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时间:2023年01月01日 来源:

为了得到高质量的化合物薄膜,通常在溅镀金属靶时,通入与被溅射出的物质反应的气体,相互反应生成所需的化合物沉积在基材上,此种溅镀系统称为反应性溅镀。如果所通入的气体含量刚好足够与溅射出的原子进行反应,使得在靶材表面甚少形成化合物,则有利溅射的进行。相反地,如果通入过量的气体,则不仅在基材上与溅射出的原子进行反应,也会在靶面上与靶材反应生成化合物。因此,如何提高吸热体的基材的外表面上的薄膜对太阳热能的吸收,提高光热转换的效率,是本领域技术人员急需解决的技术问题。技术实现要素:如何提高吸热体的基材的外表面上的薄膜对太阳热能的吸收,提高光热转换的效率。浙江AM1太阳光谱模拟低价

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本申请提供了一种用于选择性吸收太阳光谱的膜层的制备方法,吸热体由基材以及设置在基材的外表面上的膜层构成,膜层包括6层,从下到上依次为氧化铬材质的强化膜、铜材质的低发射率膜、氮化铬材质的缓冲膜、氮氧化铬、氮化铬以及氧化铬的混合物材质的过渡膜、氧化铬材质的吸收膜、二氧化硅材质的抗反射膜,其中强化膜、缓冲膜、过渡膜、吸收膜以及抗反射膜均为通过反应性溅就镀制备得到,铜材质的低发射率膜为通过直流溅镀制备得到;西藏生产太阳光谱模拟销量相反地,如果通入过量的气体,则不仅在基材上与溅射出的原子进行反应,也会在靶面上与靶材反应生成化合物。

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根据本发明的实施例的模块、单元中的任意多个、或其中任意多个的至少部分功能可以在一个模块中实现。根据本发明实施例的模块、单元中的任意一个或多个可以被拆分成多个模块来实现。根据本发明实施例的模块、单元中的任意一个或多个可以至少被部分地实现为硬件电路,例如现场可编程门阵列(fpga)、可编程逻辑阵列(pla)、片上系统、基板上的系统、封装上的系统、**集成电路(asic),或可以通过对电路进行集成或封装的任何其他的合理方式的硬件或固件来实现,或以软件、硬件以及固件三种实现方式中任意一种或以其中任意几种的适当组合来实现。或者,根据本发明实施例的模块、单元中的一个或多个可以至少被部分地实现为计算机程序模块,当该计算机程序模块被运行时,可以执行相应的功能。

在本申请的一个实施例中,步骤2)中,靶材为铜靶,氩气流量为50~500sccm,制得的低发射率膜的厚度为180~220nm。在本申请的一个实施例中,步骤3)中,靶材为铬靶,氩气流量为50~300sccm,氮气流量为10~100sccm,制得的缓冲膜的厚度为30~150nm。在本申请的一个实施例中,步骤4)中,靶材为铬靶,氩气流量为50~500sccm,氮气流量为10~200sccm,氧气流量为10~200sccm,制得的过渡膜的厚度为30~100nm。在本申请的一个实施例中,步骤5)中,靶材为铬靶,氩气流量为50~300sccm,氧气流量为10~200sccm,制得的吸收膜的厚度为30~120nm。在第五真空镀膜室中,氩离子撞击靶材,撞击出来的铬离子与通入的氧气发生化学反应生成氧化铬。

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以AgAl-Al2O3金属陶瓷薄膜作为吸收层,成功构建了AgAl-Al2O3太阳光谱选择性吸收涂层。在氮气气氛下经500℃退火1002 h,其太阳光谱吸收率稳定在95%左右,400℃红外发射率约在10-11%,如图1所示(Advanced Materials Interfaces 2016, 3, 1600248)。   目前国内外研究人员积极开发基于熔融盐(如60% KNO3+40% NaNO3)热工质的高温太阳能热发电系统,其工作温度常在550℃以上,客观上对太阳光谱选择性吸收涂层提出了更为苛刻的要求,如何获得600℃下具备优异热稳定性的太阳光谱选择性吸收涂层是亟需攻克的难题之一。此外,溅镀制备低发射率膜:在第二真空镀膜室中,氩离子撞击靶材。贵州AM0太阳光谱模拟报价

基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例。浙江AM1太阳光谱模拟低价

阳光是一种**度、易获得的光源,包括数千个“内置”的校准光谱特征。许多研究都需要用到这种质量的光源,例如日光诱导叶绿素荧光;植被,作物和矿物的地物光谱,高光谱,以及多光谱测试;地球大气层研究等等。LightMachinery的高分辨率光谱仪,不但可以用来测试太阳光谱,也可以利用其高分辨率测试的夫朗和费线反演太阳自转,大气水汽等等。显示太阳光谱**直接的方法是将直射阳光耦合到连接到光谱仪输入端口的光纤中。某些型号的LightMachinery光谱仪提供了必要的光通量和灵敏度来记录太阳光谱,只需将光纤端部大致对准太阳的方向即可。浙江AM1太阳光谱模拟低价

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