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时间:2023年12月05日 来源:

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高效HJT电池整线装备,物理的气相沉积,PVD优点沉积速度快、基材温升低;所获得的薄膜纯度高、致密性好、成膜均匀性好;溅射工艺可重复性好,精确控制厚度;膜层粒子的散射能力强,绕镀性好;不同的金属、合金、氧化物能够进行混合,同时溅射于基材上;缺点:常规平面磁控溅射技术靶材利用率不高,一般低于40%;在辉光放电中进行,金属离化率较低。反应等离子体沉,RPD优点:对衬底的轰击损伤小;镀层附着性能好,膜层不易脱落;源材料利用率高,沉积速率高;易于化合物膜层的形成,增加活性;镀膜所使用的基体材料和膜材范围广。缺点:薄膜中的缺陷密度较高,薄膜与基片的过渡区较宽,应用中受到限制(特别是电子器件和IC);薄膜中含有气体量较高。南京国产异质结PECVD光伏异质结可以应用在各种表面上,如玻璃、塑料等,具有广泛的应用前景。

高效光伏异质结电池整线设备,HWCVD 1、热丝化学气相沉积(HotWireCVD,HWCVD)是利用高温热丝催化作用使SiH4分解来制备非晶硅薄膜,对衬底无损伤,且成膜质量非常好,但镀膜均匀性较差,且热丝作为耗材,成本较高;2、HWCVD一般分为三个阶段,一是反应气体在热丝处的分解反应,二是基元向衬底运输过程中的气相反应,第三是生长薄膜的表面反应。PECVD镀膜均匀性较高,工艺窗口宽,对衬底损伤较大。HWCVD是利用高温热丝催化作用使SiH4分解来成膜,对衬底无损伤,且成膜质量好,但镀膜均匀性较差且成本较高。

异质结电池的优势有,优势一:工艺流程短HJT电池主工艺有4道:制绒、非晶硅沉积、TCO沉积、丝网印刷;远少于PERC(10个)和TOPCON(12-13个);其中,非晶硅沉积主要使用PECVD方法。TCO薄膜主要有两种方法:RPD(反应等离子沉积)和PVD。优势二:转换效率高得益于N型硅衬底以及非晶硅对基底表面缺陷的双重钝化作用。目前量产效率普遍已在25%以上;更高的转化效率需要在前后表面使用掺杂纳米晶硅、掺杂微晶硅、掺杂微晶氧化硅、掺杂微晶碳化硅取代现有的掺杂。HJT效率潜力超28%,远高PERC电池。优势三:无LID&PID,低衰减无LID与PID:由于HJT电池衬底通常为N型单晶硅,而N型单晶硅为磷掺杂,不存在P型晶硅中的硼氧复合、硼铁复合等,所以HJT电池对于LID效应是免疫的。HJT电池的表面沉积有TCO薄膜,无绝缘层,因此无表面层带电的机会,从结构上避免PID发生。低衰减:HJT电池首年衰减1-2%,此后每年衰减0.25%,远低于PERC电池掺镓片的衰减情况(首年衰减2%,此后每年衰减0.45%),因此HJT电池全生命周期每W发电量高出双面PERC电池约1.9%-2.9%。光伏异质结的制造工艺不断优化,降低了生产成本,提高了产量和良品率。

异质结电池所有制程的加工温度均低于250,避免了生产效率低而成本高的高温扩散制结的过程,而且低温工艺使得a-Si薄膜的光学带隙、沉积速率、吸收系数以及氢含量得到较精确的控制,也可避免因高温导致的热应力等不良影响。釜川(无锡)智能科技有限公司,以半导体生产设备、太阳能电池生产设备为主要产品,打造光伏设备一体化服务。拥有强大的科研团队,凭借技术竞争力,在清洗制绒设备、PECVD设备、PVD设备、电镀铜设备等方面都有独特优势;以高效加工制造、快速终端交付的能力,为客户提供整线工艺设备的交付服务。异质结电池采用的N型硅片,掺杂剂为磷,几乎无光致衰减现象。西安0bb异质结价格

光伏异质结是一种高效太阳能电池,具有双面发电和低光衰减等优点。合肥0bb异质结无银

HJT电池生产流程,HJT电池生产设备,制绒清洗的主要目的。1去除硅片表面的污染和损伤层;2利用KOH腐蚀液对n型硅片进行各项异性腐蚀,将Si(100)晶面腐蚀为Si(111)晶面的四方椎体结构(“金字塔结构”),即在硅片表面形成绒面,可将硅片表面反射率降低至12.5%以下,从而产生更多的光生载流子;3形成洁净硅片表面,由于HJT电池中硅片衬底表面直接为异质结界面的一部分,避免不洁净引进的缺陷和杂质而带来的结界面处载流子的复合。碱溶液浓度较低时,单晶硅的(100)与(111)晶面的腐蚀速度差别比较明显,速度的比值被称为各向异性因子(anisotropicfactorAF);因此改变碱溶液的浓度及温度,可以有效地改变AF,使得在不同方向上的速度不同,在硅片表面形成密集分布的“金字塔”结构的减反射绒面;在制绒工序,绒面大小为主要指标,一般可通过添加剂的选择、工艺配比的变化、工艺温度及工艺时间等来进行调节控制。合肥0bb异质结无银

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