山东真空镀膜设备中冷却水的作用

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜外自雾】： 现象：镀膜完成后，表面有一些淡淡的白雾，用丙tong或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。用氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻。 可能成因有： 1. 膜结构问题，外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙 2. 蒸发角过大，膜结构粗糙 3. 温差：镜片出罩时内外温差过大 4. 潮气：镜片出罩后摆放环境的潮气 5. 真空室内POLYCOLD解冻时水汽过重 6. 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀。 7. 膜与膜之间的应力 改善思路：膜外白雾成因很多但各有特征，尽量对症下药。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善环境减少吸附的对象。 改善对策： 1. 改善膜系，外层加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。 2. 降低出罩时的镜片温度 3. 改善充氧（加大），改善膜结构 4. 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 5. 离子辅助镀膜，改善膜结构 6. 加上Polycold解冻时的小充气阀 7. 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发角 8. 改善基片表面粗糙度 9. 注意Polycold解冻时的真空度。 真空镀膜设备真空度多少？山东真空镀膜设备中冷却水的作用

【光谱分光不良的补救（补色）之停电】： 分光不良分为二种情况：一是全部膜系镀制完成后，经测试分光不良，此类不良主要按六节所述方法处理，一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断（包括发现错误中断）造成的分光不良，一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确，补救成功率比较高。 中断的原因形式之停电： 对于停电这种情况，比较好处理，只要确认前面镀的没错，程序没有用错，就可以继续原来的程序，要注意的是：如果某一层镀了一部分继续镀下去时，交接处要减少一些膜厚（根据膜料、蒸发速率决定减少多少，一般时0.2~1nm左右），如果该层剩下的膜厚不足15~20秒蒸镀时，要考虑降低蒸发速率或干脆不读，通过后续层调整膜厚解决。 山东真空镀膜设备中冷却水的作用真空镀膜设备是什么？

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之破边、炸裂】： 一般的镀膜会对基片加热，由于基片是装架在金属圈、碟内，由于镜圈或碟片与镜片（基片）的热膨胀系数不一致，冷却过程中会造成镜片的破便或炸裂。 有些大镜片，由于出罩时的温度较高，与室温的温差较大，镜片的热应力作用造成镜片炸裂或破边。有些零件边缘倒边的形状容易造成卡圈而破边。 改善对策： 1. 夹具（镜圈、碟片）的设计，在尺寸配合上要合理，充分考虑制造误差带来的影响。 2. 注意镜圈、碟片的变形，已经变形的夹具不能使用。 3. 选用合适的夹具才来哦（非导磁材料、不生锈、耐高温不变性），不锈钢较为理想（热变形系数小），就是加工难度大，价格贵。 4. 对于大镜片应降低出罩时的温度，减少温差，防止炸裂。 5. 如果时镜圈，可以考虑在镜圈上开槽，作为缓冲。

【真空镀膜设备之真空的测量】： 真空计： A、热偶规、皮拉尼规、对流规： 用来测粗真空的真空计，从大气到1E&5Torr，精度一般在10%，皮拉尼规精度高的可到5%, 反应较慢，受温度变化的影响较大。 B、离子规： 用来测高真空或超高真空的真空计，热灯丝的离子规测量范围一般从1E&4到1E&9Torr，特殊的有些甚至可以低到&10甚至&11Torr，精度在10%~20%，灯丝在工作时遇到大气会烧毁；冷阴极的离子规一般可以测到1E&11Torr，精度在20%~50%，特别是超高真空下测量精度很差，需要高压电源，探头内有磁铁，使用时不能用于某些无磁的场合。 C、电容式压力计： 探头Zui大压力从25000Torr到0.1Torr，动态范围大约104范围，比如，1Torr量程的Zui低是5E&4Torr，通常精度在读数的0.25%，可以高到0.15%。 D、宽量程真空计： 皮拉尼规和热灯丝离子规的组合，两个规可以自动切换，在低真空时切换到皮拉尼规，高真空时可切换到离子规。真空镀膜设备详细镀膜方法。

【真空镀膜设备捡漏方法】: 检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。 充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。 真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。 其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。 所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。 真空镀膜设备真空四个阶段。山东真空镀膜设备中冷却水的作用

真空镀膜设备参数怎么调？山东真空镀膜设备中冷却水的作用

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜外色斑】： 色斑（也称膜色亚克、烧蚀）是指镜片上的膜色局部变异。有膜内色斑和膜外色斑二种。 膜外色斑改善对策： 1. 对减反膜，设计条件许可时，外层加以SiO2层，10nm左右即可（一般的外层膜是MgF2）。使外层趋于光滑、致密、减少有害物质的侵蚀。 2. 适当降低蒸镀速率（在一定范围内），提高膜层光滑度，减少吸附。 3. 镜片在出罩后，待冷却后再下伞和擦拭。 4. 镜片在出罩后，放置在洁净干燥的场合待冷却。减少污染可能。 5. 用碳酸钙粉，轻擦去除外层附着物。 6. 改善工作环境的湿度、温差 7. 改善充气口附近的环境，使充入的大气干燥、洁净。 8. 工作人员的个人卫生改善 9. 检讨真空室返油状况，防止返油。 10. 适当降低基片温度。 11. 改善膜系，取消太薄的膜层，根据硝材特性，选择合适的膜层材料。 山东真空镀膜设备中冷却水的作用

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