江西自动化超快激光玻璃晶圆切割设备

时间:2023年06月04日 来源:

激光划片在晶圆加工方面具备以下优势:1.激光划片采用的高光束质量的光纤激光器,对芯片的电性影响较小,可以提供更高的划片成品率。2.激光划片速度为150mm/s。划片速度较**.激光可以切割厚度较薄的晶圆,可以胜任不同厚度的晶圆划片。可以切割一些较复杂的晶圆芯片,如六边形管芯等。4.激光划片不用去离子水,可24小时连续作业5.激光划片具有更好的兼容性和通用性。超通智能在激光晶圆处理上就具备丰富的经验,如刀轮切割设备,外观尺寸小型化,占地面积小,切割行程**功率主轴,高速高精度电机,闭环运动控制,确保生产效率。无锡超快激光玻璃晶圆切割设备的详细介绍。江西自动化超快激光玻璃晶圆切割设备

晶圆是半导体产品与芯片的基础材料,晶圆生长后需要经过机械抛光,后期尤为重要的是晶圆切割加工,也叫晶圆划片。早期短脉冲DPSS激光器切割晶圆技术已经在欧洲、美国发展成熟。随着超快激光器的快速发展和功率提升,超快激光切割晶圆未来将会逐渐成为主流,特别在晶圆切割、微钻孔、封测等工序上,设备需求潜力较大。目前国内已经有精密激光设备厂家能够提供晶圆开槽设备,可应用于28nm制程以下12寸晶圆的表面开槽,以及激光晶圆隐切设备应用于MEMS传感器芯片,存储芯片等**芯片制造领域。江西自动化超快激光玻璃晶圆切割设备欢迎致电无锡超通智能咨询超快激光玻璃晶圆切割设备。

超通智能研发了一款超快激光玻璃晶圆切割设备,与传统的切割设备相比,新型半导体激光隐形晶圆切割机的性能优势明显。首先,激光晶圆切割机采用特殊材料、结构设计和运动平台,可在加工平台高速运转时保持稳定性和精细性,转速和效率较高。其次,激光晶圆切割机采用了合适的波长、总功率、脉宽以及重频的激光器,克服了激光划片产生的熔渣污染,显著提高了切割质量。同时,设备还采用了不同像素尺寸与感光芯片的相机和镜头,可实现产品轮廓识别倍数的水平调整。

硅晶圆是一种极薄的片状硅,它是由高纯度、几乎无缺陷的单晶硅棒经过切片制成。硅晶圆是制造集成电路的载板,在上面布满晶粒,将晶粒切开后得到芯片,将芯片经过封装测试,制成集成电路。其中,将晶粒切开得到单一芯片的过程,称为晶圆切割。晶圆切割是半导体芯片制造工艺流程中不可或缺的关键工序之一,在晶圆制造中属于后道工序。为了实现硅晶圆的比较大利用率,其表面布满了高密度集成电路,对硅晶圆进行切割时,尤其需要考虑切口的宽度和质量,以充分保护硅板上的电路,同时兼顾加工效率。传统切割方式主要是采用金刚石锯片划片切割,存在效率低,崩边大,边缘破碎物多、不平整等问题,而且机械应力的存在容易对晶体的内部和外部产生损伤,良品率低,影响加工效率。同时,还需要根据晶圆的厚度不同选择不同的刀具,增加成本支出,因此传统的切割方式已经不能满足当前的加工需求。无锡超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备的优势。

晶圆精密划片切割中,总会遇到各种情况,而**常见的就是工件的崩边问题,崩边包括:正崩,背崩,掉角及裂痕等。而有很多种不同因素都会导致崩边的产生,比如工件表面情况、粘膜情况、冷却水、刀片等。如何提高切割品质,尽可能减少崩边产生对划片机来说是至关重要的,超通智能针对这一行业状况,也一直在不断的摸索各种激光切割工艺,以提高切割品质并为客户提供质量服务为己任。超通智能通过不断开拓创新,提高划片机切割不同材质的效率。晶圆精密划片切割已有比较完善的解决方案。超快激光玻璃晶圆切割设备有什么特点?无锡超通智能告诉您。江西自动化超快激光玻璃晶圆切割设备

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