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降低待加工部件20如inp基晶圆的机械加工损伤。由于本发明实施例中采用光刻胶对托盘和待加工部件进行了固定,因此,对待加工部件的待加工表面进行抛光和减薄之后,还包括:对待加工部件进行清洗;采用特定溶液对光刻胶进行腐蚀,以将待加工部件与托盘分离。具体地,在完成抛光和减薄后,可以采用直链烷基苯磺酸盐溶剂对待加工部件20进行清洗,用di水冲洗干净,40℃的氮气吹干。之后,将清洗后的待加工部件20和托盘10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盘10自动分离,取出待加工部件20后清洗干净即可。本发明实施例提供的方法,还包括:在磁转子运行一段时间后,更换磁转子。如磁转子12工作1小时后,可以将磁转子12更换为新的磁转子,以使磁转子与待加工表面贴合紧密,避免了传统减薄工艺中由于转子形变误差造成的加工精度失真。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言,由于其与实施例公开的方法相对应,所以描述的比较简单,相关之处参见方法部分说明即可。对所公开的实施例的上述说明。减薄用清洗剂,助您实现精密加工,提升产品品质。合肥好用的减薄用清洗剂费用是多少
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本发明涉及玻璃减薄技术领域,具体涉及一种玻璃减薄设备。背景技术:随着便携式电子器件的发展,手机、平板等便携式电子器件越来越纤细化及薄型化,因此需要制造较薄的玻璃基板。为了制造较薄的玻璃基板,目前的采用的方法是浸泡式减薄法。用浸泡式减薄法减薄玻璃是将玻璃减薄液放入玻璃减薄设备的反应槽中,然后将玻璃放入玻璃减薄液中放置一定时间,使玻璃减薄液与玻璃反应,实现玻璃减薄。目前的浸泡式减薄法中,反应产物会悬浮于玻璃减薄液中,然后再粘附在玻璃上,造成不良品;并且,这种方法容易造成蚀刻不均,导致进行减薄后还需要进行抛光处理,提高了制备成本。鉴于上述缺陷,本发明创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本发明。技术实现要素:为解决上述技术缺陷,本发明采用的技术方案在于,提供一种玻璃减薄设备,包括蚀刻区,用于对竖直容纳在玻璃加工治具中的多个玻璃进行减薄处理;冲洗区,用于所述玻璃加工治具上的玻璃进行减薄前清洁和减薄后清洁;转换区,用于待减薄处理的所述玻璃加工治具加载到所述冲洗区中,并将减薄处理后的所述玻璃加工治具从所述冲洗区卸载到外部;制动组件。
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用于实现将所述玻璃加工治具从所述转换区经所述冲洗区向所述蚀刻区的减薄前移动,以及从所述蚀刻区经所述冲洗区向所述转换区的减薄后移动;所述冲洗区设置于所述转换区和所述蚀刻区之间。较佳的,所述蚀刻区包括腔室、主厚度测量仪、喷淋组件和控制器;所述主厚度测量仪、所述喷淋组件设置于所述腔室上,所述喷淋组件在所述腔室中对设置于所述玻璃加工治具上的玻璃施加减薄处理,所述主厚度测量仪实时测量在所述腔室内经历减薄处理的玻璃厚度;所述控制器与所述喷淋组件、所述主厚度测量仪、所述传输组件连接。较佳的,所述喷淋组件包括设置于所述腔室顶部的喷淋头、设置于所述腔室底部的收集槽、以及与所述喷淋头、所述收集槽均连通的外部喷淋液管路,通过所述喷淋头对所述玻璃加工治具上的玻璃喷淋喷淋液从而实现玻璃的减薄处理,所述收集槽收集减薄处理后的喷淋液并传输至所述喷淋液管路从所述腔室内排出。较佳的,所述主厚度测量仪包括用于发射激光束的发射器、用于接收被玻璃反射光束的接收器以及用于分析所述接收器中接收光束并且计算玻璃厚度的分析器。较佳的,所述主厚度测量仪还包括空气喷射器,用于将空气喷射到玻璃表面,将被检测部位暴露于所述发射器对应位置。苏州哪家公司的减薄用清洗剂的口碑比较好?扬州玻璃用减薄用清洗剂报价
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所述控制器进行第二次减薄厚度确认操作;具体的,通过设置于所述第三冲洗区2的第二辅助厚度测量仪进行厚度检测,从而实现所述减薄厚度确认操作,当所述减薄厚度未达到目标厚度时,所述玻璃加工治具4可再次进入所述蚀刻区3内进行减薄处理。所述主厚度测量仪32设置在其中对玻璃施加减薄处理的所述蚀刻区3中并且实时测量玻璃厚度,使得玻璃可更准确地具有目标厚度;所述辅助厚度测量仪设置在所述冲洗区2中,并且再次测量经历过减薄处理的玻璃的厚度,因此可以检查设置在所述蚀刻区3中的所述主厚度测量仪32是否无法正确工作,并且使减薄玻璃的缺陷率降至;且所述辅助厚度测量仪可提前测量待经历减薄处理的玻璃的厚度,因此可以检查设置在蚀刻区3中的主厚度测量仪32是否无法正确工作;所述第二辅助厚度测量仪设置在所述第三冲洗区2,从而在减薄后清洗终完成后,再次进行厚度检测,从而检测预从所述玻璃减薄生产线运出的玻璃是否符合标准,并进一步降低减薄玻璃的缺陷率。以上所述为本发明的较佳实施例,对本发明而言是说明性的,而非限制性的。本专业技术人员理解,在本发明权利要求所限定的精神和范围内可对其进行许多改变,修改,甚至等效,但都将落入本发明的保护范围内。合肥好用的减薄用清洗剂费用是多少
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