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降低待加工部件20如inp基晶圆的机械加工损伤。由于本发明实施例中采用光刻胶对托盘和待加工部件进行了固定,因此,对待加工部件的待加工表面进行抛光和减薄之后,还包括:对待加工部件进行清洗;采用特定溶液对光刻胶进行腐蚀,以将待加工部件与托盘分离。具体地,在完成抛光和减薄后,可以采用直链烷基苯磺酸盐溶剂对待加工部件20进行清洗,用di水冲洗干净,40℃的氮气吹干。之后,将清洗后的待加工部件20和托盘10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盘10自动分离,取出待加工部件20后清洗干净即可。本发明实施例提供的方法,还包括:在磁转子运行一段时间后,更换磁转子。如磁转子12工作1小时后,可以将磁转子12更换为新的磁转子,以使磁转子与待加工表面贴合紧密,避免了传统减薄工艺中由于转子形变误差造成的加工精度失真。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言,由于其与实施例公开的方法相对应,所以描述的比较简单,相关之处参见方法部分说明即可。对所公开的实施例的上述说明。减薄清洗剂,轻松应对各种涂层挑战,让您的工作更轻松。惠州显示面板用减薄用清洗剂供应商
可有效稳定所述固定板423的竖直放置位置。同时,值得指出的时,所述竖直平板421上所述侧支撑件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具体的,所述竖直平板421上设置有若干竖槽,所述竖槽单侧竖直有若干定槽,对应所述定槽设置有带有固定块的安装板,所述安装板对应所述竖槽的侧边设置有至少2个所述固定块,所述安装板远离所述竖槽的侧边设置有所述侧支撑件44,通过将所述固定块分别设置于所述定槽内,从而实现所述侧支撑件44在所述竖直平板421上的固定。通过所述竖直平板421和所述侧板422上的所述侧支撑件44的设置,从而实现对所述玻璃加工治具4上玻璃的侧边位置固定,同时,通过所述侧板422上所述调节槽的设置,可实现所述侧板422上所述侧支撑件44的位置调节,从而使所述玻璃加工治具4适用于不同尺寸的玻璃,并可根据具体玻璃尺寸同时放置不同尺寸的玻璃进行减薄处理。实施例五一般的,对于实施例四中的所述玻璃加工治具4结构,可通过调节所述底支撑件43位置使所述底支撑件43适用于不同尺寸的玻璃。如图7、图8所示,图7为所述底支撑件的结构正视图;图8为所述底支撑件的结构侧视图;所述底支撑件43包括支撑条431、第二支撑条432、连接部433和接触部434。池州哪家公司减薄用清洗剂替代减薄清洗剂采用独特配方,提高工作效率。
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实现玻璃与喷淋液充分均匀接触的同时,控制玻璃的摆动幅度,提高玻璃在减薄过程中的安全性。实施例六所述主厚度测量仪32与所述蚀刻区3的内壁相邻,并且具有滑动结构以移动到竖直容纳在所述玻璃加工治具4内的玻璃之中的靠外玻璃附近,从而便于对玻璃厚度进行检测;具体的,在所述控制器的控制下,所述主厚度测量仪32通过向玻璃发射激光束来实时测量玻璃厚度并且在玻璃正经历滑动处理的同时将关于测得厚度的信息发送到所述控制器;所述控制器实时将预设的目标厚度与从所述主厚度测量仪32接收的测得玻璃厚度进行比较。如果确定从所述主厚度测量仪32接收的测得玻璃厚度达到目标厚度,则所述控制器停止减薄处理等操作,并且将所述玻璃加工治具4向所述冲洗区2移动。较佳的,所述主厚度测量仪32可包括:发射器,其用于发射激光束;接收器,其用于接收被玻璃反射的光束;以及分析器,其用于分析接收器中接收的光束并且计算玻璃厚度。所述主厚度测量仪32还可包括空气喷射器,用于将空气喷射到玻璃的将被暴露于从发射器发射的激光束的那部分。在通过发射器发射激光束之前,所述主厚度测量仪32控制所述空气喷射器。去除涂层,减薄用清洗剂是您的得力助手。
本发明涉及玻璃减薄技术领域,具体涉及一种玻璃减薄设备。背景技术:随着便携式电子器件的发展,手机、平板等便携式电子器件越来越纤细化及薄型化,因此需要制造较薄的玻璃基板。为了制造较薄的玻璃基板,目前的采用的方法是浸泡式减薄法。用浸泡式减薄法减薄玻璃是将玻璃减薄液放入玻璃减薄设备的反应槽中,然后将玻璃放入玻璃减薄液中放置一定时间,使玻璃减薄液与玻璃反应,实现玻璃减薄。目前的浸泡式减薄法中,反应产物会悬浮于玻璃减薄液中,然后再粘附在玻璃上,造成不良品;并且,这种方法容易造成蚀刻不均,导致进行减薄后还需要进行抛光处理,提高了制备成本。鉴于上述缺陷,本发明创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本发明。技术实现要素:为解决上述技术缺陷,本发明采用的技术方案在于,提供一种玻璃减薄设备,包括蚀刻区,用于对竖直容纳在玻璃加工治具中的多个玻璃进行减薄处理;冲洗区,用于所述玻璃加工治具上的玻璃进行减薄前清洁和减薄后清洁;转换区,用于待减薄处理的所述玻璃加工治具加载到所述冲洗区中,并将减薄处理后的所述玻璃加工治具从所述冲洗区卸载到外部;制动组件。减薄清洗剂,让您的加工过程更轻松,提高生产效率。芜湖好用的减薄用清洗剂按需定制
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所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蚀刻区3内作往复移动,所述主厚度测量仪32测量玻璃厚度并且将关于测得厚度的信息实时发送到所述控制器;当测得玻璃厚度达到预设目标厚度时,所述控制器停止在所述蚀刻区3中喷射喷淋液的减薄处理,并且控制所述玻璃加工治具4向所述冲洗区2移动。一般的,在所述腔室31内,减薄处理的具体工艺参数为:所述玻璃加工治具4的往复运动中单程单向时间设置为~4s,来回往复一次时间设置为3s~8s,往复移动幅度设置约为180mm左右;所述喷淋系统控制的喷淋液流量设置为1500lpm~2400lpm,在所述腔室31内的酸蚀温度一般设置为20℃~40℃;在上述参数下,玻璃的酸蚀速率一般在μm/min~μm/min,可有效实现对玻璃的整体减薄处理。s2,完成减薄处理的所述玻璃加工治具4在所述冲洗区2内经减薄后初清洗后待机,所述控制器进行次减薄厚度确认操作;具体的,通过设置于所述冲洗区2内的所述辅助厚度测量仪,进行检测厚度比较,从而实现所述减薄厚度确认操作,当所述减薄厚度未达到目标厚度时,所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31内进行再次减薄处理。s3,所述玻璃加工治具4移动至所述第三冲洗区2进行减薄后终清洗。惠州显示面板用减薄用清洗剂供应商
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