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从而在玻璃侧部提供支撑效果,通过所述底支撑件43和所述侧支撑件44实现玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撑稳定效果。较佳的,所述底支撑件43和所述侧支撑件44可均采用ptfe材质。较佳的,所述侧支撑件44设置为叉状型结构,即所述侧支撑件44包括两叉脚,所述玻璃侧边边缘设置于两所述叉脚间,两所述叉脚在一端连接,两所述叉脚间距离从连接端向非连接端的方向逐渐增大,两所述叉脚间的大距离大于玻璃的厚度,限制玻璃两对应侧部边缘的两所述侧支撑件44之间的水平距离大于玻璃两侧部边缘之间的水平距离,即当玻璃通过两侧的所述侧支撑件44进行支撑限制时,玻璃的两侧部边缘在两所述叉脚间空间内均具有一定的调整间隙,从而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31内往复运动,玻璃的两侧部边缘相较于所述侧支撑件44进行一定的位置移动,从而避免所述侧支撑件44长期于玻璃的同一位置接触紧贴。所述侧支撑件44的结构设置,使所述玻璃加工治具4在所述腔室31内沿直线往复运动的过程中,所述侧支撑件44与玻璃之间的接触点发生变化,从而避免所述侧支撑件44与玻璃之间的接触点因所述侧支撑件44的长期接触造成接触点无法被喷淋液喷淋,若接触点无法被喷淋,易造成玻璃的减薄缺陷。
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将待加工部件固定在托盘上包括:采用光刻胶将待加工部件固定在托盘上。具体地,将待加工部件背面喷涂厚度约为2μm的光刻胶,如az4620光刻胶,然后在托盘表面喷涂厚度约为3μm的光刻胶,如az4620光刻胶,之后,将托盘光刻胶面向上放于温度为90℃的热板上,将待加工部件光刻胶面和托盘光刻胶面贴合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar压强于待加工部件上进行键合,键合时间20min。s102:通过喷头向待加工部件的待加工表面喷涂抛光液,来对待加工表面进行抛光;s103:通过磁转子旋转对待加工表面进行机械研磨,来对待加工表面进行减薄。可选地,本发明实施例中,s102和s103可以交替进行,也就是说,控制磁转子旋转一段时间后,控制磁转子停止旋转,并控制喷头喷涂抛光液,停止喷涂抛光液后,再次控制磁转子旋转,以此类推。本发明实施例中,通过磁转子和喷头交替工作,实现了减薄和抛光两种工艺交替作用,使得减薄和抛光一体化完成,整个过程稳定,速度快,控制性好,重复度高,无粉尘污染,衬底减薄终厚度达到20μm,抛光面ra<2nm。由于减薄过程中待加工部件20如inp基晶圆本身不旋转,因此,可以降低抛光减薄过程中对待加工部件20如inp基晶圆的挤压应力。安徽半导体减薄用清洗剂生产
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