江苏高纯气体管道设计施工规范

气体管道敷设要求：1、输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。2、氧气管道与其它气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氢气管道外的其它气体管道之上。3、氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m;交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。分层敷设时，氢气管道应位于上方。4、室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地，不得穿过不使用氢气的房间。5、气体管道不得和电缆、导电线路同架敷设。 氢气管道不得用螺纹连接。江苏高纯气体管道设计施工规范

高纯气体管路的设计要点：1.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。2.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。3.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。江苏氧气气体管道设计价格减少管路“死区”，管路中不应设有盲管，减少不流动气体的“死区”。

压缩空气管网设计当设计与确定压缩空气网络时，首先需要有管网及用气系统的设备列表，所有用气设备，和一张标明了各用气点位置的布局图。用气点可以按照一定的逻辑进行分类编组并由同一供气支管供气。当然一个供气主管路为每个供气支管供气。一个完整的压缩空气管网有四个主要部分：供气主管供气支管设备连接管管道配件供气主管把压缩空气从压缩机房输送到用气区域领域。供气支管是将主管内的空气引到用气区域，设备连接管将支管与用气设备连接起来。

医用气体常用参数：氧气：单咀计算流量为5 l/min，呼吸机计算流量为10~20 l/min，氧气终端压力为0.2~0.4MPa。同时使用系数：整个病房为0.2-0.4，水平干管为0.4-0.5，每间病房支管为1.0。负压吸引：单咀计算流量为0.25 l/s，手术台负压吸引流量为0.75~1.0 l/s，吸引压力为-300mmHg~-600mmHg。同时使用系数：整个病房为0.2~0.3，水平干管为0.3~0.4，每间病房支管为1.0。压缩空气：单咀计算流量为20~100 l/min，压力为0.4~0.5 MPa。一氧化二氮：单咀计算流量为≤30 l/min，压力≤0.4MPa。氮气：单咀计算流量为10 l/min，压力为0.8~0.9MPa。二氧化碳：单咀计算流量为≤10 l/min，压力为0.4~0.5MPa。氧气管道应处于除氢气管道外的其它气体管道之上。

高纯/特种气体的概念，半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类：1.普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。气力输送设计的计算方法：1、确定各工作参数。气力输送的主要工作参数包括输送量、混合比(输送浓度)和气流速度等，这些参数的正确确定，对气力输送系统的选择和运行的经济性有很大的影响。2、确定各主要部件的型式和结构尺寸，如选用吸送式气力输送型式，则要注意吸嘴的选型，绘制出系统示意图。3、计算出系统各部分的压力损失及管道总压力损失。4、根据风网总风量和总压力损失选择合适的风机，并计算风机所需功率配用电机。根据用气设备的分布情况吗，高纯气体的管网大小长短应适宜，不宜过大或过长。上海洁净室气体管道设计价格

所有管道应清晰标识，包括气体名称、流向标记和安全警示。江苏高纯气体管道设计施工规范

进行检测和调试。在气体管道施工完成后，需要进行管道的检测和调试工作。首先，进行的气体泄漏检测，确保管道的密封性。其次，进行的气体流量的测试，确保气体输送的稳定性和准确性。通过检测和调试，可以发现并解决潜在的问题，确保管道的正常运行。然后，进行验收和维护。当实验室气体管道设计与施工完成后，需要进行验收工作。验收包括对管道的安全性、可靠性以及使用效果的检查。只有通过验收，实验室能够正式投入使用。同时，为了保证管道的正常运行和使用寿命，还需要进行定期的维护和保养工作，包括清洗、润滑等。江苏高纯气体管道设计施工规范