，能够分开制造散热器和壁部。作为理想的技术方案，还具备设于所述壁部的内周面的磁屏蔽层。由此，即使壁部由树脂制成，在壁部的环的内侧与外侧之间也能够屏蔽磁场。再一技术方案的电动驱动装置具备：电动马达，其包含轴、与所述轴连动的马达转子、具有使所述马达转子旋转的定子芯的马达定子、每3相至少分成第1线圈组和第2线圈组这两个系统且用3相交流电对所述定子芯进行励磁的多个线圈组、以及在内侧收纳所述马达转子、所述马达定子和所述多个线圈组的筒状的壳体；电子控制装置，其是为了对所述电动马达进行驱动控制而设置的。包含设于所述轴的靠负载相反侧的端部的磁体、位于所述轴的负载相反侧且配置在所述轴的轴向的延长线上的电路基板、覆盖所述电路基板的盖体、以及与所述电路基板相连接的连接器；第1线圈布线。新沂包装袋气动悬臂吊原理浦口区工业气动悬臂吊推荐厂家！

    所述电路基板具有：检测电路，其包含对所述磁体的旋转进行检测的磁传感器；第1电力电路，其包含向所述第1线圈组供给电流的多个电子元器件；第2电力电路，其包含向所述第2线圈组供给电流的多个电子元器件；以及控制电路，其包含对所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者所供给的电流进行控制的电子元器件，所述第1线圈布线和所述第2线圈布线均具有：第1部位，其在与所述轴的轴向交叉的方向上突出到所述壳体的外侧；以及第2部位，其在所述外侧自所述第1部位朝向所述电路基板突出，所述散热器具有通孔，该通孔设置在所述第1面与所述第2面之间且供所述轴穿过，在自所述轴的轴向俯视时，所述通孔位于所述壁部的环的内侧。由此，能够将第1电力电路和第2电力电路配置在靠近电路基板的外周的位置，能够增大第1电力电路以及第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。由此，由第1电力电路和第2电力电路产生的热不易向磁传感器传递，因此，能够抑制磁传感器的温度上升。另外，壁部在电路基板侧具有端部，帽能够安装于该端部。由此，能够防止异物自散热器的第1面侧进入壁部的环的内侧。由于磁于壁部的环的内侧，因此能够抑制异物附着于磁体(发生污染)还具备多个肋。

    所述的手指固定座33上设置有插槽41，所述的插槽41内可拆卸安装晶圆固定装置4。所述的晶圆固定装置4包括真空吸盘、气缸机械手等。所述的手指固定座33上还设置有扫描传感器42，扫描传感器42包括光纤放大器以及滤光片等光信号探测设备。使用时，升降轴1进行机械手的竖直上升下降工作，旋转轴2进行机械手的水平旋转工作，伸展轴3进行机械手的伸展拿取工作。相比现有的晶圆搬运机械手，本申请中伸展轴3中的一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33联动，一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33之间分别具有传动机构，通过一级关节5、二级关节6和三级关节7之间的一级同步带52和二级同步带64在一级伸展臂31转动的同时，带动二级伸展臂32和手指固定座33不同速率的转动，在升降轴1、旋转轴2和伸展轴3三轴联动的同时让手指固定座33始终保证直线运动，且角度不会发生改变。这种方式不仅简化了整个伸展轴3传动结构，共用一个传动系后不仅提高了运行精度、重复定位精度，又提高了机械手整体刚度和承重能力。本发明的机械手可以通过设定在机械手后方的扫描传感器42，自动扫描片盒中晶片的状态（包括：有，无，重片，斜片），通过数据分析后把结果传送给上位设备控制系统。浦口区象鼻子气动悬臂吊推荐厂家！

    作为理想的技术方案，还具备设于所述第1隆起部的第1散热材料。由此，能够使由第1电力电路和第2电力电路产生的热更有效地散热。作为理想的技术方案，所述散热器还具有第2隆起部，该第2隆起部与所述控制电路相对且向所述电路基板侧隆起。由此，能够使由控制电路产生的热有效地散热。作为理想的技术方案，还具备设于所述第2隆起部的第2散热材料。由此，能够使由控制电路产生的热更有效地散热。作为理想的技术方案，所述散热器还具有凹部，该凹部与所述电路基板相对且向所述电路基板的相反侧凹陷，在所述凹部收纳被配置于所述电路基板的电容器。由此，与没有凹部的情况相比，能够减小包含配置有电容器的电路基板和散热器在内的构造体的厚度。作为理想的技术方案，还具备配置在所述电动马达与所述散热器之间的适配器，所述第1线圈布线和所述第2线圈布线各自还具有在所述第1部位与所述第2部位之间弯曲的弯曲部，所述弯曲部配置在所述适配器的内侧。由此，能够使第1线圈布线和第2线圈布线在轴的轴向上进一步远离磁传感器。作为理想的技术方案，所述适配器具有突出部，从所述轴的轴向观察时该突出部向所述电动马达的外侧突出，所述弯曲部配置在所述突出部的内侧。溧水区粉尘气动悬臂吊推荐厂家！泉山区糖袋气动悬臂吊品牌

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    设置在所述弧形槽上用于锁紧所述球头和所述弧形槽的锁紧件，以及设置在所述弧形槽内用于增大摩擦力以控制所述球头在所述弧形槽内的位置的阻尼件。根据本发明的一个方面，所述锁紧件包括与所述弧形槽上的开孔螺纹连接的锁紧手柄，以及与所述锁紧手柄固定连接并且位于所述弧形槽内与所述球头的外表面形状配合的弧形压板。根据本发明的一个方面，所述固定夹持机构包括与所述弧形槽连接的防滑手柄，与所述防滑手柄的连接的支架，与所述支架连接的夹持件，以及与所述夹持件的端部连接用于锁紧所述夹持件的锁定板。根据本发明的一个方面，所述夹持件包括与所述支架固定连接的固定夹，位于所述固定夹的一侧与所述支架转动连接的转动夹，以及设置所述转动夹与所述支架之间用于转动夹转动后复位的压簧；所述锁定板与所述固定夹的端部转动连接，通过转动可将所述固定夹和所述转动夹锁紧在一起。根据本发明的一个方面，所述长度调整机构包括与所述球头固定连接的内调节杆，套置在所述内调节杆外与所述内调节杆可以相对往复移动的外调节杆，设置在所述外调节杆上用于锁定或者解锁所述内调节杆和所述外调节杆之间的相对位置的开关结构。根据本发明的一个方面。新沂包装袋气动悬臂吊原理