MSA FACTORYPA3005-PCC10A加热板说明书
设计不同的热流密度;防止工质进入过渡沸腾区,从而导致传热恶化,壁温过热。(3)采用合理的绝缘固定方式,保证每匝线圈之间的节距,以及线圈到加热筒体内外壁之间的距离,保证各区段的电感量在设计范围之内。附图说明图1为本发明提供的电磁感应加热单元结构示意图;图2为本发明提供的电磁感应加热单元剖视图;图3为本发明提供的电磁感应加热单元外部结构示意图;图4为电磁感应加热单元与蒸汽炉配合工作流程示意图。附图标记说明:1-汽水引出管;2-中心加热筒;3-内筒体;4-外筒体;5-汽水引进管;6-辅助加热水套汽水引入管;7-线圈;8-线圈固定装置;81-支柱固定块;82-支柱定位管;83-绝缘支柱;84-定位螺栓。具体实施方式下面结合附图对本发明作更进一步的说明。如图1所示的一种电磁感应加热单元结构,包括两端开口的中心加热筒2,沿中心加热筒2切向向外依次套装有内筒体3和外筒体4。内筒体3与外筒体4底部位于同一封闭平面,内筒体3与外筒体4之间形成倒u型辅助加热水套。外筒体4顶端与中心加热筒2顶端位于同一平面。中心加热筒2与辅助加热水套连接处开有若干通孔。其中中心加热筒2承担90%左右的加热量,辅助加热水套承担10%左右的加热量。格芯的9HP延续了成熟的高性能硅锗BiCMOS技术的优势。MSA FACTORYPA3005-PCC10A加热板说明书
陶瓷加热板产品特点有哪些?加热仪器是实验室的常用仪器,实验室的加热设备有多种,如电炉、电热板、加热套、水浴锅等等,但是如此众多的加热设备,其中一定会有你需要的吧?HT系列陶瓷加热板是实验室前处理加热、消解、赶酸应用中不可少的一款仪器,在样品前处理起到了很大的作用,电热板加热台面面积大,不生锈,加温快等优势特点让前处理实验节省工作时间,提高了实验效率。产品特点:1、HT系列陶瓷加热板采用分体设计,让控制器与加热主机分开,可让实验操作者远离实验过程生产的酸雾而不受伤害。2、玻璃陶瓷材质作为加热面,具有清洁性好、耐腐蚀性高、使用寿命长。3、考虑到特殊样品的消解,配置防HF酸保护膜。4、超大加热面积,快速处理样品不省时。5、加热板内部是用铂金电阻精确控温,升温快速、加热均匀,温度可达400℃。6、控制器是大屏幕LCD液晶显示,可以直观看到实验操作数据。7、加热板内部设计具有热警显示,当加热板表面温度过高会有自动报警功能让你的实验更安全。8、机身厚度不超过7cm左右,方便放置。 苏州PA2020-FC-PCC20A加热板发热体设置在发光管的内部,且发热体以碳作为主要成分。
以恢复晶格的完整性。使植入的掺杂原子扩散到替代位置,产生电特性。去除氮化硅层用热磷酸去除氮化硅层,掺杂磷(P+5)离子,形成N型阱,并使原先的SiO2膜厚度增加,达到阻止下一步中n型杂质注入P型阱中。去除SIO2层退火处理,然后用HF去除SiO2层。干法氧化法干法氧化法生成一层SiO2层,然后LPCVD沉积一层氮化硅。此时P阱的表面因SiO2层的生长与刻蚀已低于N阱的表面水平面。这里的SiO2层和氮化硅的作用与前面一样。接下来的步骤是为了隔离区和栅极与晶面之间的隔离层。光刻技术和离子刻蚀技术利用光刻技术和离子刻蚀技术,保留下栅隔离层上面的氮化硅层。湿法氧化生长未有氮化硅保护的SiO2层,形成PN之间的隔离区。生成SIO2薄膜热磷酸去除氮化硅,然后用HF溶液去除栅隔离层位置的SiO2,并重新生成品质更好的SiO2薄膜,作为栅极氧化层。氧化LPCVD沉积多晶硅层,然后涂敷光阻进行光刻,以及等离子蚀刻技术,栅极结构,并氧化生成SiO2保护层。形成源漏极表面涂敷光阻,去除P阱区的光阻,注入砷(As)离子,形成NMOS的源漏极。用同样的方法,在N阱区,注入B离子形成PMOS的源漏极。沉积利用PECVD沉积一层无掺杂氧化层,保护元件,并进行退火处理。
