北京高温无氧烘箱固化半导体晶圆
烘箱注意事项与保养
1、使用前注意电压是否正确,请使用机台上所标示之电压,避免电过量,而火灾发生。
2、马达运行方向是否正常,若出风口有气体排出则为正常。(只适用于三相电压380V的机型)
3、当显示温度与实际温度(由标准温度计测出)差异甚大时,不可随意调整线路板之零件或内部参数,应通知本公司派工作人员前往处理。
4、使用过程中温度变化时,请匆随意打开机门。
5、恒温时,当显示温度与设定温度有过冲或偏低现象,需进行自动演算,详见操作说明。
6、请匆将机台放置于潮湿之场所或直接用水冲洗,以防漏电。
7、禁止放置酒精、粘结剂等,具有可燃性、挥发性之物品于机台内,防止意外发生。
8、在机台附近使用可燃性物品,应适当远离,防止意外发生。
9、请小心将物品放入机台,温度在60度以上的请务必戴高温手套。
10、每次使用结束后,关闭电源。
11、打扫表面及内腔灰尘,保持机器清洁。
12、检查通风口是否堵塞,并清理积尘。
13、机台内的加热器要定期进行检查,除尘及其它杂残留物。
14、突然停电,要把加热开关关闭,防止来电时自动启动。
15、若长期停用,必须对箱体进行内、外清洁,拨掉电源插头罩上塑料防尘套。
*文章仅为个人观点,具体操作请在技术人员指导下进行。
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C1-008 洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)
用途:光刻工艺后段,光刻胶固化。
●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。
●程序运转功能,有自动/手动两种操作模式。
●快速升温、降温,降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。
●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。
●全不锈钢材质。
●在安全方面,配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。
室温+30~360℃ 规格参数:
温度范围:室温+30~360℃
温度分布精度:±4.0℃(at 360℃)
温度上升时间:60min(室温→360℃)
温度下降时间:90min(360℃→50℃)
氧浓度:20ppm以下
氧浓度下降时间:约45分钟
洁净度:100级
装备:氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸:W600×D600×H600mm
电源:3相 AC380V
室温室温+50~500℃ 规格参数:
温度范围:室温+50~500℃
温度分布精度:±8.0℃(a500℃)
温度上升时间:90min(室温→500℃)
温度下降时间:120min(500℃→50℃)
氧浓度:20ppm以下
氧浓度下降时间:约45分钟
洁净度:100级
装备:氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸:W600×D600×H600mm
电源:3相 AC380V
上海高温无氧烘箱保养高温无氧烘箱,就选浚和(上海)仪器有限公司,让您满意,欢迎您的来电!
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高温无氧烘箱箱体结构
1、烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成,结构合理,外观美观大方;
2、全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
3、箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘;
4、内胆材料:1.5厚度 SUS304#不锈钢;
5、 保温材料:硅酸铝棉,保温层厚度100mm;
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气氛炉抽真空效果不佳解决办法
一、检查气氛炉自身的密封性
检查一下炉壳,砌体,炉门及所有外界连接零件如风扇,热电偶,辐射管,推拉料机等处的密封性是否正常;
二、检查气氛炉真空泵
真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量,使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时,有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压,从而降低了抽空效能,如果是酸性气体,那就会腐蚀油泵,如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。 浚和(上海)仪器有限公司高温无氧烘箱获得众多用户的认可。
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DTN650C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)
规格:
①内尺寸(宽×深×高mm):660×500×660
②外形尺寸(宽×深×高mm):1450×1060×1960
③内容积:216L
④棚板层数/层间距:19层/30mm
⑤排气口:40KF法兰
⑥氮气入口:Rc1/2
⑦冷却水入口:Rc3/4
⑧热水出口:Rc3/4,2个
⑨电源(50/60Hz)额定电流:3相AC380V 27A
⑩重量:约1100kg
选购品:棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯(待机/ 运行/ 故障)、以太网通信功能
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浚和(上海)仪器有限公司高温无氧烘箱值得用户放心。浙江高温无氧烘箱加热功率
浚和(上海)仪器有限公司致力于提供高温无氧烘箱,欢迎您的来电!北京高温无氧烘箱固化半导体晶圆
C1-007厌氧高温气氛炉(YAMATO)
●用途:电子元器件高温处理工艺。
●用途:光刻工艺后段,光刻胶固化。
●MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下。
●程序运转功能,有自动/手动两种操作模式。
●快速升温、降温,降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。
●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。
●在安全方面,配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异
●常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。
室温+30~360℃ 规格参数:
温度范围室温:+30~360℃
温度分布精度:±4.0℃(at 360℃)
温度上升时间:60min(室温→360℃)
温度下降时间:90min(360℃→50℃)
氧浓度:20ppm以下
氧浓度下降时间:约45分钟
运转功能:定值运转、程序运转
装备:氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸:W600×D600×H600mm
电源:3相 AC380V
室温+50~600℃ 规格参数:
温度范围室温:室温+50~600℃
温度分布精度:±8.0℃(at 600℃)
温度上升时间:90min(室温→600℃)
温度下降时间:120min(600℃→50℃)
氧浓度:20ppm以下
氧浓度下降时间:约45分钟
运转功能:定值运转、程序运转
装备:氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸:W600×D600×H600mm
电源:3相 AC380V
北京高温无氧烘箱固化半导体晶圆
浚和(上海)仪器有限公司是一家供应国内外先进仪器和设备的专业供应商和服务商,致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来,持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供先进的产品和专业的服务。
浚和在不断引进国内外先进仪器设备的同时,结合行业和市场需求,加强和客户之间的沟通,并与国际上多家知名仪器设备制造商保持着长期稳定的合作关系,不定期地与合作商进行技术交流,努力加强自身技术力量。公司配备了数名有着多年行业经验的技术人员,依靠雄厚的技术实力、科学合理的配置方案、专业的安装调试和周到的售后服务,得到了广大用户的支持与信赖。
公司主要经营产品包括:等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、数字PCR、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等,目前主要合作品牌有:日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、广州永诺 、日本KEM等。同时,公司还提供专业的技术服务,如设备的维护、验证等。
浚和仪器将始终以行业特点为立足点,以客户需求为导向,不断地提高自身专业技术能力,不停地完善客户服务质量,在发展中保持创新的精神,力求与客户共同进步,为行业的发展作出不懈的努力。
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