半导体失效分析

时间:2023年07月20日 来源:

§Nrecon重建软件,包含GPU加速软件使用修正的Feldkamp多层体积(锥束)重建算法。单层或选定/全体积在一个扫描后也能重建。全横截面尺寸(全图模式),部分重建模式,大于视场的局部细节重建。自动位移校正,环状物校正,可调平滑,射束硬化校正,探测器死像素校准,热漂移补偿,长样品部分扫描的自动重建、绘图尺,自动和手动选择的灰度视窗等等。输出格式:16bitTIFF,8bitJPEG,8bitBMP,8bitPNG,textformat。GPU加速版可提高速度5-20倍,取决于所处理图像的大小。SKYSCAN 1273增材制造:增材制造通常也被称为“3D打印”,可以用于制造出拥有复杂的内外部结构的部件。半导体失效分析

半导体失效分析,显微CT

新的多量程X射线纳米级断层扫描系统SKYSCAN2214,能用一台仪器涵盖广阔的物体尺寸和空间分辨率。它为地质材料的三维成像和精确建模开创了当世无双的可能,适合石油和天然气勘探、复合材料、锂电池、燃料电池、电子组件,以及肺部成像或tumour血管化等体外的临床前应用。对于直径达到300mm以上的大型物体,该仪器可对它们内部的微观结构进行扫描和三维无损重建;对于小尺寸的样品,该仪器可达到亚微米级的分辨率。该系统拥有一个“开放型”的透射式X光源,其光斑尺寸小于0.5微米,并拥有金刚石窗口。它能配备多四种X射线探测器以实现较大灵活性:适用于大物体的平板探测器,大视场11Mp冷却式CCD探测器,中等视场11Mp冷却式CCD探测器,实现较高空间分辨率的8Mp冷却式CCD探测器。自动可变的采集方式和相位衬度增强,使得能以相对短的扫描时间达到尽可能较好的质量。SKYSCAN2214拥有3D.SUITE配套软件。这个综合性的软件包涵盖GPU加速重建、2D/3D形态分析,以及表面和体渲染可视化。江西包含什么显微CT推荐咨询确定结构的厚度、结构间隔实现空隙网络可视化、压缩和拉伸台进行原位力学试验、确定开孔孔隙和闭孔孔隙度。

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SkyScan2214为油气勘探,复合材料,锂电池,燃料电池,电子组件等材料的三维成像和精确建模提供了独特的解决方案。该仪器可接受300mm大小的物体,并为小尺寸和中等尺寸(10cm范围左右)样品扫描提供亚微米级的分辨率。该系统可选择圆形和螺旋扫描轨迹进行样品扫描,并提供世界上快的分层重建(InstaRecon®)软件,和获得(许可)的精确的螺旋重建算法,为准确测量提供高精度信息。·开放式纳米焦点金刚石光源,降低使用成本··多探测器自动切换(多可选4个),可选择适用于中小尺寸样品成像的高灵敏度CCD探测器和适用于大尺寸样品、快速扫描的高分辨率CMOS平板探测器··11轴高精度定位系统,精度优于50nm··三维空间分辨率优于500nm,小像素尺寸优于60nm·

SKYSCAN2214研究地质样品——无论是地下深处的岩心样品还是地面之上的岩石,能为探索我们所在世界的形成过程提供丰富的信息。分析时通常需要破坏原始样品,消除内部结构的重要起源。XRM可在无需切片的情况下分析样品,因而能够更快地得到结果,也使样品未来能够继续用于分析。SKYSCAN2214拥有3D.SUITE配套软件。这个综合性的软件包涵盖GPU加速重建、2D/3D形态分析,以及表面和体渲染可视化。1.根据密度对样品内部结构进行三维可视化。2.孔隙网络的可视化。3.数字切片允许使用标准地质分析方法。各向异性扩散滤波器在降噪和边缘保持之间提供了较好的平衡。

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X射线显微CT:先进的无损三维显微镜显微CT即Micro-CT,为三维X射线成像,与医用CT(或“CAT”)原理相同,可进行小尺寸、高精度扫描。通过对样品内部非常细微的结构进行无损成像,真正实现三维显微成像。无需样本品制备、嵌入、镀层或切薄片。单次扫描将能实现对样品对象的完整内部三维结构的完整成像,并且可以完好取回样本品!特点:先进的扫描引擎—可变扫描几何:可以提高成像质量,或将扫描时间缩短1/2到1/5支持重建、分析和逼真成像的软件套件自动样品切换器内部结构的三维试图可供了解失效机制,为进一步的优化指明方向。半导体失效分析

Push-Button-CT包含了所有工作流程:自动样品尺寸检测、样品扫描、三维重建以及三维可视化。半导体失效分析

SKYSCAN2214功能原位试验台SKYSCAN2214拥有高度准确的样品台,支持直径达到300mm和重量达到20kg的物体。空气悬浮式旋转马达能以非常高的准确度准确地旋转样品位置,集成的精密定位平台能保证样品完全对准。SKYSCAN2214拥有一个很大的且使用方便的样品室,方便扫描大型物体和安装可选的试验台。它有足够的空间可供容纳其他设备。布鲁克的材料试验台可以进行较大4400N的压缩试验和较大440N的拉伸试验。所有试验台都能通过系统的旋转台自动联系到一起,而无需任何外接线缆。通过使用所提供的软件,可以设置预定扫描试验。布鲁克的加热台和冷却台可以达到较高+80ºC或较低低于环境温度低30ºC的温度。和其它的试验台一样,加热和冷却台也不需要任何额外的连接,系统可以自动地识别不同的试验台。通过使用加热台和冷却台,可在非环境条件下检测样品,从而评估温度对样品微观结构的影响。SKYSCAN2214与DEBEN试验台可以完全兼容。借助自带的适配器,DEBEN试验台可以很容易地被安装到SKYSCAN2214的旋转台上。半导体失效分析

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