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日本把微电子生产中所采用的气体,按其不同的品位,具体分为下列几个不同的档次:1.超高纯气体,气体中杂质总含量控制在1ppm以下,水份含量控制在0.2~1ppm。2.高纯气体,气体中杂质总含量控制在5ppm以下,水份含量控制在3 ppm以内。3.洁净气体,气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定,都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产,几乎都是在洁净环境中进行,是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以,对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏,必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致,根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。上海大楼气体管道设计服务
高纯气体管路的设计要点:1.根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。2.管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。宁波氦气气体管道设计氢气、氧气管道的末端和较高点宜设放空管。
设计选型不当的压缩空气供气系统会产生不必要的能耗、降低生产力和压缩空气性能。供气系统的优劣可从以下三个方面考量:从空压机出口到较终用气点的压损要足够的小供气系统的漏点要少如果系统没有干燥机,供气系统是否具有高效的冷凝水分离功能这三个基本准则适用于供气系统的主管道设计和为未来扩产预留的管道设计。为未来需求而设计先适用较大尺寸的管道,虽然现在看来初始投资会高一些,但与未来扩产因管道太小全部重建供气管道系统所要花费的成相比,一开始就选择较大尺寸的管道的成本要低的多。
中心供氧系统:1医院中心供氧系统由中心供氧站、管道、阀门及终端送氧插头等组成。氧气气源集中在中心供氧站,气源氧气通过减压装置和管道输送得手术室、抢救室、医治室和各个病房的终端处,供医疗使用。2中心供氧站,中心供氧站供氧方式有:氧气瓶组供氧、液氧供氧和液氧与气瓶组联合供氧及制氧机供氧。氧气瓶组供氧由高压氧气瓶、汇流排、减压装置、管道及报警装置组成。氧气瓶组供氧汇流排,必须设两组(或多组)交替供氧,采用自动或手动切换。氧气瓶可由散装或箱式瓶组供给。采用汇流排气瓶组时气瓶总数不得超过20瓶。瓶装汇流排间地坪应与运输工具高度相适应,一般宜高出室外地坪600mm以上。箱式瓶组应有防止发生火花的轨导吊车。各种气体管道也应按标准单元组合设计。
管道设计标准:一、管道直径的确定,管道直径的确定取决于气体的流量和运输的距离。如果管道直径过小,会导致气体流量不足,影响气体的输送效率;如果管道直径过大,不只会浪费材料,还会增加建设成本。二、管道的布局,在气体管道的布局设计中,需要考虑管道连接的数量和位置、管道的支撑方式等因素。合理的管道布局可以保证气体输送的平稳和安全。三五、管道的安装,在气体管道的安装过程中,需要特别注意管道的密封和固定。如果安装不当,会导致气体泄漏和管道破裂等安全问题。以上就是芯片净化车间建设中工业气体管道设计的必须知道的标准。只有在严格遵守这些标准的前提下,才能保证净化车间的高效运行和安全生产。气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。杭州工业气体管道设计方案
压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。上海大楼气体管道设计服务
气体管道、阀门和附件要求 :1、气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。2、气体管道与设备的连接段宜采用金属管道。如为非金属软管,宜采用聚四氟乙烯管、聚氯乙烯管,不得采用乳胶管。3、阀门和附件的材质:对氢气和煤气管道不得采用铜质材料,其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。氢气和氧气管道所用的附件和仪表必须是该介质的专门使用产品,不得代用。4、阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材料。填料应采用经除油处理的石墨石棉或聚四氟乙烯。5、气体管道中的法兰垫片其材质应依管内输送的介质确定。上海大楼气体管道设计服务
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