佛山激光干涉仪共焦技术

时间:2023年06月19日 来源:

高灵敏,高分辨,小型化。如将光谱仪集成到一块电路板上。

标准化。通讯接口过去常用GPIB,RS232,目前有可能成为替代物的高性能标准是USB、IEEE1394和VXI。现在,技术前面者设法控制技术标准,参与标准制订是仪器开发的基础研究工作之一。

配合数控设备的技术创新(如主轴速度,精度创成)

数控设备的主要误差来源可分为几何误差(共有21项)和热误差。对于重复出现的系统误差,可采用软件修正;对于随机误差较大的情况,要采用实时修正方法。对于热误差,一般要通过温度测量进行修正。 3轴:测量不稳定的俯仰pitch和偏航运动yaw。佛山激光干涉仪共焦技术

激光干涉仪

干涉仪技术参数:5D/6D标准型:1.线性:0.5ppm.2.测量范围:40米(1D可选80米)3.线性分辨力:0.001um.4.偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值5.比较大范围:800角秒6.滚动角精度:1.0角秒7.直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值8.直线度比较大范围:500um9.垂直度精度:1角秒10.温度精度:0.2摄氏度11.湿度精度:5%12.压力精度:1mmHg

从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。 3D激光干涉仪形貌测量角度和迴转测量,检测轴承间隙。

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从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

按一次绕组对地运行状态分

一次绕组接地的电压互感器:单相电压互感器一次绕组的末端或三相电压互感器一次绕组的中性点直接接地;一次绕组不接地的电压互感器:单相电压互感器一次绕组两端子对地都是绝缘的;三相电压互感器一次绕组的各部分,包括接线端子对地都是绝缘的,而且绝缘水平与额定绝缘水平一致。

按磁路结构分

单级式电压互感器:一次绕组和二次绕组(根据需要可设多个二次绕组同绕在一个铁芯上,铁芯为地电位。我国在及以下电压等级均用单级式;串级式电压互感器:一次绕组分成几个匝数相同的单元串接在相与地之间,每一单元有各自独自的铁芯,具有多个铁芯,且铁芯带有高电压,二次绕组(根据需要可设多个二次绕组处在较为末一个与地连接的单元。我国在电压等级常用此种结构型式;组合式互感器:由电压互感器和电流互感器组合并形成一体的互感器称为组合式互感器,也有把与组合电器配套生产的互感器称为组合式互感器。 样品和细胞的扩张/收缩 长度相对变化(ΔL)。

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穿心式电流互感器其本身结构不设一次绕组,载流(负荷电流)导线由L1至L2穿过由硅钢片擀卷制成的圆形(或其他形状)铁心起一次绕组作用。二次绕组直接均匀地缠绕在圆形铁心上,与仪表、继电器、变送器等电流线圈的二次负荷串联形成闭合回路,由于穿心式电流互感器不设一次绕组,其变比根据一次绕组穿过互感器铁心中的匝数确定,穿心匝数越多,变比越小;反之,穿心匝数越少,变比越大,额定电流比I1/n:式中I1——穿心一匝时一次额定电流;n——穿心匝数。工业位移传感器(IDS)。粗糙度激光干涉仪色散共焦

使用干涉测量法进行旋转运动误差补偿。佛山激光干涉仪共焦技术

多抽头电流互感器。这种型号的电流互感器,一次绕组不变,在绕制二次绕组时,增加几个抽头,以获得多个不同变比。它具有一个铁心和一个匝数固定的一次绕组,其二次绕组用绝缘铜线绕在套装于铁心上的绝缘筒上,将不同变比的二次绕组抽头引出,接在接线端子座上,每个抽头设置各自的接线端子,这样就形成了多个变比,此种电流互感器的优点是可以根据负荷电流变比,调换二次接线端子的接线来改变变比,而不需要更换电流互感器,给使用提供了方便。佛山激光干涉仪共焦技术

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