段差激光干涉仪多层厚度测量

时间:2023年03月18日 来源:

电测量指示仪表的分类可分为:(1)按相别分:单相、三相三线、三相四线等。(2)按功能及用途分:有功电表、无功电表、比较大需量表、复费率电表、多功能电表、铜损表、铁损表等。(3)按工作原理分:感应式、电子式、机电式等。电力系统各类电表的技术要求(1)接入中注点绝缘系统的电能计量装置,应采用三相三线有功、无功电表。接入非中性点绝缘系统的电能计量装置,应采用三相四线有功、无功电表或3只感应式无止逆单相电表。(2)接入中性点绝缘系统的3台电压互感器,35kV及以上的宜采用Y/y方式接线;35kV以下的宜采用V/V方式接线。接入非中性点绝缘系统的3台电压互感器,宜采用Y0/y0方式接线。其一次侧接地方式和系统接地方式相一致。(3)低压供电,负荷电流为50A 及以下时,宜采用直接接入式电表;负荷电流为50A以上时,宜采用经电流互感器接入式的接线方式。(4)对三相三线制接线的电能计量装置,其2台电流互感器二次绕组与电表之间宜采用四线连接。对三相四线制连接的电能计量装置,其3台电流互感器二次绕组与电表之间宜采用六线连接。寄生(错误)运动将被确定。段差激光干涉仪多层厚度测量

薄膜型半导体应变片

这种应变片是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上或蓝宝石上制成的。它通过改变真空沉积时衬底的温度来控制沉积层电阻率的高低,从而控制电阻温度系数和灵敏度系数。因而能制造出适于不同试件材料的温度自补偿薄膜应变片。薄膜型半导体应变片吸收了金属应变片和半导体应变片的优点,并避免了它的缺点,是一种较理想的应变片。

外延型半导体应变片

这种应变片是在多晶硅或蓝宝石的衬底上外延一层单晶硅而制成的。它的优点是取消了P-N结隔离,使工作温度大为提高(可达300℃以上)。 激光干涉仪平面度测量电机振动的非接触频率分析。

干涉仪主要特点

1.同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角2.设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器3.可选的无线遥控传感器极长的控制距离可到25米4.可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性5.全套系统重量只15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架6.集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等,以及测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性等。8、激光干涉仪的光源——激光,具有gao qiang度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。

从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。IDS与各种目标和目标材料兼容。

在物理学家关于气体或其他有重物体所形成的理论观念同麦克斯韦关于所谓空虚空间中的电磁过程的理论之间,有着深刻的形式上的分歧。这就是,我们认为一个物体的状态是由数目很大但还是有限个数的原子和电子的坐标和速度来完全确定的;与此相反,为了确定一个空间的电磁状态,我们就需要用连续的空间函数,因此,为了完全确定一个空间的电磁状态,就不能认为有限个数的物理量就足够了。按照麦克斯韦的理论,对于一切纯电磁现象因而也对于光来说,应当把能量看作是连续的空间函数,而按照物理学家的看法,一个有重客体的能量,则应当用其中原子和电子所带能量的总和来表示。一个有重物体的能量不可能分成任意多个、任意小的部分,而按照光的麦克斯韦理论(或者更一般地说,按照任何波动理论),从一个点光源发射出来的光束的能量,则是在一个不断增大的体积中连续地分布的。在2000转/分时,电动机产生270Hz的振动,反过来 以345Hz放大系统谐振。激光干涉仪平面度测量

当干扰信号不敏感时,调制信号的幅度对位移敏感。段差激光干涉仪多层厚度测量

穿心式电流互感器其本身结构不设一次绕组,载流(负荷电流)导线由L1至L2穿过由硅钢片擀卷制成的圆形(或其他形状)铁心起一次绕组作用。二次绕组直接均匀地缠绕在圆形铁心上,与仪表、继电器、变送器等电流线圈的二次负荷串联形成闭合回路,由于穿心式电流互感器不设一次绕组,其变比根据一次绕组穿过互感器铁心中的匝数确定,穿心匝数越多,变比越小;反之,穿心匝数越少,变比越大,额定电流比I1/n:式中I1——穿心一匝时一次额定电流;n——穿心匝数。段差激光干涉仪多层厚度测量

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