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机械手主机是实现物料(或工件)在空中无重力化浮动状态的主体装置。机械手则是实现工件抓取,并完成用户相应搬运和装配要求的装置。安装结构则是根据用户服务区域及现场状况要求以支撑整套设备的机构。助力机械手产品系列为实现物料移载的省力操作,国内机械手的专业厂商已推出丰富的平衡吊机型,满足不同行业中不同物料不同工艺要求的搬运需要。按工作原理不一样,有臂杆式和软索式。其中臂杆式平衡吊又因工作曲线差异,有PBF、PBC等;软索式则因主体执行元件不同,分卷筒式(IRB)和直线气缸式(PBB)、钢丝绳式和链条式等。根据动力源不同,有气动式和电动式(EBC)等。另外,按系统所采用基座不同,有落地固定式、落地移动式、悬挂固定式、悬挂移动式、附墙式等[1]。助力机械手助力机械手系统特点硬臂式助力机械手系统组成主要包括四部分:1)轨道行走系统;2)机械手主机;3)夹具部分;4)执行部分;5)气路控制系统。助力机械手助力机械手轨道系统本方案采用双排C型铝合金轨道与移动平台小车配合,平台小车下法兰连接硬臂式机械手。使整个设备在轨道行程内平稳行走。C型轨道采用进口材料,强度、精度高。非金属滚轮采用度耐磨尼龙材料加工而成,使用寿命长。溧水区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家!新吴区多功能气动悬臂吊品牌
隔着所述电容器的配置位置在所述第1电力电路或所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置的相反侧存在所述检测电路的配置位置。由此,能够进一步增大第1电力电路与磁传感器之间的间隔距离、或第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。作为理想的技术方案,自所述电路基板的法线方向观察时,隔着经过所述电路基板的中心的直线在所述第1电力电路或所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置的相反侧存在所述检测电路的配置位置。由此,能够进一步增大第1电力电路与磁传感器之间的间隔距离、或第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。作为理想的技术方案,还具备与所述电路基板相连接的连接器,自所述轴的轴向观察时,所述连接器配置在所述电动马达的外侧。由此,能够使连接器远离磁传感器,能够抑制因电流在连接器中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案,还具备散热器,该散热器支承所述电路基板。由此,能够使由电路基板产生的热高效地散热。作为理想的技术方案,所述散热器还具有第1隆起部,该第1隆起部与所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者相对且向所述电路基板侧隆起。由此,能够使由第1电力电路和第2电力电路产生的热有效地散热。新吴区多功能气动悬臂吊品牌江宁区米袋气动悬臂吊推荐厂家!
隔着所述电容器的配置位置在所述第1电力电路或所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置的相反侧存在所述检测电路的配置位置。由此,能够进一步增大第1电力电路与磁传感器之间的间隔距离、或第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。作为理想的技术方案,自所述电路基板的法线方向观察时,隔着经过所述电路基板的中心的直线在所述第1电力电路或所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置的相反侧存在所述检测电路的配置位置。由此,能够进一步增大第1电力电路与磁传感器之间的间隔距离、或第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。作为理想的技术方案,自所述轴的轴向观察时,在所述电动马达的外侧配置有所述连接器。由此,能够使连接器远离磁传感器,能够抑制因电流在连接器中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案,还具备对所述电路基板进行支承的散热器。所述盖体安装于所述散热器。由此,能够使由电路基板产生的热高效地散热。作为理想的技术方案,所述散热器还具有第1隆起部,该第1隆起部与所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者相对且向所述电路基板侧隆起。由此,能够使由第1电力电路和第2电力电路产生的热有效地散热。
能够将第1电力电路和第2电力电路配置于靠近电路基板的外周的位置,能够增大第1电力电路以及第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。由此,由第1电力电路和第2电力电路产生的热不易向磁传感器传递,因此,能够抑制磁传感器的温度上升。作为理想的技术方案,所述第1线圈布线和所述第2线圈布线相邻地配置。由此,能够将第1电力电路和第2电力电路相邻地配置。作为理想的技术方案,所述第1线圈布线的所述第2部位自比所述第1电力电路所包含的电子元器件靠近所述电路基板的外周的位置连接于所述第1电力电路。由此,能够使第1线圈布线远离磁传感器,能够抑制因电流在第1线圈布线中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案,所述电路基板具有与所述第1线圈布线的所述第2部位相连接的第1通孔,自所述电路基板的法线方向观察时,在所述检测电路的配置位置与所述第1通孔之间存在所述第1电力电路所包含的电子元器件的配置位置。由此,能够使自第1电力电路到达电动马达的电流路径远离磁传感器。作为理想的技术方案,自所述电路基板的法线方向观察时。溧水区常见气动悬臂吊推荐厂家!
可将被抓取部位的形状分成圆柱形、正方柱形、板形、球形和圆锥形等5种典型表面。各种手指在抓取这5种典型表面时的接触状态是各不相同的,根据这时的接触状态,即可对不同形状和数量的手指及其抓取机能进行分析和比较,以便从中选出合理的指形和手指个数[2]。手指抓取机能与手指、被抓取物件的关系助力机械手控制系统a)设置有元件保护盒,以保护主要精密气动元器件,避免操作时意外撞击及灰尘沉积。气路排布完全按丰田AMS标准执行,方便维修。b)系统配备二联件、单向阀和储气罐,为系统提供持续稳定的压缩空气,当主供气源意外断气时,可提供一定时间的安全保障,并使系统有足够的动力完成本次操作或将工件卸载。助力机械手助力机械手系统安全a)配备有负载显示器,指示负载状态,告知操作者:此时物料是否可被提起或被卸载。当系统处于负载状态时,显示器呈红)配备有负载压力表,指示压缩空气工作状况。c)配备有安全误操作保护装置,防止误动作对人身或设备造成伤害;在操作者未对安装状况进行确认前,即工件未安装到位前,如果工人误操作松开按钮,工件不能被卸载(限于动力夹具)。d)系统配备了失气保护装置,当主供气源意外断气时,主机臂杆不能动作。江宁区粉尘气动悬臂吊推荐厂家!新吴区多功能气动悬臂吊品牌
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本发明涉及一种半导体制造技术,尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。背景技术:在半导体加工设备中,经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送,在传送的过程中,传送精度越高,设备工艺一致性就越好,速度越快,单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展,设备处理的工艺越来越复杂,对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高,这就需要一种定位精度高,速度快的多自由度的机械手。技术实现要素:本发明针对现有技术中的不足,提供了一种晶圆搬运机械手,本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动,且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力,同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定,维护方便,多功能集一身,可满足多种工艺设备要求,适用于各种半导体设备。为了解决上述技术问题,本发明通过下述技术方案得以解决:一种晶圆搬运机械手,包括升降轴、旋转轴和伸展轴,其特征为,所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座,所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节,所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节,所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节。新吴区多功能气动悬臂吊品牌
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