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如图1至图3所示,一种晶圆搬运机械手,包括升降轴1、旋转轴2和伸展轴3,所述的伸展轴3包括伸展电机34、一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33,所述的一级伸展臂31与所述伸展电机34之间设置有一级关节5,所述的一级伸展臂31与所述的二级伸展臂32之间设置有二级关节6,所述的二级伸展臂32和所述的手指固定座33之间设置有三级关节7。所述的伸展电机34通过谐波减速机35驱动所述一级伸展臂31转动。所述的伸展电机34、所述的一级关节5、所述的二级关节6和所述的三级关节7依次传动,所述的一级关节5、所述的二级关节6和所述的三级关节7的传动比为1:2:1,根据本机械手的运动原理,所述的手指固定座34始终保持直线运动。所述的一级关节5上设置有一级同步轮51,所述的二级关节6上设置有二级同步轮61,所述的一级同步轮51和所述的二级同步轮61通过一级同步带52传动连接,所述的一级伸展臂31内还设置有与所述一级同步带52相配合的一级张紧轮53。所述的二级关,6上设置有三级同步轮62,所述的三级关节7上设置有四级同步轮71,所述的三级同步轮63和所述的四级同步轮71通过二级同步带64传动连接,所述的二级伸展,32内还设置有与所述二级同步带64相配合的二级张紧轮63。浦口区常见气动悬臂吊推荐厂家!上海气动悬臂吊哪里可以买到
其配置在所述第1面与所述电路基板之间;以及弹性体,其配置在所述壁部与所述电路基板之间,所述电路基板具有:检测电路,其包含对所述磁体的旋转进行检测的磁传感器;第1电力电路,其包含向所述第1线圈组供给电流的多个电子元器件;第2电力电路,其包含向所述第2线圈组供给电流的多个电子元器件;以及控制电路,其包含对所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者所供给的电流进行控制的电子元器件,所述第1线圈布线和所述第2线圈布线均具有:第1部位,其在与所述轴的轴向交叉的方向上突出到所述壳体的外侧;以及第2部位,其在所述外侧自所述第1部位朝向所述电路基板突出,所述散热器具有通孔,该通孔设置在所述第1面与所述第2面之间且供所述轴穿过,在自所述轴的轴向俯视时,所述通孔位于所述壁部的环的内侧。由此,能够将第1电力电路和第2电力电路配置在靠近电路基板的外周的位置,能够增大第1电力电路以及第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。由此,由第1电力电路和第2电力电路产生的热不易向磁传感器传递,因此,能够抑制磁传感器的温度上升。另外,在壁部与电路基板之间配置有弹性体。通过使弹性体分别贴紧于壁部和电路基板,能够抑制电路基板的振动。连云港常见气动悬臂吊哪里可以买到溧水区象鼻子气动悬臂吊推荐厂家!
隔着所述第1电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此,能够使自第1电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案,所述第2线圈布线的所述第2部位自比所述第2电力电路所包含的电子元器件靠近所述电路基板的外周的位置连接于所述第2电力电路。由此,能够使第2线圈布线远离磁传感器,能够抑制因电流在第2线圈布线中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案,所述电路基板具有与所述第2线圈布线的所述第2部位相连接的第2通孔,自所述电路基板的法线方向观察时,在所述检测电路的配置位置与所述第2通孔之间存在所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置。由此,能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离磁传感器。作为理想的技术方案,自所述电路基板的法线方向观察时,隔着所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此,能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案,还具有配置于所述电路基板的电容器,自所述电路基板的法线方向观察时。
从而使夹持件103呈打开状态。固定夹1031与转动夹1032远离支架102的一端均为弧形壁板。这两个弧形壁板相面对的一侧在夹持件103闭合状态时形成一个容纳舱壁助力扶手a的空间。该空间有四个沿圆周方向等间隔排列的圆弧形凹槽组成,这样的设计适应于目前舱壁助力扶手a的横截面均为如图3所示的长圆形截面的特点。而转动夹1032用于构成容纳舱壁助力扶手a的空间的弧形壁板为两段结构。如图4所示,当舱壁助力扶手a垂直于支架102置于固定夹1031与转动夹1032之间的空间中时,扶手a的两端卡在空间的上下两个圆弧形凹槽中。如图5所示,当舱壁助力扶手a平行于支架102置于固定夹1031与转动夹1032之间的空间中时,舱壁助力扶手a的两端卡在该空间的左右两个圆弧形凹槽中。锁定板104分为两部分结构,一部分较薄,便于航天员转动;另一部分较厚且空心,并在图3中上侧设置多个相间排列的槽。锁定板104较厚的一部分铰接在固定夹1031远离支架102的一端。而由图2可知,转动夹1032远离支架102的一端为扁的齿型结构(图中未示出),齿的尺寸和数量恰好与锁定板104较厚部分的槽对应。结合图4和图5,在锁定时,航天员向上拨动锁定板104较薄的部分使其顺时针转动,当转动90°时。六合区象鼻子气动悬臂吊推荐厂家!
安装板7远离立柱1一侧的侧壁上安装有横板4,横板4远离安装板7一端的底壁上安装有固定夹板5,横板4的顶壁上安装有第二电机3,第二电机3的驱动端安装有第1转盘11,第1转盘11远离第二电机3一侧的侧壁上安装有转轴13,第1转盘11的外侧设有三角形传动件14,转轴13与三角形传动件14的顶端转动连接,三角形传动件14的底端贯穿横板4的顶壁并延伸至的横板4的下侧,横板4上开设有与三角形传动件14相匹配的矩形槽,三角形传动件14的外侧对称设有两个第二转盘12,第二电机2转动时带动第1转盘11转动,第1转盘11通过三角形传动件14可带动两个第二转盘12转动,两个第二转盘12靠近三角形传动件14一侧的侧壁上同样安装有转轴13,两个转轴13分别转动在三角形传动件14的底端,两个第二转盘12远离三角形传动件14一侧的侧壁上均安装有转杆17,两转杆17的侧壁上均套设有螺纹套管16,第二转盘12转动后带动转杆17在螺纹套管16转动,两个螺纹套管16的顶壁上均安装有固定板15,两个固定板15的顶端均安装在横板4的底壁上。本发明中,横板4的底壁上对称安装有两个滑槽板19,横板4的下侧设有移动夹板6,移动夹板6的顶端安装有滑杆20,且滑杆20的两端分别与两个滑槽板19滑动连接。六合区工业气动悬臂吊推荐厂家!连云港常见气动悬臂吊哪里可以买到
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隔着所述电容器的配置位置在所述第1电力电路或所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置的相反侧存在所述检测电路的配置位置。由此,能够进一步增大第1电力电路与磁传感器之间的间隔距离、或第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。作为理想的技术方案,自所述电路基板的法线方向观察时,隔着经过所述电路基板的中心的直线在所述第1电力电路或所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置的相反侧存在所述检测电路的配置位置。由此,能够进一步增大第1电力电路与磁传感器之间的间隔距离、或第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。作为理想的技术方案,自所述轴的轴向观察时,在所述电动马达的外侧配置有所述连接器。由此,能够使连接器远离磁传感器,能够抑制因电流在连接器中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案,还具备对所述电路基板进行支承的散热器。所述盖体安装于所述散热器。由此,能够使由电路基板产生的热高效地散热。作为理想的技术方案,所述散热器还具有第1隆起部,该第1隆起部与所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者相对且向所述电路基板侧隆起。由此,能够使由第1电力电路和第2电力电路产生的热有效地散热。上海气动悬臂吊哪里可以买到
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