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    各子吸盘下端面相平，所述子吸盘包括气罩，所述气罩上端与密封腔连通，所述气罩下端密封设置有皮套。进一步地，所述皮套中间位置连接有向上的拉杆，所述气罩上端与拉杆对应位置处开有导向孔，所述气罩上环绕导向孔还环绕设置有2-6个气孔，所述气孔下端外侧还设置有缓冲环，所述拉杆上还设置有挡板，挡板随拉杆上升时能够与缓冲环密封，所述拉杆上端还设置有限位环。进一步地，所述皮套中间位置设置有夹板，所述拉杆与夹板相连。进一步地，所述挡板截面为向下的锥形。进一步地，所述密封腔的上壁和下壁之间设置有3-6根支撑杆。进一步地，所述气罩靠近下端的截面面积大于靠近上端的截面面积。本实用新型的有益效果在于：增加子吸盘，子吸盘包括气罩，所述气罩上端与密封腔连通，所述气罩下端密封设置有皮套，任一个子吸盘吸附石板均能够为石板提供支撑；设置皮套能够保证不与石板密封的子吸盘不漏气；设置拉杆、导向孔、挡板、限位环、气孔、缓冲环，能够有效的限制皮套的变形量，在保证真空吸力的情况下避免拉坏皮套，提高使用寿命；设置夹板，能够提高皮套的受力面积，保证皮套使用寿命；设置支撑杆，能够防止密封腔变形。附图说明图1为真空吸吊机结构图示意图。江宁区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！秦淮区糖袋真空搬运机生产厂家

    并在第二处理装置tl2的装载端口lp、第二保管部20b、以及第二交接端口30b之间搬运物品2。例如，在通过高架搬运车50将物品2载置于第1交接端口30a或者第二交接端口30b的情况下，第1起重机40a能够移动至第1交接端口30a而通过第1移送部44a(参照图4)接收物品2，第二起重机40b能够移动至第二交接端口30b而通过第二移送部44b(参照图4)接收物品2。其后，第1起重机40a能够行驶至第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1保管部20a，将物品2载置于第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1保管部20a。另外，第1起重机40a能够通过第1移送部44a接收被第1保管部20a保管的物品2，行驶至第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1交接端口30a，通过第1移送部44a将物品2载置于第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1交接端口30a。第二起重机40b能够行驶至第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二保管部20b，将物品2载置于第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二保管部20b。另外，第二起重机40b能够通过第二移送部44b接收被第二保管部20b保管的物品2，行驶至第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二交接端口30b，通过第二移送部44b将物品2载置于第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二交接端口30b。另外。新北区多功能真空搬运机有几种浦口区工业真空搬运机推荐厂家！

    图7是表示通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图8是接着图7，通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图9是接着图8，通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图10是表示保管部和交接端口的其他例子的图。具体实施方式以下，参照附图对实施方式进行说明。在以下的各图中，使用xyz坐标系对图中的方向进行说明。在该xyz坐标系中，将铅直方向设为z方向，将水平方向设为x方向、y方向。x方向是水平方向内的一个方向，是沿着后述的第1区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14的方向。y方向是与x方向正交的方向，是沿着第1区段内顶棚轨道11的直线部11a、和第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的方向。另外，关于x、y、z方向的各方向，适当地将与箭头相同一侧称为+侧(例如，+x侧)，将其相反侧称为-x侧(例如，-x侧)。图1是表示本实施方式所涉及的搬运系统100的一个例子的俯视图。图1所示的搬运系统100例如设置于半导体设备的制造工厂等，对收容有在半导体设备的制造中使用的半导体晶圆的foup、或者收容有中间掩模等的中间掩模盒等物品2进行搬运。在本实施方式中，使用物品2是foup的例子来进行说明，但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。

    本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。浦口区常见真空搬运机推荐厂家！

    在上述的实施方式中，例举将第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的架部配置于第1、第二保管区域sa1、sa2内的结构进行了说明，但并不限定于该结构，保管部和交接端口也可以配置于第1、第二保管区域sa1、sa2的外侧。图10是表示保管部和交接端口的其他例子的图。在以下的说明中，对与上述的实施方式相同或者等同的构成部分标注同一附图标记并省略或者简化说明。如图10所示，保管部220(或者交接端口330)在第1、第二装置区域ta1、ta2中也可以配置于第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp的上方。根据该结构，能够将装载端口lp的上方的空间作为保管区域有效地活用。此外，针对该保管部220(或者交接端口230)，第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50双方能够进行物品2的交接。但是，在该结构中，高架搬运车50无法针对装载端口lp直接进行物品2的交接。另一方面，第1、第二起重机40a、40b能够针对装载端口lp进行物品2的交接。另外，如图10所示，也可以在第1、第二处理装置tl1、tl2与第1、第二处理装置tl1、tl2之间设置保管架80。保管架80在内部的上下方向和左右方向(y方向)设置多个保管部320，并在上表面80a设置有交接端口330。根据该结构。江宁区象鼻子真空搬运机推荐厂家！玄武区米袋真空搬运机有几种

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    以下结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。图I为本实用新型的结构示意图；图2为本实用新型中支柱的放大剖视结构示意图；图3为本实用新型中控制头的结构示意图。·具体实施方式如图I、图2、图3所示，本实用新型轻型真空搬运机，包括立柱I、支柱2、旋臂3、斜拉杆4、真空泵13、连接管14、搬运管15、真空吸盘装置。支柱2包括套置在固定柱5外壁上的旋转轴套6，固定柱5固定在立柱I的上端，旋臂3—端直接与旋转轴套6的下端固定连接，另一端则通过斜拉杆4与旋转轴套6的上端固定连接。连接管14一端与真空泵13连通，另一端与搬运管15连通，真空吸盘装置安装在搬运管15的底端，搬运管15滑动连接安装在旋臂3上。其中，固定柱5通过上盖7和下盖8固定在立柱I上。固定柱5与旋转轴套6之间且由上而下依次安装有并帽9、垫圈10、上轴承11、下轴承12。旋臂3的下端面上开设有导轨17，搬运管15的顶端与导轨17滑动连接。导轨17上还滑动连接有数个挂钩18，靠近搬运管15端的连接管14通过挂钩18安装在旋臂3上。真空泵13安装在箱体16内，箱体16置于地面上；搬运管15为可伸缩式搬运管。真空吸盘装置包括控制头19、数个吸盘20、操作手柄21。秦淮区糖袋真空搬运机生产厂家

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