江苏氢氟酸工厂

时间:2023年09月27日 来源:

电子级氢氟酸的生产壁垒在于对金属离子含量的高标准。半导体中的金属离 子杂质会影响半导体中少子的寿命、表面的导电性、门氧化物的完整性和稳定性 等参数,且金属离子杂质在高温下或电场下会向半导体本体扩散或在表面扩大分 布,导致半导体性能下降,因此氢氟酸对其中的金属离子含量有比较严格的要求, 且适用的晶圆半径越大,制程越好,对金属离子含量的要求越高。半导体用的氢 氟酸所有单项金属杂质的质量分数≤0.1μg/L,对应 SEMI 为 G4 以上等级的氢氟 酸,对应国内行业标准则是 UP-SS 及以上等级的氢氟酸。对于现在国际上主流的 12 寸晶圆,其制造过程中需要金属离子含量低于 0.0001μg/L,对应 SEMI G5 或者 UP-SSS 标准。在氢氟酸储存和使用时,必须注意防止泄漏和溢出。江苏氢氟酸工厂

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由于氢氟酸溶解氧化物的能力,它在铝和铀的提纯中起着重要作用。氢氟酸也用来蚀刻玻璃,可以雕刻图案、标注刻度和文字。随着电子产品的发展,对产品的纯度也越来越高。一般称之为湿电子化学品。等级从EL级到UPSSS级不等。不同行业作用也有差异。随着大规模集成电路技术的发展,虽然图形加工的线宽越来越细,对转移图形的重视精度和尺寸的要求越来越高,形成精细图形的刻蚀多采用干法刻蚀,但 越来越复杂的器件结构和新材料的引入对独特刻蚀工艺的要求使其必须采用湿法刻蚀或干湿相结合的刻蚀。多栅结构的器件大都采用稀释氢氟酸刻蚀栅氧来尽可能减小对硅基片的损伤,提高器件的性能。江苏氢氟酸工厂氢氟酸可以引起眼睛、口腔、喉咙、肺部等伤害和损害。

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氢氟酸是氟化氢气体的水溶液,正规产品产品为无色清澈、发烟的腐蚀性液体,有强烈的刺激性气味,易溶于水,乙醇,微溶于乙迷。氢氟酸是一种弱酸,但是具有强烈的腐蚀性,能强烈的腐蚀金属、玻璃和含硅的物体,实验室一般用萤石和浓硫酸来制取,由于成本相对较高,工业上较少采用较少此方法。氢氟酸对人体的呼呼吸道、皮肤、眼睛等都能造成较大的腐蚀作用,在生产操作时要严格按照安全生产规章制度来操作,此产品市面上使用的浓度因行业不同跨度较大,我厂能提供20%~55%浓度范围的产品,满足各类行业的生产需求。氢氟酸运输时通常使用容积为1000L的塑料吨桶、25kg小桶或者槽罐车罐装运输,运输时做好安全检查。如果在使用过程中发生泄漏,可用砂石、土壤混合。也可以用水冲洗稀释。如果泄露的量很大也可以用围堤围起来,再转移到专业的容器内,发至危废处理厂。

操作注意事项:密闭操作,注意通风。操作尽可能机械化、自动化。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具(全面罩),穿橡胶耐酸碱服,戴橡胶耐酸碱手套。防止蒸气泄漏到工作场所空气中。避免与碱类、活性金属粉末、玻璃制品接触。搬运时要轻装轻卸,防止包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。储存注意事项:储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃,相对湿度不超过85%。保持容器密封。应与碱类、活性金属粉末、玻璃制品分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。监测方法:离子选择性电极法;氟试剂-镧盐比色法。氢氟酸不应该与硝酸、过氧化氢等化学物质混合。

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那高纯氟化氢有多纯呢?以前我们都听说过千足金的说法,也就是纯度为99.9%,含有0.1%的杂质,后来又有人提出万足金,就是99.99%,含有0.01%的杂质。而日本产的较高纯度的氢氟酸纯度为99.999%甚至更高,这个在目前较先进的芯片生产工艺中都可以放心使用。而中国目前能生产的较高纯度也比这个纯度低十倍左右,而这只是其中一个指标,此外还有控制粒径、颗粒个数等指标。如前所说,氟化氢的生产并不困难,只需要让萤石跟硫酸进行反应,就可以制得氟化氢。再用水溶解掉氟化氢,就变成了氢氟酸。这个生产过程技术含量并不高,工艺也不复杂。但生产出来的只是工业级的氢氟酸,要想应用到电子行业,必须做非常精密的提纯。难就难在了提纯上。使用氢氟酸时,必须遵循相应的安全操作程序。江苏氢氟酸工厂

在使用氢氟酸时,必须对周围环境进行检查和监控。江苏氢氟酸工厂

通过相关资料了解到,国内外相关产品各标准在相同项目的测定方法基本是一致的。如氢氟酸含量采用以酚酞为指示剂,以氢氧化钠标准滴定溶液为滴定剂的酸碱中和滴定法;氟硅酸含量的测定采用在钾盐存在下使其生成氟硅酸盐后分离,沉淀溶解后用氢氧化钠标准滴定溶液滴定。对于低含量的氟硅酸的测定,一般采用硅钼蓝分光光度法进行测定;硫酸含量的测定是将氢氟酸分离后,用氢氧化钠标准滴定溶液滴定。日本标准中规定的灼烧残渣含量的测定为700℃下灼烧后稳重的方法。相关资料了解,日本标准JIS K1405-1995《氢氟酸》相对于其它国外标准,技术要求、指标项目、试验方法等方面均处于先进水平。但由于日本标准主要是针对本国的生产、使用要求而制定的,与我国对氢氟酸的要求存在一定的差异。但对我国标准有借鉴作用。江苏氢氟酸工厂

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