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分子真空泵的应用情况： 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。焊接管路时应清理管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。NASH水环真空泵2BV5110公司咨询

为达到较佳配置，选择真空泵时，应考虑下述各点： 首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。 在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的较佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。 检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。 检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。RV8英国爱德华真空泵经销商真空泵泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染。

一些行业领域，尤其是冶金化工食品电子，的相关领域中都需要使用真空环境和真空容器，以便实现完全无菌的操作，同时在真空环境中也可以进行，更加丰富的作业。例如实现高温热处理，例如实现无菌化处理等。 随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。

滑阀式真空泵： 普遍应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。 滑阀真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。优点：相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大，价格相对高一点。 用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵普遍应用于冶金、机械、电子、化工、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。

真空泵使用方法和注意事项： 1.三相电机要注意电机旋转方向应与泵支架上的箭头方向一致。或在连接管道之前，先接线试车然后用手堵住进气口，看是否有吸力，若是有吸力，则接线正确，不然调换任意的两根接线即可以改变其转向； 2.检查所有阀门开关是否处于关闭状态，确认关闭后通电试车； 3.通电起动真空泵后，从真空泵较近的阀门开关开始，依次打开阀门开关； 4.真空泵的工作环境温度：-50C—400C范围内，相对湿度小于85%，进气口压力小于一个大气压力条件下工作。如果环境温度过低于真空泵则难以起动、过高会影响真空度；如果相对湿度较高，可以考虑在进入真空泵之前使用干燥过滤器，以防止大量的水分进入真空泵，从而造成影响真空度； 5.真空泵抽气口连续敞通大气运转，不得超过2分钟（油泵润滑除外）； 6.真空泵必须安装在通风并且使泵体保持一定的水平，确保真空泵运转平稳、振动小的位置； 7.在真空泵的排气咀上，较好用皮管接到室外，以免油蒸汽污染环境，同时也可降低。真空泵转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。NASH水环真空泵2BV5110公司咨询

真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。NASH水环真空泵2BV5110公司咨询

扩散泵是动量传输真空泵的一种，以低压高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为： ① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵 ② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。 （4） 扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种形式。 （5） 离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。NASH水环真空泵2BV5110公司咨询

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