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时间:2024年09月14日 来源:

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还可以根据这些附图获得其他附图:图1为本实施例中一种真空镀膜设备的主视示意图;图2为本实施例中图1中a处的放大示意图;图3为本实施例中图1中b处的放大示意图;图4为本实施例中顶盖的结构示意图。具体实施方式为了使本实用新型实施例的目的、技术方案和***更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本实用新型的部分实施例,而不是全部实施例。基于本实用新型的实施例,本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型的保护范围。本实用新型较佳实施例的如图1和图2所示,构造一种真空镀膜设备,包括镀膜机1;镀膜机1底部设有出气管11;出气管11上设有宝来利真空连接套12;宝来利真空连接套12上设有第二连接套2;第二连接套2中设有顶盖22,顶盖22与宝来利真空连接套12之间通过磁吸连接;第二连接套2远离镀膜机1一侧设有抽气管3;抽气管3远离第二连接套2一侧设有真空泵4;抽气管3内靠近真空泵4一侧设有宝来利真空过滤网41;抽气管3远离镀膜机1一侧设有沉降组件;在抽真空时,按下开关13,启动真空泵4,电磁铁122通电产生与磁片223相同的磁性,利用磁铁的原理。

影响工作效率的问题。为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种高分子等离子表面真空镀膜设备,包括腔体、基板和坩埚,所述腔体底部的四角均固定连接有支撑腿,并且腔体的正面转动连接有密封门,所述腔体内壁两侧之间的底部固定连接有支撑板,并且支撑板的顶部固定连接有防护框,所述防护框内壁的两侧均固定连接有宝来利真空滑轨,并且两个宝来利真空滑轨相对的一侧之间滑动连接有活动板,所述腔体内壁的底部固定连接有宝来利真空伸缩杆,所述宝来利真空伸缩杆的顶端贯穿支撑板和防护框并延伸至防护框的内部,所述宝来利真空伸缩杆输出轴的一端且位于防护框的内部与活动板的底部固定连接,所述腔体内壁的两侧均固定连接有第二伸缩杆,所述防护框顶部的两侧分别滑动连接有宝来利真空密封盖和第二密封盖,并且宝来利真空密封盖和第二密封盖相背离的一侧分别与两个第二伸缩杆的输出轴固定连接。推荐的,所述活动板的顶部固定连接有加热板,所述防护框内壁的底部且位于宝来利真空伸缩杆的表面固定连接有降温板。推荐的,所述腔体左侧的顶部固定连接有电机,并且电机输出轴的一端固定连接有双向螺纹杆。推荐的。宝来利数码相机镜片真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,细腻有光泽,有需要可以来咨询!

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真空镀膜设备在操作过程中,膜层不均匀的可能原因主要包括靶材与基片的距离不当、磁场设计不均匀以及乙炔引入不均匀等。具体内容如下:距离问题:靶材与待镀基片之间的距离若未优化,会影响溅射的均匀性。磁场设计问题:磁控溅射的均匀性在很大程度上依赖于磁场的设计,如果磁场分布和强度不均,则会导致膜层均匀度不佳。气体引入问题:如乙炔在反应溅射过程中引入不均,也会导致沉积膜层的质量在基片上存在差异。为了解决这些问题,可以考虑以下方案:调整靶材与基片间的距离:确保两者间距离适宜,以便改善溅射的均匀性。优化磁场设计:通过改善和优化磁场的分布及强度,提高靶材表面离子轰击的均匀性,进而提升膜层均匀度。旋转基片或靶材:在溅射过程中,改变它们的相对位置和角度,使得材料能够更均匀地分布在基片上。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,钛铝,有需要可以咨询!江苏工具真空镀膜机哪家强

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本实用新型涉及真空设备领域,尤其涉及一种真空反应腔室和真空镀膜设备。背景技术:目前,真空设备,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等离子体增强化学气相沉积)和pvd(physicalvaporde****ition,物宝来利相沉积)设备已被广泛应用于各种产品的生产过程中,如光伏电池、半导体器件等等。真空设备中(如pecvd设备、pvd设备)的宝来利真空反应室通常为单个反应腔室,传动部件和升降部件等机械模块部件以及溅射靶材等工艺模块部件均设置于该单个反应腔室内,这就造成反应腔室内的工艺环境不够封闭,容易造成工艺环境污染。另外,设置单个反应腔室时,由于工艺反应区域较大,容易造成工艺所需原料的浪费,同时,还会造成工艺反应过程中温度波动大,不可控因素较多,从而影响工艺过程。技术实现要素:本实用新型的宝来利真空目的在于提供一种真空反应腔室,以解决现有真空设备中由于只设置一个反应腔室造成的工艺环境易被污染、工艺原料易被浪费、环境温度可控性低等问题。本实用新型的第二目的在于提供一种包含本实用新型真空反应腔室的真空镀膜设备。为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案如下:一种真空反应腔室,包括:用于提供真空环境的外腔体。江苏手机面板真空镀膜机现货直发

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