无水氢氟酸工厂

我国标准中Ⅰ型产品氟硅酸含量（小于0.05%）的测定采用硅钼蓝分光光度法，Ⅱ型产品的氟硅酸含量的测定（含量大于2.5%）采用酸碱滴定法。而日本标准（包括无水氢氟酸）关于氟硅酸含量的测定规定了两种测定方法，日本标准中对于有水产品的高氟硅酸含量（含量小于0.05%）采用酸碱滴定法，对于无水产品的氟硅酸含量（小于0.01%）采用硅钼蓝分光光度法。各国标准基本也是采用加热的方法，将氟化氢蒸发至尽，剩余的不挥发酸（硫酸）用酸碱滴定法以酚酞为指标剂滴定至粉红色。日本标准和我国标准均采用酸碱滴定法，俄罗斯标准中除了酸碱滴定法外还同时规定目视比浊法测定硫酸含量。为保证测定结果的精确度，本标准中不挥发酸含量的测定采用酸碱滴定法，对于含量较低的产品（Ⅰ型产品）采用加大称样量办法提高滴定的准确度。使用氢氟酸必须参照化学安全规范和操作规程。无水氢氟酸工厂

电子级氢氟酸的生产壁垒在于对金属离子含量的高标准。半导体中的金属离 子杂质会影响半导体中少子的寿命、表面的导电性、门氧化物的完整性和稳定性 等参数，且金属离子杂质在高温下或电场下会向半导体本体扩散或在表面扩大分 布，导致半导体性能下降，因此氢氟酸对其中的金属离子含量有比较严格的要求， 且适用的晶圆半径越大，制程越好，对金属离子含量的要求越高。半导体用的氢 氟酸所有单项金属杂质的质量分数≤0.1μg/L，对应 SEMI 为 G4 以上等级的氢氟 酸，对应国内行业标准则是 UP-SS 及以上等级的氢氟酸。对于现在国际上主流的 12 寸晶圆，其制造过程中需要金属离子含量低于 0.0001μg/L，对应 SEMI G5 或者 UP-SSS 标准。无水氢氟酸工厂使用氢氟酸处理的物品应当存放在液体密封容器中。

泄漏应急处理：泄漏：迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防酸碱工作服。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源，防止进入下水道、排洪沟等限制性空间。小量泄露：用砂土、干燥石灰或苏打灰混合。也可用大量水冲洗，洗水稀释后放入废水系统。大量泄露：构筑围堤或挖坑收容；用泵转移至槽车或专业收集器内，回收或运至废物处理场所处置。灭火方法：燃烧性：不燃。灭火剂：雾状水、泡沫。灭火注意事项：消防人员必须佩戴氧气呼吸器、穿全身防护服。食入：1、若患者即将丧失意识、已经失去意识或痉挛，勿经口喂食任何东西。2、用冷水彻底漱口。3、切勿催吐。4、让患者喝下240-300mL的10%葡萄糖酸钙溶液，以稀释胃中的物质。5、若患者自发性呕吐，让患者身体向前以避免吸入呕吐物。6、 反复给患者喝水。7、送医。

中国化工行业有40多家氢氟酸生产企业、万吨无水氟化氢装置（AHF）总产能的50%以上。主要在拥有或靠近萤石资源的经济发达地区，如浙江、福建、江苏、山东等省区。建设项目和确定上马的项目主要在浙江、江西、福建、内蒙古、四川等。随着技术的逐渐成熟，生产规模的不断扩大，HF生产将不断扩大萤石资源的生产。目前，我国生产的氟化氢仍以一般工业产品为主，优越产品需要进口。我国氢氟酸出口量逐年增加，特别是2002年，增速更大，与2000年相比，增长了335.13%。预计未来，随着萤石资源管控力度的加强，我国氢氟酸的国际市场需求量将继续增加。虽然新建或扩建的AHF生产厂房仍有一些企业，但要充分满足国际国内市场的需求，还需要一段时间。氢氟酸不可以与那些有毒气体混合。

操作注意事项：密闭操作，注意通风。操作尽可能机械化、自动化。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。防止蒸气泄漏到工作场所空气中。避免与碱类、活性金属粉末、玻璃制品接触。搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃，相对湿度不超过85%。保持容器密封。应与碱类、活性金属粉末、玻璃制品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。监测方法：离子选择性电极法；氟试剂－镧盐比色法。氢氟酸是一种极其具有危险性的化学物质。无水氢氟酸工厂

氢氟酸的储存期限必须严格遵守。无水氢氟酸工厂

由于氟化氢的腐蚀性，对厂房装修也提出了很高的要求，要使用完整的几乎没有拼接的装修材料，表面光滑整洁，边角要易于清洁。所有的装修材料包括工作台、隔层、器皿等都要使用防静电的材质。因为静电吸附灰尘，会给生产带来干扰。目前国内生产的高纯氟化氢，往往会出钱颗粒不达标的情况，正是生产车间建设不达标带来的问题。穿着乞丐服生产优越美食，其结果可想而知。然后再说设备问题。其实设备的设计不存在太大的困难，难就难在设备的制作材料和生产工艺。由于氟化氢和氢氟酸的腐蚀性，一般的金属设备是不能用来生产高纯氟化氢的。要么使用铂、金等贵金属材质，要么使用增加防腐蚀内衬的不锈钢设备。内衬材料往往是氟塑料，如聚四氟乙烯、PFA等塑料材质。无水氢氟酸工厂