浙江洁净室气体管道设计价位

气体管道、阀门和附件要求：1、气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。2、气体管道与设备的连接段宜采用金属管道。如为非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯乙烯管，不得采用乳胶管。3、阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。氢气和氧气管道所用的附件和仪表必须是该介质的专门使用产品，不得代用。4、阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材料。填料应采用经除油处理的石墨石棉或聚四氟乙烯。5、气体管道中的法兰垫片其材质应依管内输送的介质确定。对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。浙江洁净室气体管道设计价位

对于低蒸汽压气体(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。江苏药厂气体管道设计市价气体管道宜采用无缝钢管。

实验室气体管道安全性，气体管道应使用耐腐蚀、耐压、无泄漏的材质。设计中应考虑防火、防爆措施，尤其是对于易燃、易爆气体。应有可靠的泄漏检测系统和应急预案，确保在气体泄漏时能够迅速采取措施。所有管道应清晰标识，包括气体名称、流向标记和安全警示。实验室气体管道功能性要求，管道设计应满足气体使用的流量和压力要求，保证实验过程中供气的稳定性。对于特殊气体，如高纯气体，管道内部应保持高度清洁，防止污染。应有适当的过滤和净化系统，以除去气体中的杂质和水分。

吸送式，通常以20～40 m/s的高速气流在管路系统内悬浮输送物料，较高真空度可达60 kPa。该系统在许多行业中采用，如图2.1.0所示，物料的输送过程是在风机的一侧完成的，该系统具有以下特点。1—回转式供料器；2—料仓；3—输料管；4－次旋风分拽器；5－排料器；6一料罐；7一二次旋风分离器；8一罗茨鼓风机。1 保证物料和灰尘不会飞逸外扬。2 适宜于物料从几处向一处集中输送。3 适用于堆积面广或存放在深处的物料输送。4 进料方式比压送系统中的供料器简单。5 对卸料口、除尘器的严密性要求高，致使这两种设备构造较复杂。6 输送量、输送距离受到限制，且动力消耗较高。应尽量减少弯曲以防止被传输的气体压力、流量损失过大。

气体管道设计规范：1.阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材料。填料应采用经除油处理的石墨石棉或聚四氟乙烯。2.气体管道的连接应采用焊接或法兰连接等形式，氢气管道不得用螺纹连接，高纯气体管道应采用承插焊接。3.气体管道与设备、阀门及其他附件的连接应采用法兰或螺纹连接，螺纹接头的丝扣填料应采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化铅、甘油调和填料。4.气体管道设计的安全技术应符合每台（组）用氢设备的支管和氢气放空管上应设置阻火器的规定。实验室气体管道功能性要求，管道设计应满足气体使用的流量和压力要求，保证实验过程中供气的稳定性。浙江氦气气体管道设计公司

采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。浙江洁净室气体管道设计价位

高纯气体管路设计要点：01输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。02采样仪器及“采样口”，为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。03确保气体纯度，在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。浙江洁净室气体管道设计价位