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真空泵在半导体制造过程中,对于减少杂质和提高产品质量至关重要。广东真空泵厂家
.水环真空机组:水环真空泵+罗茨泵+储气罐2.旋片式真空机组:单级(双级)旋片泵+罗茨泵+储气罐四、应用范围:1、真空冶炼2、真空镀膜3、真空热处理4、真空浸渍5、真空除尘6、真空冷冻等7、还在食品、化工、医疗、轻纺等行业的真空蒸馏8、浓缩9、蒸发10、干燥等的生产过程中得到广泛应用。
罗茨泵机组(罗茨泵+前级真空泵)真空泵机组按用泵类型分为“油泵系统”,“干泵系统”。按用泵数量分为“单级型”,“双级型”。真空机组一般由真空泵、控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。 广东真空泵厂家
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