杭州洁净室气体管道设计施工规范

实验室气体管道系统采用汇流排集中供气设备，进行双瓶(多瓶)带手动、半自动、全自动切换功能，带有低压报警装置，实时监控气体压力，浓度监测报警和排风，保证客户正常用气需求和生命财产安全。而且通过供气控制系统，可充分使用气瓶中的气体，减少残气余量，降低用气成本。此外，我们应用技术根据实验室环境，配合施工方协作设计方案。管路管线交错供气错综复杂，为避免错漏，公司设计人员将每一路气体的交叉点、控制阀都在图纸上注明，通过实地勘察，进行全方面、系统地调查分析，为气路设计提供细致、可靠数据。同时在气站建设方面，使用气瓶间管理方式，提高气站使用的安全性，气源控制采用不锈钢控制面板，输送过程管路连接采用不锈钢系列阀门、接头等产品。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。杭州洁净室气体管道设计施工规范

设计气体管道时，有一些非常关键的注意事项需要考虑，以下是一些重要的指导原则。首先，规划气体管道的都应该理解管道所承受的压力的大小和所用的材料的强度。管道应有足够的强度来承受压力，以保证在输送气体期间不会发生任何事故。此外，此时应该考虑到管道的耐气候性以及使用寿命等问题，保证管道的正确运用。其次，在设计实验室气体管道时，必须考虑安全问题。对于有毒、易燃或其他危险气体使用的管道，管道的设计必须考虑到几个方面。如外部环境条件对管道安全的影响，如防护要求，必要时要加强管道的加固和绝缘，避免管道损坏，提高管道的防护能力等方面。浙江工业气体管道设计规范高纯气体管道应采用承插焊接。

气体管道设计规范：1、按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。2、穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。3、氢气、氧气管道的末端和较高点宜设放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样口和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。4、氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。

高纯气体管路设计要点：01输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。02采样仪器及“采样口”，为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。03确保气体纯度，在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。

高纯气体中间供气系统是专为高精度分析测试设备所用高纯工作气体的传输而设计，系统需要为分析设备提供压力、流量稳定且经过长距离传输后纯度不变的高纯气体以满足各种高精度分析设备的使用要求。系统同时还应该满足安全性的要求，并方便客户的日常使用及管理。1.气瓶间内存放的气瓶采用带防倒链的气瓶支架固定，气瓶支架坚固耐用、美观大方。气瓶支架采用铝合金制作而成。2.气瓶间内的气体钢瓶与压力调节器之间采用SS316L高压金属软管连接无渗透。高压软管为柔性软管，以保证连接的方便性。并自导防护钢缆，预防极端情况下，钢瓶阀损坏等现象带来的高压“抽鞭”事故。压力调节器与管道的连接方式为双环卡套。3.高压软管上的钢瓶接头必需与钢瓶角阀的规格相匹配，以确保连接的可靠性。所有面板均配备吹扫阀，可实现对面板的清洗置换。江苏氩气气体管道设计服务商

减少管路“死区”，管路中不应设有盲管，减少不流动气体的“死区”。杭州洁净室气体管道设计施工规范

负压吸引系统技术要求，吸引系统负压在大气环境下不高于0.02MPa（150mmHg），不低于0.07MPa（525mmHg），并能在该范围内任意调节。医院各病区及各手术室应装有精度不低于1.5级的真空表。传染病房与一般病房若共用一套吸引系统时，则传染病房系统应设置真空罐及过滤器与之隔离。中心吸引站应有报警装置，当负压值高于0.019MPa（140mmHg）或低于0.073 MPa（550mmHg）时，在55db(A)噪音环境下，在1.5m范围内应听到声报警和看到红色的光报警。吸引系统排气口所排出的空气，每立方米细菌数目不得超过500个。中心吸引站室内噪音不超过80db(A)，室外不超过60 db(A)。吸引系统应有可靠的接地装置，接地电阻应小于10Ω。杭州洁净室气体管道设计施工规范