**减少了加热器的使用寿命和工艺稳定性。技术实现要素:本实用新型目的是提供一种等离子体cvd晶圆加热器用表面修磨装置,结构简单,操作方便,修磨效果好,效率高,解决了以上技术问题。为了实现上述技术目的,达到上述的技术要求,本实用新型所采用的技术方案是:一种等离子体cvd晶圆加热器用表面修磨装置,其特征在于:从下至上依次设置有安装支架、旋转装置、加热器支撑圆盘、研磨盘,晶圆加热器设置在加热器支撑圆盘和研磨盘之间;研磨盘包括研磨盘主体,研磨盘主体底部设置有研磨块、调节支撑圆柱,研磨盘主体通过调节螺栓与研磨块相连接固定,调节螺栓的上端设置有数显深度测量指示表;所述的安装支架包括安装支撑柱,安装支撑柱上端设置有安装平板,安装支撑柱下端设置有高度调节块,安装平板上设置有安装主体,安装主体内部设置有台阶孔,装有旋转电机的固定座下部与台阶孔相配合固定,旋转电机的上表面设置有连接圆盘,连接圆盘上端设置有支撑圆盘本体,支撑圆盘本体上端通过螺丝固定有圆环;所述的调节支撑圆柱与圆环相连接。推荐的:所述的高度调节块与安装支撑柱之间设置为螺纹连接。在晶圆制造完成之后,晶圆测试是一步非常重要的测试。
推荐的:所述的调节支撑圆柱与研磨盘主体之间、调节支撑圆柱与圆环之间均设置为螺纹连接。推荐的:所述的支撑圆盘本体的材质采用铝合金。推荐的:所述的圆环的材质采用ptfe。推荐的:所述的研磨块的长度与晶圆加热器的修磨面半径相等。本实用新型的有益效果;一种等离子体cvd晶圆加热器用表面修磨装置,与传统结构相比:设置有带锁紧及定位功能的晶圆加热器支撑圆盘、连接晶圆加热器支撑圆盘的旋转装置、带水平调整及测量功能的研磨盘、带水平调节功能的安装支架;研磨块的长度与晶圆加热器的半径相等,研磨均匀;本实用新型结构简单,稳定性好,操作方便,研磨快速高效;**降低了工人的劳动强度,大大减小了一次修磨量,增加了晶圆加热器的可修磨次数,延长了晶圆加热器的工作寿命,节约了成本。附图说明图1为本实用新型结构示意图;图2为本实用新型中加热器支撑圆盘结构示意图;图3为本实用新型中旋转装置结构示意图;图4为本实用新型研磨盘结构示意图;图5为本实用新型安装支架结构示意图;图6为本实用新型晶圆加热器结构示意图;在图中:1.加热器支撑圆盘;1-1.支撑圆盘本体;1-2.圆环;1-3.螺丝;2.旋转装置;2-1.固定座;2-2.旋转电机;2-3.连接圆盘;3.研磨盘。将洗净的基片表面涂上附着性增强剂或将基片放在惰性气体中进行热处理。MSA FACTORYPA2012-FC-PCC20A加热板一级代理
化解了传统加热板的构造的缺点,提高了采用的稳定性,增加了加热板的寿命。MSA FACTORYPA3005-PCC10A加热板说明书
陶瓷加热板的用途有哪些?陶瓷加热板是一款用于实验室里头对检测样品进行加热、消解、赶酸的仪器,是市面上比较常见的设备,也是实验室必备仪器。虽然说现在样品前处理的设备越来越多,也越智能但是有些实验操作始终还是需要一块简单的加热板来处理。也可见加热板的重要性。加热板是实验室必备仪器,因此它被使用率是很高的,相对能被需求的领域也是相当的**。陶瓷加热板用途:1.水资源对人类是越来越重要,特别是在一些缺水的国家更视如生命一样,陶瓷加热板可以消解污水、饮用水、排污,对水质的处理能检测水质里的重金属,判断水质是否可利用与改造。2.土壤问题也是国家当前比较重视的一项,陶瓷加热板可以消解土壤、淤泥、矿泥等。3.在农业食品检验方面陶瓷加热板可以消解、加热奶粉、鱼类、蔬菜、植物、化肥等。4.产品质量控制方面陶瓷加热板可以处理化妆品、副食品、工业制品等。5.科学研究陶瓷加热板可以帮助实验分析、项目开发。6.疾病预防控制方面陶瓷加热板也能派上用场,可以对生物样品、人体毛发等进行消解,而已达到的效果也相当的好。 MSA FACTORYPA3005-PCC10A加热板说明书
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