山东激光位移传感器

带通滤光片，设置于成像物镜的入射光路上。聚焦透镜，设置于激光器的出射光路上。可选地，上述感光元件为线阵感光元件，线阵感光元件的多个感光单元沿直线排列，该直线的延伸方向为多个感光单元的主要排列方向。上述也可以是感光元件为面阵感光元件，面阵感光元件包括以矩形排列的多个感光单元，面阵感光元件的长边延伸方向为多个感光单元的主要排列方向。此外，上述成像物镜可以为单一镜片，且成像物镜的物侧面和像侧面皆为非球面；或者，成像物镜为多个透镜组成的透镜组。它们的稳定性使得测量结果具有较高的重复性和可信度。山东激光位移传感器

本发明提出的激光位移传感器的成像物镜和感光元件的调制传递函数(MTF)解析结果满足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS，能够利用像散，让呈现在感光元件上的光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)变窄，而在竖直方向(即，子午方向，T方向)变长(或者让光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)变宽，而在竖直方向(即，子午方向，T方向)变窄)，有助于更加容易地确定光斑在水平方向上的中心位置，从而提高测量的准确度；由于激光位移传感器中感光元件的多个感光单元的阵列排布形状为矩形或线形，将矩形长边或直线的延伸方向上的MTF降低，也不会影响测量精度；不仅如此，由于在MTF值被拉高的方向上光斑变窄，而在MTF值被降低的方向上光斑变宽，所以光斑与像元之间的接触面积增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响；此外，由于本发明提出的激光位移传感器所采用的成像物镜无需兼顾水平方向和CN1 06855391B4竖直方向的MTF值，所以能够降低物镜的设计难度，节省制造和维护成本；泉州激光位移传感器制造公司采用激光束对目标物体进行扫描和测量，因此可以实现非接触式的位移测量。

通过所述控制面板14设置所述电动伸缩双直线导轨11伸缩至特定的距离，打开所述激光位移传感器4，使得所述激光位移传感器4的激光照射在所述激光红外线接收挡板5的接收面上，记录所述激光位移传感器4至所述激光红外线接收挡板5的距离；旋转所述位移调节把手212使得所述横向蜗杆211横向位移，记录所述电子千分表221的位移数据，记录此时所述激光位移传感器4至所述激光红外线接收挡板5的距离，通过比较所述激光位移传感器4前后两次测量的距离差与所述电子千分表221的位移数据，计算所述激光位移传感器4的误差；调节所述电动伸缩双直线导轨11的伸缩距离，重复以上测量，以减少测量误差。

如权利要求2所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述微调装置包括一蜗轮蜗杆机构、一电子测量仪以及一微调平台；所述微调平台设于所述电动伸缩双直线导轨上端的尾部，所述微调平台的末端向上设有一延伸部；所述蜗轮蜗杆机构设于所述微调平台的前端；所述电子测量仪的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蜗轮蜗杆机构。如权利要求3所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述蜗轮蜗杆机构包括一横向蜗杆、一蜗轮以及一位移调节把手；所述横向蜗杆的一端与所述激光红外线接收挡板的背面固接，另一端与所述电子测量仪抵接；所述位移调节把手与所述蜗轮的中心固接。它抗干扰能力强，能够在复杂环境下正常工作。

一种激光位移传感器，包括激光器、成像物镜以及感光元件，所述激光器用于射出激光束，由所述成像物镜接收并出射的光入射到所述感光元件，其特征在于，在对所述成像物镜和所述感光元件进行调制传递函数MTF解析时，解析结果满足以下条件：在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，MTFS>MTFT；在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，MTFT>MTFS；其中，MTFS为弧矢方向上的MTF值，MTFT为子午方向上的MTF值；在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，所述成像物镜本身的MTFS>MTFT；或者，在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，所述成像物镜本身的MTFT>MTFS，使得所述解析结果满足所述条件；和/或在所述成像物镜前和/或在所述成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件，并且配合微调所述成像物镜与所述感光元件之间的相对距离，使得所述解析结果满足所述条件。2.根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，在进行解析时，空间频率为62.5lp/mm，如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS>MTFT×10。高精度激光位移传感器具有较高的灵敏度，能够检测微小的位移变化。济南激光位移传感器零售价格

激光三角反射式测量原理基于简单的几何关系。山东激光位移传感器

在一个实施例中，激光位移传感器通过调整成像物镜6与感光元件7之间的距离，在空间频率为62.5lp/mm处，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS为量程内被测点在S方向的MTF值，MTFT为量程内被测点在T方向的MTF值，曲线1为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏离的MTFT值，曲线2为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏移的MTFS值；曲线3为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值；曲线4为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值；曲线5为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值；曲线6为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值(其中，在弧矢方向内，向光轴以里偏离为正，向光轴以外偏离为负)。在一具体实施例中，在空间频率为62.5lp/mm处，量程内被测点的MTFS≥0.5，MTFT＜0.05。类似地，在采用上述方式1的情况CN10685539 1B6下，同样可以保证成像物镜的MTFT和MTFS满足这些条件。山东激光位移传感器