上海厂房特气管道安装公司

特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点。分类，特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。常规供气系统，常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。管道安装时按不同的管径和要求设置管卡或吊架,要求位置准确，埋设平整。上海厂房特气管道安装公司

大宗特气供应系统（BSGS）采用全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。特种气体采用单独气源，多用点采用VMB或VMP分路供应，VMB或VMP采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空等。由于BSGS气源总量大，多采用单独的气体房，单独的抽风系统。这些工厂的特种气体的供给，除了普通钢瓶（50L及以下）包装的特种气体外，还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器，由此它们被称为大宗特气，包括Y-钢瓶（450L），T-钢瓶（980L），集装格（940L），ISO罐（22,500L），鱼雷车（13,400L）等。苏州隐藏式特气管道安装工程在施工过程中，采取必要的安全措施，如佩戴防护用品、设置警示标志等，确保施工人员的安全和健康。

特气管道工程安装的注意事项：1、特气管道安装时，根据不同的管径和要求设置管卡或吊架，要求位置准确，埋设平整,管卡与管道接触应紧密，但不得损伤管道表面涂层。2、管道支架的制作安装要采用机械切割和台钻钻孔，严禁气割。3、所有支吊架安装前必须做除锈，做涂刷两遍防锈漆的防腐处理；支吊架要满焊，安装采用预埋板或满足荷载要求的膨胀螺栓固定，确保牢固可靠。4、特气管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，若设计无要求时，按照规范要求设置。7、管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙：夏季施工预留：5-10mm；冬季施工预留：15-20m。8、管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。

辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为：特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。夏季施工预留：5-10mm;冬季施工预留：15-20mm 。

尾气处理装置及纯化器的安装10.5.1尾气处理装置安装应符合现行国家标准《机械设备安装工程施工及验收通用规范》GB50231的有关规定。10.5.2尾气处理装置的基础应坚固平整，水平度不得大于3‰。10.5.3每个系统的管线及阀门都应贴上明显的正确标识，阀门应开关灵活，锁定装置应可靠。干式尾气处理装置及纯化器安装时，应防止吸附剂长期接触空气。低蒸汽压特种气体管道施工除应符合本标准第10.6.1条～第10.6.3条的规定外，还应符合下列规定：1 管路应安装伴热带并用保温棉包覆管路；2 当管道穿越温差较大区域时应分段加热。特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序。杭州隐藏式特气管道安装施工规范

对施工过程进行质量控制，确保管道的安装质量符合相关标准和要求。上海厂房特气管道安装公司

特气管道工程安装几个安全要点：1、管道安装时按不同的管径和要求设置管卡或吊架,要求位置准确，埋设平整,管卡与管道接触应紧密，但不得损伤管道表面涂层。2、管道支架制作安装采用机械切割，台钻钻孔，严禁气割。支吊架要满焊，安装采用预埋板或满足荷载要求的膨胀螺栓固定，确保牢固可靠。所有支吊架安装前必须做除锈、涂刷两遍防锈漆的防腐处理。3、管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，设计无要求时，按照规范要求设置；管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙：夏季施工预留：5-10mm；冬季施工预留：15-20mm。管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。上海厂房特气管道安装公司