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时间:2024年05月13日 来源:

晶圆加工是半导体制造过程中的重要环节,主要包括以下几个步骤:切片(Wire Saw Slicing):由于硅的硬度非常大,所以在本工序里,采用环状、其内径边缘镶嵌有钻石颗粒的薄片锯片将晶棒切割成一片片薄片。研磨(Lapping):研磨的目的在于去掉切割时在晶片表面产生的锯痕和破损,使晶片表面达到所要求的光洁度。外径研磨(Surface Grinding & Shaping):由于在晶棒成长过程中,其外径尺寸和圆度均有一定偏差,其外园柱面也凹凸不平,所以必须对外径进行修整、研磨,使其尺寸、形状误差均小于允许偏差。蚀刻(Etching):利用化学反应或物理方法,将晶圆表面不需要的部分移除。检测与测试:对加工完成的晶圆进行检测和测试,以确保其质量和性能符合要求。WID120,创新科技,晶圆ID读取新时代!陕西晶圆读码器怎么样

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晶圆加工的工序包括以下步骤:融化(Melt Down):将块状的高纯度复晶硅置于石英坩锅内,加热到其熔点1420°C以上,使其完全融化。颈部成长(Neck Growth):待硅融浆的温度稳定之后,将〈1.0.0〉方向的晶种慢慢插入其中,接着将晶种慢慢往上提升,使其直径缩小到一定尺寸(一般约6mm左右),维持此直径并拉长100-200mm,以消除晶种内的晶粒排列取向差异。晶体成长(Body Growth):不断调整提升速度和融炼温度,维持固定的晶棒直径,直到晶棒长度达到预定值。尾部成长(Tail Growth):当晶棒长度达到预定值后再逐渐加快提升速度并提高融炼温度,使晶棒直径逐渐变小,以避免因热应力造成排差和滑移等现象产生,使晶棒与液面完全分离。至此即得到一根完整的晶棒。研磨(Lapping):研磨的目的在于去掉切割时在晶片表面产生的锯痕和破损,使晶片表面达到所要求的光洁度。切割硅片:将硅片切割成晶圆的过程。切割硅片需要使用切割机器,将硅片切割成圆形。切割硅片的精度非常高,一般要求误差在几微米以内。研磨硅片:将硅片表面进行研磨的过程。研磨硅片需要使用研磨机器,将硅片表面进行研磨,使其表面光滑平整。研磨硅片的精度也非常高,一般要求误差在几微米以内。上海晶圆读码器怎么用WID120 高速晶圆 ID 读码器 —— 全德国进口,专业晶圆ID读取。

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