南京SDE1220干式真空泵中国授权代理商

日本KASHIYAMAMU20M18P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数：式样：MU20M18P/HMAX排气速度（L/min）：30000达到压力（Pa）：0.5电源电压：3相AC200-220V消费电力（KW）：2.0KW外型尺寸WHL[mm]：500×950×1100质量【kg】：340kg二、配置清单：序号描述数量备注1MU20M18P/H主机一台，电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器（原厂件，选配）未包含7入口过滤器（选配，非原厂件）未包含设备原产地：日本浚和(上海)仪器有限公司为您提供干式真空泵，有想法的可以来电咨询！南京SDE1220干式真空泵中国授权代理商

日本KASHIYAMAMU600P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数：式样：MU600P/HMAX排气速度（L/min）：10000达到压力（Pa）：0.5电源电压：3相AC200-220V消费电力（KW）：0.95KW外型尺寸WHL[mm]：350×520×630质量【kg】：130kg二、配置清单：序号描述数量备注1MU600P/H主机一台，电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配 4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器（原厂件，选配）未包含7入口过滤器（选配，非原厂件）未包含设备原产地：日本南京SDE1220干式真空泵中国授权代理商浚和(上海)仪器有限公司为您提供干式真空泵，期待为您服务！

日本KASHIYAMA干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：1）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；2）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；3）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；4）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。5）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求.

排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况，密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。维护性○・基本上免维护△・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。（根据使用情况，需要频繁更换）维护成本○・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O/H费用便宜。・抽 气部分无物理接触，无因磨损更换部件。△・油需定期更换产生费用。（使用氟油的情况费用较高）・需要更换叶片及阀门。（因叶片为接触式）初始投资成本△・与油泵相比相对较高。○・与干泵相比较便宜。配套设备费用○・不需要油雾凝气阀△・需要油雾凝气阀。・需要油盘。浚和(上海)仪器有限公司致力于提供干式真空泵，欢迎新老客户来电！

干式真空泵与油泵的性能比较项目ＮｅｏＤｒｙSeries干式真空泵油泵特征○・不使用液体密封泵腔，可以得到干净的真空。△・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况，密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。维护性○・基本上免维护△・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。（根据使用情况，需要频繁更换）维护成本○・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O/H费用便宜。・抽 气部分无物理接触，无因磨损更换部件。△・油需定期更换产生费用。（使用氟油的情况费用较高）・需要更换叶片及阀门。浚和(上海)仪器有限公司致力于提供干式真空泵，有需要可以联系我司哦！深圳干式真空泵正规代理

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日本KASHIYAMAMU600P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数：式样：MU600P/HMAX排气速度（L/min）：10000达到压力（Pa）：0.5电源电压：3相AC200-220V消费电力（KW）：0.95KW外型尺寸WHL[mm]：350×520×630质量【kg】：130kg二、配 置清单：序号描述数量备注1MU600P/H主机一台，电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器（原厂件，选配）未包含7入口过滤器（选配，非原厂件）未包含设备原产地：日本南京SDE1220干式真空泵中国授权代理商