河南汇成真空镀膜设备

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜外色斑】： 色斑（也称膜色亚克、烧蚀）是指镜片上的膜色局部变异。有膜内色斑和膜外色斑二种。 膜外色斑改善对策： 1. 对减反膜，设计条件许可时，外层加以SiO2层，10nm左右即可（一般的外层膜是MgF2）。使外层趋于光滑、致密、减少有害物质的侵蚀。 2. 适当降低蒸镀速率（在一定范围内），提高膜层光滑度，减少吸附。 3. 镜片在出罩后，待冷却后再下伞和擦拭。 4. 镜片在出罩后，放置在洁净干燥的场合待冷却。减少污染可能。 5. 用碳酸钙粉，轻擦去除外层附着物。 6. 改善工作环境的湿度、温差 7. 改善充气口附近的环境，使充入的大气干燥、洁净。 8. 工作人员的个人卫生改善 9. 检讨真空室返油状况，防止返油。 10. 适当降低基片温度。 11. 改善膜系，取消太薄的膜层，根据硝材特性，选择合适的膜层材料。 磁控溅射真空镀膜设备是什么？河南汇成真空镀膜设备

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之单片膜色不均匀】： 原因：主要是由于基片凹凸严重，与伞片曲率差异较大，基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大，形成的膜厚差异大。另外镜片被镜圈（碟片）边缘部遮挡、镜圈（碟片）脏在蒸镀时污染镜片等也会造成膜色差异问题。 改善对策：改善镜片边缘的蒸发角 1. 条件许可，用行星夹具 2. 选用伞片平坦（R大）的机台 3. 根据伞片孔位分布，基片形状，制作专门的锯齿形修正板。 4. 如果有可能，把蒸发源往真空室中间移动，也可改善单片的膜色均匀性。 5. 改善镜圈（碟片），防止遮挡。 6. 注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡 7. 清洁镜圈（碟片） 8. 改善膜料蒸发状况。河南汇成真空镀膜设备真空镀膜设备怎么保养？

【真空镀膜真空溅射法】： 真空溅射法是物理qi相沉积法中的后起之秀。随着高纯靶材料和高纯气体制备技术的发展，溅射镀膜技术飞速发展，在多元合金薄膜的制备方面显示出独到之处。其原理为：稀薄的空气在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下，对阴极靶材料表面进行轰击，把靶材料表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来，被溅射出来的粒子带有一定的动能，沿一定的方法射向基体表面，在基体表面形成镀层。特点为：镀膜层与基材的结合力强；镀膜层致密、均匀；设备简单，操作方便，容易控制。 主要的溅射方法有直流溅射、射频溅射、磁控溅射等。目前应用较多的是磁控溅射法。

【光学薄膜理论基础】： 光学薄膜基本上是借由干涉作用而达到效果的。是在光学元件上或独li的基板上镀一层或多层的介电质膜或金属膜或介电质膜或介电质膜与金属膜组成的膜堆来改变广播传到的特性。因此波在薄膜中行进才会发生投射、反射、吸收、散射、相位偏移等变化。 光波经过薄膜后在光谱上会起变化，因此这些变化会使得光学薄膜至少具有下列功能： &反射的提高或穿透的降低 &反射的降低或穿透的提高 &双色、偏极光的分光作用 &光谱带通或戒指等滤光作用 &辐射器之光通量调整 &光电资讯的储存及输入真空镀膜设备日常怎么维护？

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之灰点脏】： 现象：镜片膜层表面或内部有一些电子（不是膜料点），有些可擦除，有些不能擦除。并且会有点状脱膜产生。 原因： 1. 真空室脏 2. 镜圈或碟片脏 3. 镜片上伞时就有灰尘点，上伞时没有检查挑选。 4. 镀制完成后的环境污染是膜外灰点的主要成因，特别是当镜片热的时候，更容易吸附灰尘，而且难以擦除。 改善思路：杜绝灰尘源 1. 工作环境改造成洁净车间，严格按洁净车间规范实施。 2. 尽可能做好环境卫生。尽量利用洁净工作台。 3. 真空室周期打扫，保持清洁。 国产真空镀膜设备厂商推荐。河南汇成真空镀膜设备

真空镀膜设备的工作原理和构成。河南汇成真空镀膜设备

【离子镀膜法之活性反应蒸镀法】： 活性反应蒸镀法(ABE):利用电子束加热使膜材气化；依靠正偏置探极和电子束间的低压等离子体辉光放电或二次电子使充入的氧气、氮气、乙炔等反应气体离化。这种方法的特点是：基板温升小，要对基板加热，蒸镀效率高，能获得三氧化铝( AL2O3)、氮化钛(TiN)、碳化钛(TiC)等薄膜；可用于镀机械制品、电子器件、装饰品。 【离子镀膜法之空心阴极离子镀(HCD)】： 空心阴极离子镀(HCD):利用等离子电子束加热使膜材气化；依靠低压大电流的电子束碰撞使充入的气体Ar或其它惰性气体、反应气体离化。这种方法的特点是：基板温升小，要对基板加热，离化率高，电子束斑较大，能镀金属膜、介质膜、化合物膜；可用于镀装饰镀层、机械制品。 河南汇成真空镀膜设备