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    所述的伸展电机、所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节依次传动，所述的手指固定座始终保持直线运动。上述技术方案中，的，所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节的传动比为1:2:1。上述技术方案中，的，所述的伸展电机通过谐波减速机驱动所述一级伸展臂转动。上述技术方案中，的，所述的一级关节上设置有一级同步轮，所述的二级关节上设置有二级同步轮，所述的一级同步轮和所述的二级同步轮通过一级同步带传动连接。上述技术方案中，的，所述的一级伸展臂内还设置有与所述一级同步带相配合的一级张紧轮。上述技术方案中，的，所述的二级关节上设置有三级同步轮，所述的三级关节上设置有四级同步轮，所述的三级同步轮和所述的四级同步轮通过二级同步带传动连接。上述技术方案中，的，所述的二级伸展臂内还设置有与所述二级同步带相配合的二级张紧轮。上述技术方案中，的，所述的手指固定座上设置有插槽，所述的插槽内可拆卸安装晶圆固定装置。上述技术方案中，的，所述的晶圆固定装置包括真空吸盘、气缸机械手。上述技术方案中，的，所述的手指固定座上还设置有扫描传感器。本发明具体为一种用于晶圆搬运的机械手，它是自动晶圆处理设备中组成部分。栖霞区糖袋气动悬臂吊推荐厂家！连云港象鼻子气动悬臂吊

    本发明能够有效解决现有技术中机械手运行速度低，定位精度差的问题。本机械手包含3个轴，分别为升降轴、旋转轴和伸展轴，其中伸展轴又包含3个关节，三个关节分别为一级关节、二级关节和三级关节，三个关节之间的传动比为1:2:1，伸展电机通过谐波减速机驱动一级伸展臂转动，通过一级关节、二级关节和三级关节之间设置有传动结构，同时带动二级伸展臂和手指固定座的移动，间接将第1级关节远端的一级同步带轮变为主动轮，通过这种结构，可以在一级伸展臂和二级伸展臂移动时，保持手指固定座的始终直线运动，既晶圆中心始终保持直线运动，晶圆的角度也保持不变。这种结构还提高了机械手整体强度，达到高速度运行和重复定位精度高的双重目的。与现有技术相比，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。附图说明图1是本发明示意图。图2是本发明伸展轴示意图。图3是本发明伸展轴内部俯视示意图。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。实施例1。徐州气动悬臂吊哪家有六合区常见气动悬臂吊推荐厂家！

    机械手主机是实现物料（或工件）在空中无重力化浮动状态的主体装置。机械手则是实现工件抓取，并完成用户相应搬运和装配要求的装置。安装结构则是根据用户服务区域及现场状况要求以支撑整套设备的机构。助力机械手产品系列为实现物料移载的省力操作，国内机械手的专业厂商已推出丰富的平衡吊机型，满足不同行业中不同物料不同工艺要求的搬运需要。按工作原理不一样，有臂杆式和软索式。其中臂杆式平衡吊又因工作曲线差异，有PBF、PBC等；软索式则因主体执行元件不同，分卷筒式（IRB）和直线气缸式（PBB）、钢丝绳式和链条式等。根据动力源不同，有气动式和电动式（EBC）等。另外，按系统所采用基座不同，有落地固定式、落地移动式、悬挂固定式、悬挂移动式、附墙式等[1]。助力机械手助力机械手系统特点硬臂式助力机械手系统组成主要包括四部分：1）轨道行走系统；2）机械手主机；3）夹具部分；4）执行部分；5）气路控制系统。助力机械手助力机械手轨道系统本方案采用双排C型铝合金轨道与移动平台小车配合，平台小车下法兰连接硬臂式机械手。使整个设备在轨道行程内平稳行走。C型轨道采用进口材料，强度、精度高。非金属滚轮采用度耐磨尼龙材料加工而成，使用寿命长。

    该多个肋将所述壁部的外周面和所述第1面连结起来。由此，能够提高壁部与散热器之间的连结强度。作为理想的技术方案，所述多个肋沿着所述壁部的周围以等间隔配置。由此，在壁部的周围，能够确保壁部与散热器之间的连结强度不产生偏差。作为理想的技术方案，还具备帽，该帽安装于所述壁部的靠所述电路基板侧的端部，所述帽具有与所述磁体相对的顶板部和对所述顶板部的外周进行支承的缘部，所述顶板部的材料是树脂。由此，从磁体发出的磁通能够透过帽的顶板部，磁传感器能够检测该磁通。不必为了使磁通透过而从壁部的端部拆下帽。因此，在电动驱动装置的组装工序中，不需要拆下帽的工序，能够抑制工序数量的增大。另外，在电路基板安装于散热器而完成了电动驱动装置之后，也能维持帽安装于壁部的端部的状态。由此，能够持续性地抑制异物附着于磁体。作为理想的技术方案，所述壁部具有在所述外周面设置的槽部，所述缘部具有在与所述槽部重叠的位置设置的突起部，所述突起部能卡合于所述槽部。由此，能将帽固定于壁部。作为理想的技术方案，所述壁部与散热器形成为一体。由此，在壁部与散热器之间不存在接合的边界，因此，能够提高壁部与散热器之间的连结强度。溧水区多功能气动悬臂吊推荐厂家！

    能够使第1线圈布线和第2线圈布线在与轴的轴向交叉的方向上进一步远离磁传感器。作为理想的技术方案，所述散热器具有凹部和凸部中的一者，所述适配器具有所述凹部和所述凸部中的另一者，所述凸部能嵌入所述凹部。由此，能够将适配器相对于散热器定位。作为理想的技术方案，还具备配置于所述凹部的第1粘接剂，利用所述第1粘接剂将所述散热器和所述适配器粘接起来。由此，能够确保适配器不脱离散热器。作为理想的技术方案，还具备将所述盖体固定于所述散热器的快速装配机构，所述快速装配机构的卡定部和被卡定部中的一者设于所述盖体的外周部，所述卡定部和所述被卡定部中的另一者设于所述散热器的外周部。由此，能够将盖体和散热器容易地固定在一起。六合区工业气动悬臂吊推荐厂家！沛县糖袋气动悬臂吊

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    隔着所述第1电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第1电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案，所述第2线圈布线的所述第2部位自比所述第2电力电路所包含的电子元器件靠近所述电路基板的外周的位置连接于所述第2电力电路。由此，能够使第2线圈布线远离磁传感器，能够抑制因电流在第2线圈布线中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案，所述电路基板具有与所述第2线圈布线的所述第2部位相连接的第2通孔，自所述电路基板的法线方向观察时，在所述检测电路的配置位置与所述第2通孔之间存在所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离磁传感器。作为理想的技术方案，自所述电路基板的法线方向观察时，隔着所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案，还具有配置于所述电路基板的电容器，自所述电路基板的法线方向观察时。连云港象鼻子气动悬臂吊

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