浙江非接触式传感器技术

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，有需求可以来电咨询！浙江非接触式传感器技术

光谱共焦位移传感器￭外形尺寸测量￭空气夹层测量￭厚度(透明物体)测量￭段差高度(非透明物体)测量￭外形轮廓测量￭表面型貌测量￭表面粗糙度测量￭表面微小划痕测量￭三维测量￭平面度测量优势•￭高分辨率，比较高可达纳米级•￭高精度，比较高可达16纳米•￭同轴光测量，相比较三角反射测量，无测量盲区•￭可以测量几乎所有材料的表面，不论是漫反射表面，或者是高光亮面，或者是透明物体表面•￭物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响，可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体•￭可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度安徽3D 视觉测量传感器解决方案光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，用户的信赖之选，有需要可以联系我司哦！

STIL光学传感器为全球各个行业提供更好的质量控制,我们的产品系列适合于各种应用，为更高的质量标准提供可靠的控制和检测。1995年推出点光谱共焦传感器，2005年创新推出线光谱共焦传感器，2015出现线光谱共焦相机，通过持续创新，2025年将推出适用于工业4.0智能解决方案。在严苛的工业环境下客户要求速度、精度、质量和安全满足的同时，也要求减少对环境的影响和降低成本，这正是STIL传感器产品系列具有的优势。适用于任何材料同轴共焦原理兼容任何折射，同轴共焦原理，易于工业集成，大角度测量，符合ISO25178-602标准。光谱共焦的特点：1.共焦对环境光不敏感可过滤杂波；2.彩色光谱在测量范围内形成彩色光谱，各种景深3.光谱仪通过嵌入式光谱仪对反射或漫反射进行光谱分析，快速并精确4.同轴同轴光学设计，无阴影影响。可靠、精确、超高分辨率的尺寸测量；高速在线解决方案；适用各种材料和环境；优于传统测量方案的其他特性，如：大角度测量，亚微米级精度，测量多层厚度。

其工作时，先由激光二极管对准目标发射激光脉冲，经目标反射后激光向各方向散射，部分散射光返回到传感器接收器。3.红外测距传感器利用红外信号遇到障碍物距离的不同反射的强度也不同的原理，进行障碍物远近的检测4.毫米波雷达通过发射与接收微波来感应物体的存在、运动速度、静止距离、物体所处角度等。采用平面微带天线技术，具有高集成化的特点。关于激光雷达的相关问题，推荐咨询北醒光子科技有限公司。北醒现已实现量产，年产能达到60万台，合作伙伴覆盖全球超过64个国家和地区，为智慧轨道交通、智慧民航、智慧航运、车路协同及自动驾驶、无人机、机器人、物位检测、安防、IOT等行业实现技术升级。膜厚其他半导体用于膜厚的在线测量和质量控，非接触测量，适用于易变形和不透明的材料较小厚度测量5µm。

Irix™彩色共焦技术™适用于多种应用领域：汽车玻璃玻璃容器与包装工业电子工业（PCB）半导体工业（硅片）用于测量卷对卷、透明和非透明薄膜（例如EV电池盖）的应用3C行业电动汽车工业（电池）机器人学微观力学医学航空手表用于轮廓测量的倾斜角度高达±45°的光学元件用于缩小尺寸设备的缩小直径为4毫米、6毫米和8毫米的光学元件7“集成显示器，具有易于使用的实验室用图形界面2个同步通道，用于卷对卷应用中的非透明目标厚度测量同步测量与编码器精确轮廓重建。3个编码器输入（TTL和HTL型号）2个模拟输出（0÷10V）多达32个校准图以CSV格式保存数据马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司。stil传感器价格

用点光谱或线光谱传感器测量晶圆上的翘曲/平面度 凸块测量CLMG/EVERESTK1/K2传感器系列可达360,000测点/秒。浙江非接触式传感器技术

光谱共焦位移传感器原理介绍一束白光点光源，通过色散透镜发生光谱色散，形成不同波长的单色光，每个波长的都有一个完美聚焦点且对应一个相对高度距离值（测量范围）。测量时所有波段的光射到物体表面被原路反射到半透半反射镜并重新聚焦，只有在被测物体上完美聚焦S‘点的波段的光才会通过共焦点小孔S“并被光谱仪感测到，其他波长的光被挡在小孔之外，通过计算进入小孔的光谱波长换算出相对距离。面白光干涉传感器白光干涉测量**于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸，其测量精度可以达到纳米级！目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度比较高的测量仪器之一浙江非接触式传感器技术

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