浙江新型异质结PVD

异质结电池（HJT电池）的特点和优势1、无PID现象由于电池上表面为TCO，电荷不会在电池表面的TCO上产生极化现象，无PID现象。同时实测数据也证实了这一点。异质结太阳能电池的技术应用与前景2、低温制造工艺HJT电池所有制程的加工温度均低于250，避免了生产效率低而成本高的高温扩散制结的过程，而且低温工艺使得a-Si薄膜的光学带隙、沉积速率、吸收系数以及氢含量得到较精确的控制，也可避免因高温导致的热应力等不良影响。3、高效率HJT电池一直在刷新着量产的电池转换效率的世界纪录。HJT电池的效率比P型单晶硅电池高1-2%，而且之间的差异在慢慢增大。4、高光照稳定性异质结太阳能电池的技术应用与前景在HJT太阳能电池中不会出现非晶硅太阳能电池中常见的Staebler-Wronski效应。同时HJT电池采用的N型硅片，掺杂剂为磷，几乎无光致衰减现象。5、可向薄型化发展HJT电池的制程温度低，上下表面结构对称，无机械应力产生，可以顺利实现薄型化；另外经研究，对于少子寿命较高（SRV<100cm/s）的N型硅基底，片子越薄可以得到越高的开路电压。异质结电池作为一种高效、环保的太阳能电池，将在未来的能源领域中发挥越来越重要的作用。浙江新型异质结PVD

异质结电池的优势有，优势一：工艺流程短HJT电池主工艺有4道：制绒、非晶硅沉积、TCO沉积、丝网印刷；远少于PERC（10个）和TOPCON（12-13个）；其中，非晶硅沉积主要使用PECVD方法。TCO薄膜主要有两种方法：RPD(反应等离子沉积)和PVD。优势二：转换效率高得益于N型硅衬底以及非晶硅对基底表面缺陷的双重钝化作用。目前量产效率普遍已在25%以上；更高的转化效率需要在前后表面使用掺杂纳米晶硅、掺杂微晶硅、掺杂微晶氧化硅、掺杂微晶碳化硅取代现有的掺杂。HJT效率潜力超28%，远高PERC电池。优势三：无LID&PID，低衰减无LID与PID：由于HJT电池衬底通常为N型单晶硅，而N型单晶硅为磷掺杂，不存在P型晶硅中的硼氧复合、硼铁复合等，所以HJT电池对于LID效应是免疫的。HJT电池的表面沉积有TCO薄膜，无绝缘层，因此无表面层带电的机会，从结构上避免PID发生。低衰减：HJT电池首年衰减1-2%，此后每年衰减0.25%，远低于PERC电池掺镓片的衰减情况（首年衰减2%，此后每年衰减0.45%)，因此HJT电池全生命周期每W发电量高出双面PERC电池约1.9%-2.9%。深圳光伏异质结制绒设备异质结电池技术升级让光伏行业规模持续扩大，随着HJT技术的进一步成熟，使HJT技术将更具有竞争力。

光伏异质结是一种利用半导体材料的光电效应将光能转化为电能的技术。其原理是基于半导体材料的能带结构和PN结的特性。半导体材料的能带结构是指在晶体中，电子的能量分布情况。在半导体中，有一个价带和一个导带，两者之间存在一个能隙。当光子能量大于等于这个能隙时，光子就可以激发价带中的电子跃迁到导带中，形成自由电子和空穴。这个过程就是光电效应。PN结是由P型半导体和N型半导体组成的结构。在PN结中，P型半导体中的空穴和N型半导体中的自由电子会在结界面处发生复合，形成电子-空穴对。这个过程会产生电势差，形成电场，使得电子和空穴在结界面处被分离，形成电势差。光伏异质结就是将半导体材料的能带结构和PN结的特性结合起来，形成一个异质结。在光伏异质结中，P型半导体和N型半导体的结界面处形成了一个电势差，使得光子激发的电子和空穴被分离，形成电势差。这个电势差可以被收集，形成电流，从而将光能转化为电能。总之，光伏异质结的原理是基于半导体材料的能带结构和PN结的特性，利用光子激发电子和空穴的光电效应，形成电势差，将光能转化为电能。

HJT电池整线装备，形成洁净硅片表面，由于HJT电池中硅片衬底表面直接为异质结界面的一部分，避免不洁净引进的缺陷和杂质而带来的结界面处载流子的复合。碱溶液浓度较低时，单晶硅的(100)与(111)晶面的腐蚀速度差别比较明显，速度的比值被称为各向异性因子(anisotropicfactorAF)；因此改变碱溶液的浓度及温度，可以有效地改变AF，使得在不同方向上的速度不同，在硅片表面形成密集分布的“金字塔”结构的减反射绒面；在制绒工序，绒面大小为主要指标，一般可通过添加剂的选择、工艺配比的变化、工艺温度及工艺时间等来进行调节控制。异质结电池主工艺之一：PECVD设备。

质结电池TCO薄膜的方法主要有两种：RPD（特指空心阴极离子镀)和PVD(特指磁控溅射镀膜)；l该工艺主要是在电池正背面上沉积一层透明导电膜层，通过该层薄膜实现导电、减反射、保护非晶硅薄膜的作用，同时可以有效地增加载流子的收集；l目前常用于HJT电池TCO薄膜为In2O3系列，如ITO（锡掺杂In2O3，@PVD溅射法）、IWO（钨掺杂In2O3，@RPD方法沉积）等。HJT电池具备光电转化效率提升潜力高、更大的降成本空间。零界高效异质结电池整线解决方案，实现设备国产化，高效高产PVD DD CVD。光伏异质结结合了晶体硅和非晶硅的优点，实现了低成本、高效率的太阳能转换。河南异质结电池

中国在光伏异质结技术的研发和应用方面处于优势地位，拥有众多出名企业和研究机构。浙江新型异质结PVD

异质结电池生产流程与常规晶硅工艺的区别。常规晶硅工艺：1、清洗制绒。通过腐蚀去除表面损伤层，并且在表面进行制绒，以形成绒面结构达到陷光效果，减少反射损失；2、扩散制结。通过热扩散等方法在硅片上形成不同导电类型的扩散层，以形成p-n结；3、刻蚀去边。去除扩散后硅片周边的边缘结；4、去磷硅玻璃。扩散过程中，在硅片表面会形成一层含磷的氧化硅，称为磷硅玻璃（PSG），需要用氢氟酸腐蚀去掉；5、镀减反射膜。为进行一步提高对光的吸收，在硅片表面覆盖一层减反射膜。常用PECVD进行SiNx薄膜沉积，同时起到钝化的作用；6、栅线电极。在电池正面用丝网印刷进行栅线电极制作，在背面印刷背场(BSF)和背电极，并且进行干燥和烧结；7、电池测试及分选。浙江新型异质结PVD