南京质量好的高真空扩散泵制造商
高真空泵电机反馈功能:具有电机转速反馈信号(FG)线,可得知泵的流量变化。能很方便地通过FG信号和PWM功能协同工作来实现闭环控制,使您的系统更加智能化;远远优于目前绝大多少电机的开环控制(给了信号调节,电机完成动作后就结束了,到底有没有达到,达到多少都无法确认,更不要说根据反馈再进行下一步控制了)。电机启停功能:可在不断开动力线下,加入2-5V电压直接停止泵运行;加入0-0.8V电压又启动泵;控制非常方便,多达3种控制方式启动、停止泵:①动力电源12V通或断路;②脉宽调制线加入0-0.8V DC或2-5V DC;③电机启停线加入0-0.8V DC或2-5V DC;如果在高压腔补液,那么补液压力须大于泵腔内的压力才能进行泵腔内的补液。高真空泵一般设置2台或多台泵组合。南京质量好的高真空扩散泵制造商
高真空泵主要结构有泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气导流管、加热器和冷却器等。性能参数:通常扩散泵的性能是以极限真空、较大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。 极限真空:如果对一般油扩散泵的结构进行改进,如减少油蒸气的返流,加分镏装置,合理分配加热功率,改进喷嘴角度设计,加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使扩散泵性能普遍改善,极限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa,起始压力正好是机械泵的极限压力,因此,油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵,将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。排气口可以从左或右两个方向开口。南京质量好的高真空扩散泵制造商高真空泵主要是有两个旋转方向相反的转子位于泵体中。
高真空泵特点:1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可普遍降低驱动功率,从而可实现较高转速;3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;5、压缩比较低,对氢气抽气效果差;6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。在一个给定的空间,当内部气体分子被抽得很稀薄,压强低于一个大气压以下时的状态叫真空。气体的稀薄的程度叫真空度。当真空度低于1.333×10-1~ 1.333×10-6Pa时称为高真空。
高真空泵的散热冷却技巧,主要有四大点: 一、空气冷却:即是由间级或双级泵吸入的空气经压缩后,通过综合吸收及有相位差的组合消音器传送。 二、转子的内部冷却:为了使高真空泵在更高压差下工作,可采取更有效的冷却方法,即将转子用循环油冷却,在真空机组轴两端分别有油孔、油径轴头打入,经转子内壁再从另一端排出。 三、转子的油膜冷却:这种冷却方法是在高真空泵入口处连接一个输油管,用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。 四、冷却:高真空泵由于输送和压缩气体而产生热量,这些热量必须从转子传至壳体而散发。高真空泵的真空室内是否要求无油、无振动等。
高真空泵可将腔室或系统抽空到高真空(10-3至10-8托)或超高真空(<10-8托)的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等至粗真空范围内运行。有许多可以产生高或超高真空的泵设计。这些类型中的每一种都使用气体传输或气体捕获原理进行操作。 气体转移:以气体传输原理运行的高真空泵通过将气体移动通过泵来产生真空。这些泵可以连续使用,而无需再生。所有气体输送泵均为正排量泵或动排量泵(动量输送)。正排量(气体排量)泵将气体从密封区域排至大气,再排至下游泵级。动能泵通过机械地(机械高真空泵)或通过相邻的蒸汽流(喷射高真空泵)使气体在泵送方向上加速来置换气体。机组中一般加预抽管路的都是配两个以上的高真空泵,一个是主抽泵,一个是预抽泵。南京质量好的高真空扩散泵制造商
泵的两个转子轴与水平面垂直安装。南京质量好的高真空扩散泵制造商
高真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。概括地讲,从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到较佳配置,选择真空系统时,应考虑下述各点:必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围,必须认真研究确定之。在确定了工艺要求的真空度的基础上检查高真空泵系统的极限真空度,因为系统的极限真空度决定了系统的较佳工作真空度。一般来讲,系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%,比前级泵的极限真空度低50%。高真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。南京质量好的高真空扩散泵制造商