辽宁线光谱共焦传感器应用案例

什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度，通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰，开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统，干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。

光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。 马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，有需求可以来电咨询！辽宁线光谱共焦传感器应用案例

光谱共焦传感器可以测量几乎任何类型的材料（玻璃，陶瓷，塑料，半导体，金属，织物，纸张，皮革等）制成的样品。它们可以测量抛光表面（镜子，镜片，晶圆）以及粗糙表面。

光斑尺寸、比较大采样斜率、工作距离和测量范围，分别是什么概念

比较大采样斜率（M，简称MSS），是光轴和样品表面法线之间的比较大角度，在此角度条件下测量依然可行。MSS是测量点处的实际局部斜率，而非理论上“平均曲面”的斜率。此功能*对镜面(镜面状)表面有重要意义；对散射表面，比较大采样斜率更高。对于所有类型的采样，采集信号的强度都随着倾斜角度的增加而减小。光斑尺寸(Spotsize)，指光点的理论尺寸，即光斑的大小。工作距离(WorkingDistance)，光学笔前端到量程近端的距离。测量范围(MeasuringRange，简称MR)，0到比较大可量测值的区间范围。又叫测量行程。 福建线光谱共焦传感器技术粗糙度测量符合ISO标准25178-602传感器适用任何反射表面；通过塑料或玻璃等透明层。

速度传感器:是一种将非电量(如速度、压力)的变化转变为电量变化的传感器,适应于速度监测。3.加速度传感器:是一种能够测量加速力的电子设备,可应用在控制、手柄振动和摇晃、仪器仪表、汽车制动启动检测、地震检测、报警系统、玩具、结构物、环境监视、工程测振、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析,以及鼠标,高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上

液位传感器:利用流体静力学原理测量液位,是压力传感器的一项重要应用,适用于石油化工、冶金、电力、制药、供排水、环保等系统和行业的各种介质的液位测量

半导体行业

材料强国是科技强国的基础，第三代半导体材料扮演着愈发关键的角色，也正日益成为国际、国内科技和产业竞争的**领域之一。我国精密加工技术和配套能力进步迅速，已经具备开发并且逐步主导第三代半导体装备的能力。全国多地积极响应，促进地方产业转型升级。

该微电子产业发展政策，针对第三代半导体企业购买IP、参与研发多项目晶圆等做出了详细的扶持说明。深圳正实施新一轮创新发展战略布局，机器人、无人驾驶、等新兴产业日新月异，坪山区将依托5G试点，建设第三代半导体产业集聚区。 马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，有想法的可以来电咨询！

光谱共焦线传感器由180个点组成，可以测量距离 厚度 粗糙度 形状 高分辨率 各种材料适用于各种行业。

适用于各种材料金属(抛光或粗糙),玻璃,陶瓷,塑料,碳,硅…同轴性无阴影影响精度&分辨率亚微米级精度，Z轴纳米级分辨率被动式(低温、易爆环境)测量区域外的热源和电源大角度镜面可达45°速度比点传感器快180倍

光谱共焦视觉检测相机，AOI彩色共焦线相机检测系统：自动光学检测，可以测量尺寸 高分辨率 各种材料适用于各种行业。

工业 4.0

100%在线自动测量与质量控制柔性系统，高速可达12m/s3D形状/轮廓测量多达6轴汽车挡风玻璃HUD多点厚度测量*需4秒

高分辨率的直角坐标机械手：±0.05mm3到5轴3D形状和/或多点厚度测量：±0.05mm重复性适用任何反射表面

3D系统致力于粗糙度，3D形貌测量3个高分辨率电动轴(X；Y；Z)：±0.001mm3大尺寸选择：100x100mm2；200x200mm2；300x300m2…可与STIL传感器配套使用，并集成了点、线、相机的3D软件系统

亚微米级轴向分辨率薄涂层和空气间隙测量：小于1微米 马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，期待为您！福建线光谱共焦传感器技术

用点光谱或线光谱传感器测量晶圆上的翘曲/平面度 凸块测量CLMG/EVERESTK1/K2传感器系列可达360,000测点/秒。辽宁线光谱共焦传感器应用案例

闪测仪测量更准确采用双倍率双侧远心光学镜头，具有较高的远心度，即使有段差情况下也能高精度正确的测量。倍率涵盖0.16X大视野/0.7X高精度。一键测量闪测仪是一种新型的影像测量技术，它和传统的二次元影像测量仪不同的是它不再需要光栅尺位移传感器作为精度标，也不要经过大焦距的镜头经过放大产品影像来保障测量精度。

多年来精密测量业里流行着这么一句话：影像测量仪是传统投影仪的替代产品，影像测量仪将取代传统投影仪。如今我们将再一次打破传统，闪测仪将取代影像测量仪和传统投影仪 辽宁线光谱共焦传感器应用案例

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