苏州NEODRY 30E干式真空泵授权代理

时间:2021年12月29日 来源:

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍)


       SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。


系统组成:

1) 罗茨泵  (SDE120TX) 1  

2) 机械增压泵(KMB603) 1  

3) 电源盒  1  

4) 操作手柄1  

5) 连接件  1  

6) 消音器(SR-19) 1

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干式真空泵的各种系列应用领域还是不一样的。苏州NEODRY 30E干式真空泵授权代理

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       完全电子智能化设计,可以很方便地多方位与DCS系统联接,通过Modem联接可以实现就地和远程控制;辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用;设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达 100,000:1 (吸入压力< 0.01 mbar 绝压);吸气量可达1,000 m3/h (更大吸气量的泵在开发中,目前可用机械的增压泵与干式泵组合来满足对大的吸气量的要求);噪音水平低于75Db(A)(噪音低于好轿车内部分贝)维修方便,可以快速和方便地拆卸和更换泵的内件。整机通过欧洲ATEX防爆条例认证。苏州NEODRY 30E干式真空泵授权代理干式真空泵的好处有很多。

苏州NEODRY 30E干式真空泵授权代理,干式真空泵

日本KASHIYAMASDE804060干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数:

式样

SDE804060

MAX排气速度(L/min)

190000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

外型尺寸WHL [mm]

1000×1980×1850


二、 配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

SDE804060主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含


设备原产地:日本

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(GasBallast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。

日本KASHIYAMA SDE20M09X干式真空泵 技术参数&配置清单


一、 技术参数:

式样:SDE20M09X

MAX排气速度(L/min):30000

达到压力(Pa):0.5

电源电压:3相  AC200-220V,380-480V

消费电力(KW):2.6KW

外型尺寸WHL [mm]:460×960×900


二、 配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

SDE20M09X主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)

未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)

未包含


设备原产地:日本

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所的水蒸吸取气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。



干式真空泵的无油环保特点成为了干式真空泵的主要卖点。

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       但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件,所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质,一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态,没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了?答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统,可以调整泵腔内及转子的温度,使之没有离子形式存在,全都气化,从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢,不做任何涂层,降低了成本,增加了安全性能。干式真空泵的主要特点有很多。苏州NEODRY 30E干式真空泵授权代理

干式真空泵的主要特点都有哪些呢?苏州NEODRY 30E干式真空泵授权代理

干式真空泵的种类特征


螺杆式:利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。

罗茨式:在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。

爪式:复数的爪型Rotor以轴平行排列,进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。

涡旋式:利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。

隔膜式藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。

活塞式:利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。 苏州NEODRY 30E干式真空泵授权代理

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