上海真空DLC

一系列含有sp3和sp2杂化的不稳定的非晶碳膜统称为类金刚石薄膜（DLC），这类薄膜具有高的硬度，低的摩擦因数，优异的耐磨性，良好的光学透过性和生物相容性，是近年来引起重视的一种新型功能薄膜材料。膜基结合力强弱是决定涂层寿命的关键因素，也是决定所有涂层应用价值的较基础因素。DLC涂层结合强度不高，通过纳米调制等手段来提高其结合力。其中硼掺杂类金刚石涂层的研究主要集中在电化学和生物相容性方面,首先采用射频磁控溅射法在不同基底材料上制备了类金刚石涂层，分析了基底材料对涂层结构及膜基结合力的影响，通过原子力显微镜、扫描电镜、拉曼光谱结果表明：射频磁控溅射和闭合场非平衡磁控溅射制备的类金刚石涂层，上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。离子束溅射法DLC膜的制备。上海真空DLC

智能手机发展至今，硬件技术革新突飞猛进，不少千元手机都已经拥有了旗舰配置，足以满足日常使用的基本需求。都说眼睛是心灵的窗户，那么屏幕就是手机的窗户，而千元机的手机屏幕玻璃，往往质量堪忧，用不了几个星期，就会出现明显的划痕。类金刚石镀膜在原有屏幕玻璃的结构基础之上，额外覆盖了一层类金刚石薄膜，除了防污疏油、顺滑手感之外、增强玻璃硬度是重要的作用。经过oDLC类金刚石镀膜技术处理过的手机，其屏幕玻璃耐刮性能达到9H++级别，可以与蓝宝石玻璃相媲美。经过实际测试，用金属刀尖这样尖锐的物体反复刮擦，也不会留下任何痕迹，应付各种日常使用场景更是不在话下，oDLC类金刚石镀膜就像是给手机屏幕装上了一层金刚外衣，对手机屏幕起到至关重要的保护作用。对于常年暴露在危险环境中的手机屏幕来说，oDLC类金刚石镀膜技术简直是救星一般的存在。上海真空DLC激光Roman光谱仪研究了DLC的结构组成。

类金刚石的光学性能及应用。DLC薄膜具有良好的光学透明度，宽的光学带隙，在可见光区通常吸收率高，不透明，但是在红外区和微波频段则具有很高的透过率和较低的吸收率。由于DLC薄膜具有光谱宽透过率高、硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等优点，可以作为多种光学材料如硅、锗、玻璃、硫化锌等的增透/保护膜，起到抗磨损、耐腐蚀、抗潮解和抗氧化的作用。国外已相继将其应用在太阳能硅电池、高功率二氧化碳激光器窗口、潜望镜红外窗口、陆瞄准具红外窗口、飞机前视红外窗口、导弹头罩窗口和宇航探测器等方面。类金刚石在机械性能与应用。DLC薄膜具有很高的硬度和弹性模量，不同的沉积方法制备的DLC薄膜硬度差异很大，尤其是用激光溅射或磁过滤阴极电弧法制备出的DLC薄膜，其硬度高达70-110GPa，与金刚石相当。因制备方法或者沉积的工艺参数以及成分不同，造成sp3/sp2比例以及氢含量不同，也会影响薄膜的力学性能。

类金刚石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)发现于20世纪70年代，是一系列含有sp3和sp2键的非晶碳膜，它有着和金刚石膜非常接近的性质——高硬度、高弹性模量、耐磨损、低摩擦系数、高电阻率、高透光率和高化学稳定性等。因此，类金刚石薄膜技术被广泛应用到机械、电子、光学和医学等各个领域。掺杂的DLC膜是一种非晶半导体材料，禁带宽度可以在1—4eV之间调制，可大面积生长，材料自身和加工过程环保，在光电探测领域的运用具有非常大的潜力。但目前DLC半导体掺杂尚无法获得n型或者p型DLC半导体材料。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。DLC薄膜应用于血管支架表面改性的关键技术问题。

研究结果表明：采用射频等离子体增强化学气相沉积方法，可以在不锈钢表面沉积一定厚度的DLC碳膜，但是由于薄膜与基材之间存在较大的内应力，薄膜牢度较小，易剥落，且不耐磨。用旋转磁控电弧离子镀技术，在不锈钢金属表面先制备了Ti/TiC、Ti/TiN等中间过渡层，然后再用射频等离子体化学气相沉积(rfPEVCD)方法在过渡层上制备了DLC薄膜，发现所制备的DLC碳膜的附着牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。类金刚石薄膜（DLC）是一种非晶态薄膜。上海真空DLC

类金刚石(DLC)的简介。上海真空DLC

类金刚石膜是一类性质类似于金刚石的具有多项质量性能的新型膜材料，它的面世是人类膜材料科学的一大进步。由于类金刚石膜的高耐磨性、低摩擦系数、热稳定性、红外透光性、高电阻、低介电常数及生物相容性，适合于多个领域的应用，同时类金刚石膜的制备方法简单，使其引起人们的关注。我们来谈谈类金刚石膜的发现、结构和制备方法，介绍一下多层类金刚石膜在机械、光学、医疗、电子、航天等领域的应用，总结一下它的研究现状和发展前景。随着人类对金刚石的研究的深入和其应用的，人类对其的需求越来越大，但是，由于制备金刚石的工业化工艺条件比较难以实现，因此人们渴望能有一种可以替代金刚石的新材料。类金刚石膜（diamond-like-carbon）简称DLC，是一类性质类似于金刚石具有高电阻率、高硬度、热稳定性、高电阻、低介电常数、的光学性能、及良好的生物相容性等多项优良性能的非晶体碳膜，一般利用非平衡气相工艺合成的以碳或以碳和氢为主要成分的一种兼有自身独特低摩擦系数和高耐磨性的材料。随着人们研究的深入，发现DLC是一种集多个优点于一身的且应用前景十分广阔的新型薄膜材料。世界各国对其的研究也在不断的深入中。上海真空DLC