东莞声表面谐振器如何调节频率

等效电路分析采用电网络分析与综合理论，将梯型结构的SAW滤波器由单端对SAW谐振器来代替网络中的各个单元。此结构具有电感电容(LC)滤波器低损耗的优点，而且可承受大功率，体积较小。这种结构一般用来设计射频滤波器，工作频率范围为300～2 400 MHz，相对带宽为2%～6%， 插入损耗小于5 dB。设计单端对谐振器时，使并臂谐振器的反谐振频率与串臂谐振器的谐振频率相同。其中frp、fap、frs、fas分别为并臂、串臂谐振器的谐振频率和反谐振频率。根据梯型滤波器传输函数截止条件可知，串臂谐振器阻抗Zs和并臂谐振器阻抗ZP性质相同时，形成阻带；Zs、ZP性质相反，且Zs/ZP>－1时，形成通带；Zs/ZP<－1时，形成过渡带；Zs/ZP=－1时的频率点为截止频率。因为衬底和IDT换能器的参数对于整个器件的性能有十分巨大的影响。而工艺对于器件的性能来说尤为重要。东莞声表面谐振器如何调节频率

声表面波是沿物体表面传播的一种弹性波。早在九十多年前，人们就对这种波进行了研究。1885年，瑞利根据对地震波的研究，从理论上阐明了在各向同性固体表面上弹性波的特性。但由于当时的科学技术水平所限，这种弹性表面波一直没有得到实际上的应用。直到六十年代，由于半导体平面工艺以及激光技术的发展，出现了大量人造压电材料为声表面波技术的发展提供了必要的物质和技术基础。1949年，美国贝尔电话实验室发现了LiNbO3单晶。1964年产发表了激发弹性表面波平面结构换邹器的 。特别应该指出的是，1965年，怀特(R.M.white)和沃尔特默(F.W.voltmer)在应用物理杂志上发表了题为“一种新型表面波声-电换能器―叉指换能器”的论文，从而取得了声表面波技术的关键性突破。汕头声表面谐振器原理SAW 声表面波元件具有可大量生产、损耗低及选择性高，适用于各型手机等特点。

说起声表面波滤波器，大家可能很陌生，但是它就在我们身边。手机的通信模块中有很多声表面波滤波器。声表面波滤波器被较多地应用在各种电子设备的射频前端模块中。射频前端模块是通信系统的重要组件。主要包括滤波器（Filters）、低噪声放大器（LNA）、功率放大器（PA）、射频开关（RFSwitch）、天线调谐开关（RFAntennaSwitch）、双工器（duplexer）等。滤波器是射频前端各领域产值占比比较高的产品。从下图可以看出，滤波器在射频前端中占的比值在2023年将达到66%。

声表面波滤波器是射频前端中的重要芯片，而射频前端是实现信号无线连接的关键模块。移动终端类产品的无线通讯系统主要由天线、射频前端模块、射频收发模块、基带信号处理器等四部分组成。射频前端能够实现不同频率的信号在天线和射频收发模块之间发射和接收。射频前端包括射频开关（Switch）、低噪声放大器（LNA,LowNoiseAmplifier）、功率放大器（***owerAmplifier）、滤波器（Filter）和双工器（Duplexer）等芯片

般4G手机需要支持约20-30个频段，如Band5、Band34、Band39、Band40、Band41等，每个频段一般需要1个发射通道和2个接收通道。发射通道路径为“基带芯片-射频收发模块-开关-功率放大器（PA）-滤波器/双工器-开关-天线-信号”，接收通道路径为“信号-天线-开关-滤波器/双工器-低噪声放大器（LNA）-开关-射频收发模块-基带芯片。 声表面波谐振器的独特性质，使得表面声波组件可以很容易地运用其所携带的能量。

声表面波(surfaceacousticwave，SAW)传感器是近年来发展起来的一种新型微声传感器，是一种用声表面波器件作为传感元件，将被测量的信息通过声表面波器件中声表面波的速度或频率的变化反映出来，并转换成电信号输出的传感器。声表面波传感器能够精确测量物理、化学等信息(如温度、应力、气体密度)。由于体积小，声表面波器件被誉为开创了无线、小型传感器的新纪元；同时，其与集成电路兼容性强，在模拟数字通信及传感领域获得了应用。不同滤波器具有不同的特点，适用于不同的应用场景。中山声表面谐振器容易损坏吗

声表谐振器是一种性质相当独特的机械波。东莞声表面谐振器如何调节频率

SAW类产品包括普通的SAW滤波器以及具有温度补偿特性的TC-SAW滤波器，产品形式包括双工器以及单独的滤波器。制作的原材料主要为钽酸锂或铌酸锂的单晶晶圆（4寸晶圆为主），在晶圆上方应用光刻，镀膜等半导体工艺进行图形化处理，然后划切成为芯片，芯片表面结构和制作工艺较为简单，成本较低。BAW滤波器基本原理同SAW滤波器相同，不同的是BAW滤波器中声波垂直传播。同时电极的使用与薄膜压电层的厚度决定滤波器谐振频率，高频下薄膜压电层厚度在几微米量级，因此需要使用较高难度的薄膜沉积与微机械加工技术，制造难度与成本更高。滤波器微信公众号认为，BAW滤波器有FBAR类型以及SMR类型，两者结构略有差别。BAW滤波器可以直接在硅晶圆（6寸为主）加工设计，利用PVD或CVD设备实现压电薄膜的制备是其关键工艺环节，薄膜材料主要为氮化铝和氧化锌。东莞声表面谐振器如何调节频率

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