氧气气体管道设计解决方案

日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次：1.超高纯气体，气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。2.高纯气体，气体中杂质总含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内。3.洁净气体，气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定，都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。氧气气体管道设计解决方案

外购气体供气，由集中制气工厂制取的液态气体由低温液态气体贮罐槽车运送至用气工厂，再使用工厂设置低温液态气体贮罐，将液态气体槽车中的液态气体抽送入液态气体贮罐贮存，根据工厂用气量，液态气体由贮罐送出经汽化器化为气体后，经由调压器组调压并经气体过滤器送去使用车间，若气体纯度或杂质含量不能满足使用要求，则需要再在车间内设置末端提纯装置，对气体进行提纯并去除杂质，同时为满足不同需求，还应在工厂使用车间末端或在车间内集中设置不同过滤精度的气体过滤器，示意图如下：浙江铝合金气体管道设计注意事项气体管道设计有很多方面，都有不同的要求，气体管道敷设，气体管道、阀门和附件，气体管道连接及安全要求。

负压吸引系统：1负压吸引系统由中心吸引站、吸引管道、负压吸引终端等组成。吸引系统的负压源是中心吸引站的真空泵机组，通过真空泵机组的抽吸使吸引系统管路达到所需负压值，在手术室、抢救室、医治室和各个病房的终端处产生吸力，提供医疗使用。2中心吸引站，中心吸引站有真空泵、细菌过滤器、控制柜、污物接收器、真空缓冲罐（负压罐）组成。真空泵必须有备用，并能自动切换。一般医用真空泵有往复式真空泵、液环（水环）式真空泵、油润滑滑片式真空泵。往复式真空泵：价廉、耐用，但占地大、噪声大、需用冷却水，排气管必须装消声器；液环式真空泵：体积小、噪声小，但需用补充循环水。

进行检测和调试。在气体管道施工完成后，需要进行管道的检测和调试工作。首先，进行的气体泄漏检测，确保管道的密封性。其次，进行的气体流量的测试，确保气体输送的稳定性和准确性。通过检测和调试，可以发现并解决潜在的问题，确保管道的正常运行。然后，进行验收和维护。当实验室气体管道设计与施工完成后，需要进行验收工作。验收包括对管道的安全性、可靠性以及使用效果的检查。只有通过验收，实验室能够正式投入使用。同时，为了保证管道的正常运行和使用寿命，还需要进行定期的维护和保养工作，包括清洗、润滑等。实验室气体管道可靠性，管道连接应采用牢固的固定方式，避免因振动或使用不当导致的泄漏。

气路的布线：1. 应尽量减少弯曲以防止被传输的气体压力、流量损失过大。压力管道拐弯应力集中区应有安全加固，设计合适的拐弯半径，弯曲部位不能有皱折及扭曲。弯曲半径和弯曲质量由专门使用工具保证。系统布线应尽量减少接缝以降低泄漏的可能性。2. 配管时的每根管道每个管件均要用高压的5N高纯氮气进行吹扫才能接入系统，整个系统安装完毕后还要用5N的高纯氮进行大流量气体吹扫，以确保系统的洁净度即流出的气体无油脂及明显的固体颗粒物流出。3. 系统安装完毕后要用高纯氮气进行高压部分、低压部分气密性实验，对整个系统进行检测。氢气管道与其它可燃气体管道交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。氧气气体管道设计解决方案

气体管道与设备的连接段宜采用金属管道。氧气气体管道设计解决方案

气体管道设计规范 ：1、本章规定适用于压力不大于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、煤气、压缩空气和真空等实验室内气体管道设计。2、气体管道设计除应按现行的《城镇燃气设计规范》、《工业企业煤气安全规程》、《氧气站设计规范》、《氢气使用安全技术规程》等的规定执行外，尚应符合本规范的规定。3、氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气次数为每小时1～3次的通风措施。4、按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。氧气气体管道设计解决方案

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