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    绞索600通过上述螺栓旋紧的方式两端分别连接于塔架100和滑道，当然因为绞索600的拉力要克服滑道的重力，绞索600与塔架100的连接点应高于绞索600与滑道的连接点。铰接组件130包括：铰轴133、第1接头部131和第二接头部132，第1接头部131和第二接头部132同轴铰接于铰轴133。第1滑道200的底端和第二滑道300的顶端分别安装于第1接头部131和第二接头部132，借助第1接头部131与第二接头部132的铰接关系，可带动第1滑道200和第二滑道300进行倾角的调整。并且所属领域技术人员应当注意，因为滑道的角度调整问题，在设计第1滑道200和第二滑道300对接点时，应当考虑滑道的侧壁不能因滑道的角度调整而出现缝隙，也不能阻碍滑道的角度调整。对此，本实施例采用一种结构简单的对接方法，使第二滑道300的内径略微大于第1滑道200的内径，让第1滑道200的下端头搭接于第二滑道300上端头内。此外为了满足食品安全要求，对第1滑道200和第二滑道300以及塔架100的材料采用316l，同时对铰接组件130采用满足食品卫生标准的润滑油。通过铰接组件130对第1滑道200和第二滑道300进行连接，采用绞索600的拉力固定滑道的位置，可控制绞索的长度110进而控制滑道的倾角。溧水区象鼻子气动悬臂吊推荐厂家！鼓楼区常见气动悬臂吊供应

    譬如增设可调节高度的支撑腿等滑道的固定方式也是可行的，这里不做详细介绍。利用第1滑道200和第二滑道300的铰接关系，可对两个滑道的倾角进行调整，并较终通过绞索600来固定滑道位置。从而让输送滑道满足输送不同规格产品时，摩擦系数变化所带来的影响。此外，对于长距离滑道运输的场景，还可在上述实施例的基础上增设前段滑道400和支撑腿500。前段滑道400底端搭接于第1滑道200的顶端，而其顶端对接于前段设备，在本实施例中，因为前段设备为一输送皮带，在前段滑道400的顶端增设有u字形缺口，贴合皮带端头的外形，同时为防止物料卡包，对u字形缺口的边缘进行卷边处理。为了对前段滑道400进行必要的支撑，至少要有一支撑腿500对滑道进行固定。如图3所示，为了快捷的调整绞索600的拉线长度，增设一种绞索固定件，其包括一个滑轮121、旋钮122和卡块123。滑轮121转轴固定在塔架100上。卡块100为金属件，在本实施例中具体选用316l，其带有第1通道123a和第二通道123b，二者相互平行。并且卡块123上端延伸出有两个连接筋124，分别铰接于滑轮121转轴的两侧。绞索600穿过第1通道123a后绕过滑轮121，然后穿过第二通道123b。旋钮122垂直从卡块123侧壁插入，并接通第二通道123b。宝山区室内深加工气动悬臂吊有几种浦口区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家！

    如图1至图3所示，一种晶圆搬运机械手，包括升降轴1、旋转轴2和伸展轴3，所述的伸展轴3包括伸展电机34、一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33，所述的一级伸展臂31与所述伸展电机34之间设置有一级关节5，所述的一级伸展臂31与所述的二级伸展臂32之间设置有二级关节6，所述的二级伸展臂32和所述的手指固定座33之间设置有三级关节7。所述的伸展电机34通过谐波减速机35驱动所述一级伸展臂31转动。所述的伸展电机34、所述的一级关节5、所述的二级关节6和所述的三级关节7依次传动，所述的一级关节5、所述的二级关节6和所述的三级关节7的传动比为1:2:1，根据本机械手的运动原理，所述的手指固定座34始终保持直线运动。所述的一级关节5上设置有一级同步轮51，所述的二级关节6上设置有二级同步轮61，所述的一级同步轮51和所述的二级同步轮61通过一级同步带52传动连接，所述的一级伸展臂31内还设置有与所述一级同步带52相配合的一级张紧轮53。所述的二级关,6上设置有三级同步轮62，所述的三级关节7上设置有四级同步轮71，所述的三级同步轮63和所述的四级同步轮71通过二级同步带64传动连接，所述的二级伸展,32内还设置有与所述二级同步带64相配合的二级张紧轮63。

    能够将第1电力电路和第2电力电路配置于靠近电路基板的外周的位置，能够增大第1电力电路以及第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。由此，由第1电力电路和第2电力电路产生的热不易向磁传感器传递，因此，能够抑制磁传感器的温度上升。作为理想的技术方案，所述第1线圈布线和所述第2线圈布线相邻地配置。由此，能够将第1电力电路和第2电力电路相邻地配置。作为理想的技术方案，所述第1线圈布线的所述第2部位自比所述第1电力电路所包含的电子元器件靠近所述电路基板的外周的位置连接于所述第1电力电路。由此，能够使第1线圈布线远离磁传感器，能够抑制因电流在第1线圈布线中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案，所述电路基板具有与所述第1线圈布线的所述第2部位相连接的第1通孔，自所述电路基板的法线方向观察时，在所述检测电路的配置位置与所述第1通孔之间存在所述第1电力电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第1电力电路到达电动马达的电流路径远离磁传感器。作为理想的技术方案，自所述电路基板的法线方向观察时。浦口区工业气动悬臂吊推荐厂家！

    机械手主机是实现物料（或工件）在空中无重力化浮动状态的主体装置。机械手则是实现工件抓取，并完成用户相应搬运和装配要求的装置。安装结构则是根据用户服务区域及现场状况要求以支撑整套设备的机构。助力机械手产品系列为实现物料移载的省力操作，国内机械手的专业厂商已推出丰富的平衡吊机型，满足不同行业中不同物料不同工艺要求的搬运需要。按工作原理不一样，有臂杆式和软索式。其中臂杆式平衡吊又因工作曲线差异，有PBF、PBC等；软索式则因主体执行元件不同，分卷筒式（IRB）和直线气缸式（PBB）、钢丝绳式和链条式等。根据动力源不同，有气动式和电动式（EBC）等。另外，按系统所采用基座不同，有落地固定式、落地移动式、悬挂固定式、悬挂移动式、附墙式等[1]。助力机械手助力机械手系统特点硬臂式助力机械手系统组成主要包括四部分：1）轨道行走系统；2）机械手主机；3）夹具部分；4）执行部分；5）气路控制系统。助力机械手助力机械手轨道系统本方案采用双排C型铝合金轨道与移动平台小车配合，平台小车下法兰连接硬臂式机械手。使整个设备在轨道行程内平稳行走。C型轨道采用进口材料，强度、精度高。非金属滚轮采用度耐磨尼龙材料加工而成，使用寿命长。溧水区牛皮袋气动悬臂吊推荐厂家！闵行区工业气动悬臂吊哪里可以买到

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    本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。背景技术：在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。技术实现要素：本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节。鼓楼区常见气动悬臂吊供应