真空闸阀手动阀
插板阀应用范围广泛,主要包括以下领域:1.化工行业:用于管道、容器等设备的介质控制,如石油、天然气、化工产品等。2.矿山行业:用于矿井通风、排水系统中的介质调节和控制。3.食品行业:用于食品生产、加工过程中的介质控制,保证食品安全。4.冶金行业:用于高温、高压、腐蚀性介质的控制。5.纺织行业:用于织物生产过程中的介质调节和控制。6.造纸行业:用于造纸过程中介质的调节和控制。7.水处理行业:用于污水处理、供水系统中的介质调节和控制。8.热力行业:用于火力发电厂、供热系统中介质的调节和控制。9.建筑行业:用于建筑给排水、供暖、空调系统中的介质调节和控制。10.其他行业:如环保、交通、能源等领域。非金属材料高压闸阀有陶瓷阀门、玻璃阀门、塑料阀门。真空闸阀手动阀
闸阀
闸阀(gate valve)是一个启闭件闸板,闸板的运动方向与流体方向相垂直,闸阀只能作全开和全关,不能作调节和节流。闸阀通过阀座和闸板接触进行密封,通常密封面会堆焊金属材料以增加耐磨性,如堆焊1Cr13、STL6、不锈钢等。闸板有刚性闸板和弹性闸板,根据闸板的不同,闸阀分为刚性闸阀和弹性闸阀。闸阀关闭时,密封面可以只依靠介质压力来密封,即只依靠介质压力将闸板的密封面压向另一侧的阀座来保证密封面的密封,这就是自密封。大部分闸阀是采用强制密封的,即阀门关闭时,要依靠外力强行将闸板压向阀座, 以保证密封面的密封性。多位闸阀角控制阀精确控制腔内压力的阀门分为三类:控制系统闸阀、蝶阀、多定位闸阀。
真空闸阀的维护保养为了确保真空闸阀的正常运行和延长使用寿命,需要进行定期的维护保养。以下是一些常见的维护保养措施:1.定期检查阀门的密封性能,确保阀瓣和阀座之间的密封良好,防止气体泄漏。2.定期对阀门进行清洗,去除阀门内部的杂质和污垢,保持阀门的通畅。3.检查阀门的驱动装置,确保其工作正常。对于电动或气动执行机构,应定期检查电源或气源供应情况,确保执行机构的稳定运行。4.对于长期未使用的阀门,应定期进行启闭操作,以防止阀门因长期静止而出现故障。5.在使用过程中,应避免对阀门施加过大的力矩或冲击力,以免损坏阀门或影响其密封性能。
微泰半导体闸阀的特点:插板阀主滑阀的球机构方式-在量产工艺设备上的性能验证-由半永久性钢球陶瓷和板簧组成,陶瓷和金属触摸驱动无颗粒-已向中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备,设备厂批量供货,已得到品质认可,已完成对半导体Utility设备和批量生产设备的验证,而其他厂家闸阀金属和金属触摸驱动产生大量颗粒。使用钢陶瓷球,与金属摩擦时不会损坏,金属与陶瓷球之间不会产生Particle,半永久板簧(SUS钢板)的应用确保阀门驱动同步性,采用了固定球导向器和钢陶瓷。微泰半导体闸阀应用于• Evaporation(蒸发)• Sputtering(溅射)• Diamond growth by MW-PACVD(通过MW-PACVD生长金刚石)• PECV• PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)• Coating(涂层)• Etch(蚀刻)• Diffusion(扩散)•CVD(化学气相沉积)等设备上。可替代HVA闸阀、VAT闸阀。上海安宇泰环保科技有限公司。闸阀通过阀座和闸板接触进行密封,通常密封面会堆焊金属材料以增加耐磨性。
平板闸阀的选用原则1.石油、天然气的输送管线,选用单闸板和双闸板的平板闸阀。如需清扫管线的,选用单闸板和双闸板带导流孔的明杆平板闸阀。2.成品油的输送管线和贮存设备,选用无导流孔的单闸板或双闸板的平板闸阀。3.石油、天然气的开采井口装置,选用暗杆浮动阀座带导流孔的单闸板或双闸板的平板闸阀。4.带有悬浮颗粒介质的管道,选用刀形平板闸阀。5.城市煤气输送管线,选用单闸板或双闸板软密封明杆平板闸阀。6.城市自来水工程,选用单闸板或双闸板无导流孔明杆平板闸阀。需要指出的是:所有的闸阀均不允许用于作调节介质流量用,因此,在开启时必须将闸板全部提升到通道上方。关闭真空阀涉及将闸门移动穿过流路以形成密封。真空闸阀手动阀
微泰控制系统阀门是安装在半导体CVD设备中的主要阀门。控制系统阀门起到调节腔内压力的作用。真空闸阀手动阀
微泰转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它充当将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽。此外,它极大限度地减少了由于闸板打开和关闭造成的真空压力变化,使腔室内的真空压力得以维持。负责门控半导体晶圆转移的转移阀分为两种类型:I型和L型。一、I型转移阀。I型转移阀产品由铝或不锈钢制成,用于传输晶圆小于450毫米的半导体系统和隔离工艺室。本型的特点是叶片在垂直方向上快速移动,确保完美的腔室压力维持。它采用具有LM导向系统和单连杆的内部机构,保证高耐用性和长寿命。二、L型转移阀。L型转移阀产品由铝或不锈钢制造,其特点是设计紧凑,易于维护。L型转移阀的特点是闸门在两个阶段从垂直到水平方向移动,确保完美的腔室压力维护。它的内部机构,包括一个LM导向系统和滞留弹簧和楔形营地结构,保证了高耐用性和长寿命,同时提供稳定和精确的运动。I型和L型转移阀在在闸门开启和关闭过程中极大限度地减少了振动,并且对温度变化非常稳定,确保了较长的使用寿命。此外,即使长时间使用栅极,它们产生的颗粒也很少,从而避免了晶圆缺陷或主器件的污染。微泰不断创新,在开发先进的压力控制和控制阀制造专业从事真空闸阀不懈努力。真空闸阀手动阀
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