江苏专业特气管道安装设计

半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。特气管道工程施工注意事项：不选择半路进入行业，没有过多的经验的公司。江苏专业特气管道安装设计

特种气体管道的施工，特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。然后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工组织编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收。主要的施工机具，特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机（GF锯）、管子割刀、平口机、弯管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置电源稳压器、防止施工现场电流波动对焊接质量造成影响、台虎钳、配电箱、拖线盘、台钻、电钻、冲击钻、切割机、电焊机、手工氩弧焊机、其他辅助工具。南京特气管道安装流程焊接完成后，钢丝刷刷去焊接区外表面的氧化膜。

辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为：特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。

特种气体管道安装施工方案，特种气体管道安装施工方案需要考虑以下几个方面：1. 材料选择：特种气体管道需要选用适合的材料，如不锈钢、玻璃钢等，以确保管道的密封性和耐腐蚀性。2. 设计方案：根据现场情况和气体特性，设计合理的管道布局和安装方案，确保管道的安全和稳定运行。3. 施工准备：准备好必要的工具和设备，如切割机、焊接机等，确保施工现场的安全和清洁。4. 管道安装：按照设计方案进行管道的切割、焊接、连接等操作，确保管道的密封性和牢固性。选择特气管道工程安装公司的标准：十几年行业经验，技术的积累。

特气管道工程安装要求：1、特气管道工程要选择一家经验丰富的供气气体系统公司，2、施工和验收要参照规范。特气管道工程施工注意事项：1、不选择半路进入行业，没有过多的经验的公司，2、不使用的材料不合格，工艺落后，施工和验收不按规定标准，3、避免气体管道工程系统设计不到位，4、避免出现管道经常出现问题，影响研究和工作进度。5、注意特殊气体泄漏会引起中毒或爆裂的危险。特种气体管道的施工及相关流程介绍，特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。然后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。准备好必要的工具和设备，如切割机、焊接机等，确保施工现场的安全和清洁。铝合金特气管道安装工程

自动焊接施工 半成品和成品的保护措施应及时有效，加工完成或焊接完成后及时将管子两端密封。江苏专业特气管道安装设计

辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为，特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。江苏专业特气管道安装设计