不锈钢气体管道设计服务商

流量测量有策略性地将流量计安装在公司内部管网中经济的和转换性的节点上。压缩空气是一种生产工具，它是公司内各个部门产品成本的一部分。从这个角度看，所有部门都要试图去减少消耗以让所有部门都能受益。现在在市场上可以买到的流量计，所有数值都可以人工读取，测量数据也可以读取到电脑或转换模块中。半导体制造用气体按照使用时的危险性分类：1.可燃、助燃、易燃易爆气体：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等；2.有毒气体：AsH3、PH3 、B2H6等；3.助燃气体：O2 、N2O、F2 、HF等；4.窒息性气体：N2 、He 、CO2、Ar等；5.腐蚀性气体：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等。氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m。不锈钢气体管道设计服务商

医用气体管道系统及中心工作站（气源）的设置，医用气体管道系统是指医疗用的氧气，负压吸引、压缩空气、笑气、氮气、二氧化碳等气体的集中供给、排放和配管系统。医用气体设置的区域为病房、手术室、监护病房（1CU）、抢救室、急诊、观察室、高压氧仓、妇科人流室、口腔科等医疗场所。为保证医疗供气系统稳定、连续地供气，采用集中治理的中心配管系统设置中心工作站（包括供氧站、真空泵房、空压机站等），通过管道连接医院每个气体终端。不锈钢气体管道设计公司各种气体管道也应按标准单元组合设计。

气体管道设计安全技术：1、气体管道设计的安全技术应符合下列规定：2、每台(组)用氢设备的支管和氢气放空管上应设置阻火器。3、各种气体管道应设置明显标志。4、使用氢气及可燃气体的实验室应设置报警装置。5、气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。对曰用气量不超过一瓶的气体，实验室内可放置一个该种气体的气瓶，但气瓶应有安全防护设施。6、氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。气体管道设计有很多方面，都有不同的要求，气体管道敷设，气体管道、阀门和附件，气体管道连接及安全问题都有要求。

对于低蒸汽压气体(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。高纯度气体由管道输送，能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、试验检测合格。

医用空气系统（压缩空气系统）：1医用压缩空气，经压缩空气机房输送至各医疗部分终端供使用。2压缩空气站，压缩空气站由空压机、储气罐、空气干燥器、三级过滤器及控制柜等组成。储气罐：防止空压机频繁启动。干燥器：空气干燥，使空气的压力lu点为+5℃，即使低温环境也不至于空气出现水珠。过滤器：满足医疗气体使用标准。3所输送的压缩空气应无菌、干燥、无油。吸进气体为室外清洁空气，吸气口必须阔别各类污气排放口。其它医用气体（N2O、CO2、N2）系统：1其它医用气体（N2O、CO2、N2）由气源站，经双路汇流排减压后，供至医用终端。2气源站 由于N2O、CO2、N2用气量较小，气源可以是钢瓶供给。气源站由钢瓶气体及汇流排组成，钢瓶气体二组，一用一备。小型气源站位置可靠近用气点，如手术间技术夹层等处，房间应有透风。应有适当的过滤和净化系统，以除去气体中的杂质和水分。不锈钢气体管道设计公司

螺纹接头的丝扣填料应采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化铅、甘油调合填料。不锈钢气体管道设计服务商

特种气体供应系统具体方式如下：现场制气、管道供气，这种供气方式时将制气设备建造在用气量较大或者用气品种较多的工厂内或按区域设置供应周边各单位用气；1－中压贮气罐；2－调压阀组；3－气体过滤器；4－液态气体贮罐；5－汽化器；6－安全阀；7－自动控制阀；8－气体纯化装置；9－流量计；10－末端气体过滤器；11－末端气体纯化器；12－用气点；13－高压气体压缩机；14－高压气体贮罐（P=15~20MPa）图A为采用液态气体贮存气体，中压贮罐。作为缓冲罐的供应系统。气体纯化设备设在工厂内，实际上在各用气工厂还应设置各种过滤精度的气体过滤器、计量仪器、分析仪器等，有的工厂对高纯气体中杂质含量控制十分严格，此时还需安装末端提纯设备。图B为采用高压（P=15~20MPa）气体贮罐的供气系统，常用于氢气供应系统中，设高压气体压缩机从中压贮气罐中吸气经压缩到15~20MPa送入若干个高压贮气罐组储气，根据供气用气的平衡，高压贮气罐放气经二级调压阀组减压后由自动控制阀送入供气系统。不锈钢气体管道设计服务商