内径测量 光谱共焦主要功能与优势

时间:2024年05月20日 来源:

光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低以及高分辨率等特点,已成为工业测量的热门传感器,在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量和3C电子等领域广泛应用。本次测量场景采用了创视智能TS-C1200光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 µm的重复精度、±0.02%的线性精度、30kHz的采样速度和±60°的测量角度,适用于镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网,模拟量的数据传输接口。光谱共焦位移传感器可以实现对材料的变形过程进行实时监测,对于研究材料的力学行为具有重要意义。内径测量 光谱共焦主要功能与优势

内径测量 光谱共焦主要功能与优势,光谱共焦

光谱共焦传感器如何工作?共焦色度测量原理通过使用多透镜光学系统将多色白光聚焦到目标表面来工作。透镜的排列方式是通过控制色差(像差)将白光分散成单色光。工厂校准为每个波长分配了一定的偏差(特定距离)。只有精确聚焦在目标表面或材料上的波长才能用于测量。从目标表面反射的这种光通过共焦孔径到达光谱仪,该光谱仪检测并处理光谱变化。在整个传感器的测量范围内,实现了一个非常小的、恒定的光斑尺寸 ,通常 <10 µm。微型径向和轴向共焦版本可用于测量钻孔或钻孔的内表面,以及测量窄孔、小间隙和空腔。内径测量 光谱共焦主要功能与优势激光位移传感器可分为点、线两种。

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本文通过对比测试方法,考核了基于白光共焦光谱技术的靶丸外表面轮廓测量精度。图5(a)比较了原子力显微镜轮廓仪和白光共焦光谱轮廓仪测量曲线 ,二者低阶轮廓整体相似性高,但在靶丸赤道附近的高频段轮廓测量上存在一定的偏差。此外,白光共焦光谱的信噪比也相对较低,只适合测量靶丸表面低阶的轮廓误差。图5(b)比较了原子力显微镜轮廓仪测量数据和白光共焦光谱轮廓仪测量数据的功率谱曲线,发现两种方法在模数低于100的功率谱范围内测量结果一致性较好,但当模数大于100时,白光共焦光谱的测量数据大于原子力显微镜的测量数据,这反映了白光共焦光谱仪在高频段测量数据信噪比相对较差的特点。由于共焦光谱检测数据受多种因素影响,高频随机噪声可达100nm左右。

为了满足全天候观察的需求,设计了波段范围为可见光-短波红外宽光谱共焦光学成像系统。根据宽光谱共焦原理以及光学被动式无热化原理,设计了一个波段范围为0.4μm~2.5μm、焦距数为50 mm,F数为2.8的光学成像系统,该系统在可见光波段在奈奎斯特频率为30 lp/mm时传函值高于0.7,红外波段在奈奎斯特频率为30 lp/mm时传函值高于0.5,探测器选用为15μm×15μm、像元数为640 pixel×512 pixel碲镉汞探测器。该宽光谱共焦型光学系统均采用普通玻璃材料以及易加工的球面透镜,在温度范围-40℃~+60℃内对光学系统消热差,实现了无需调焦即可满足昼夜观察的使用需求,可广泛应用于安防监控、森林防火等领域 。光谱共焦技术具有轴向按层分析功能,精度可以达到纳米级别。

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随着科技的进步和应用的深入,光谱共焦在点胶行业中的未来发展前景非常广阔。以下是一些可能的趋势和发展方向:高速化方向,为了满足不断提高的生产效率要求,光谱共焦技术需要更快的光谱分析速度和更短的检测时间。这需要不断优化算法和改进硬件设备,以提高数据处理速度和检测效率。智能化方向,通过引入人工智能和机器学习技术,光谱共焦可以实现更复杂的分析和判断能力,例如自动识别不同种类的点胶、检测微小的点胶缺陷等。这将有助于提高检测精度和降低人工成本/多功能化方向。为了满足多样化的生产需求,光谱共焦技术可以扩展到更多的应用领域。例如,将光谱共焦技术与图像处理技术相结合,可以实现更复杂的样品分析和检测任务。另外,环保与可持续发展方向也越来越受关注。随着环保意识的提高,光谱共焦技术在点胶行业中的应用也可以从环保角度出发。例如,通过光谱分析可以精确地控制点胶的厚度和用量,从而减少材料的浪费和减少对环境的影响。激光位移传感器在微位移测量领域具有广泛应用。内径测量 光谱共焦主要功能与优势

激光共焦扫描显微镜将被测物体沿光轴移动或将透镜沿光轴移动。内径测量 光谱共焦主要功能与优势

对光谱共焦位移传感器原理进行理解与分析得出,想得到的理想镜头应该具备以下性能:首先需要其产生较大的轴向色差,通常需要对镜头进行消色差措施,而对于此传感器需要利用其色差进行测量,并且还需将其扩大化,其次产生轴向色差后在轴上的焦点会由于单色光球差的问题导致光谱曲线响应FWHM(Full Width at Half Maximum)变大,影响分辨率,同时为确保单色光在轴上汇聚点单一,需要对其球差进行控制 , 为使此位移传感器从原理上保证传感器的线性度,平衡传感器各个聚焦位置的灵敏度,应尽量使焦点位置与波长成线性关系。内径测量 光谱共焦主要功能与优势

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