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近年来，中国科学院宁波材料技术与工程研究所功能薄膜与智构器件团队聚焦新型金属陶瓷基太阳光谱选择性吸收涂层研发，以提升热稳定性为抓手，在新型耐高温金属陶瓷材料设计、光学模拟、涂层构筑和热稳定性强化机理研究等方面开展了一系列的工作。前期，利用金属Al合金化Ag纳米粒子，结合多靶共溅射的方法，获得新型AgAl-Al2O3金属陶瓷薄膜，耐热温度较Ag-Al2O3（350℃）提高至500℃，在非真空条件下经高温长时间退火（~1000 h），光学性能非常稳定（ACS Applied Materials Interfaces 2014, 6, 11550; Applied Surface Science 2015, 331, 285）。溅镀制备低发射率膜：在第二真空镀膜室中，氩离子撞击靶材。天津生产太阳光谱模拟价格

在本申请的一个实施例中，步骤6)中，靶材为硅靶，氩气流量为50～500sccm，氧气流量为50～200sccm，制得的抗反射膜的厚度为60～200nm。在本申请的一个实施例中，步骤1)中，吸热体的基材为不锈钢片、铝板或铜板。本申请中，sccm为体积流量单位，意义为标况毫升/分钟。本申请提供的膜层能够选择性吸收太阳光谱，其中的原理是：太阳辐射到地球上的绝大部分能量，来源于0.20～3.0μm波长范围的紫外线、可见光和红外线，这个波长范围内的能量占地球外太阳辐射总能量的98.07％；而热辐射的波长范围主要集中在2.5～30μm。光谱选择性吸收涂层是应用在吸热体上的，它就是利用太阳辐射的波长范围(主要集中在0.20～3.0μm)与热辐射的波长范围不相同这一特性，可以增强吸热体对太阳辐射吸收的同时，减少吸热体向环境的热辐射损失。选择性涂层材料的比较大特点在于，它们对不同光谱区的辐射具有不同的热辐射性质。山西下打光太阳光谱模拟工厂为了得到高质量的化合物薄膜，通常在溅镀金属靶时，通入与被溅射出的物质反应的气体。

4)反应性溅镀制备过渡膜：在第四真空镀膜室中，氩离子撞击靶材，撞击出来的铬离子与通入的氧气与氮气发生化学反应生成氮氧化铬、氮化铬以及氧化铬，反应生成的氮氧化铬、氮化铬以及氧化铬沉积在步骤3)制得的缓冲膜的外表面上形成过渡膜；步骤4)中，靶材为铬靶，功率为15kw，电压为510v，真空度为8.0e-6torr，镀膜速度为6mm/s，氩气流量为90sccm，氮气流量为70sccm，氧气流量为50sccm，制得的过渡膜的厚度为70nm；5)反应性溅镀制备吸收膜：在第五真空镀膜室中，氩离子撞击靶材，撞击出来的铬离子与通入的氧气发生化学反应生成氧化铬，反应生成的氧化铬沉积在步骤4)制得的过渡膜的外表面上形成吸收膜；

经检测，本申请制备的膜层的吸收率为93％～97％，比现有技术中膜层的吸收率提高了3％～9％；本申请制备的膜层的发射率为3％～5％，比现有技术中膜层的发射率降低了3％～12％；膜层的附着力根据标准要求测试，结果为1级；本申请制备的膜层的光热转换的效率为77％～82％，比现有技术中膜层的光热转换的效率提高了6％～10％；经国家节能产品质量监督检验中心检测，该六层膜的膜层具有优异的性能，**优于国家标准要求，太阳吸收比α(am1.5)达0.94，半球发射比εh(80℃)*为0.038。反应性溅镀制备强化膜：在***真空镀膜室中，氩离子撞击靶材。

为了得到高质量的化合物薄膜，通常在溅镀金属靶时，通入与被溅射出的物质反应的气体，相互反应生成所需的化合物沉积在基材上，此种溅镀系统称为反应性溅镀。如果所通入的气体含量刚好足够与溅射出的原子进行反应，使得在靶材表面甚少形成化合物，则有利溅射的进行。相反地，如果通入过量的气体，则不仅在基材上与溅射出的原子进行反应，也会在靶面上与靶材反应生成化合物。因此，如何提高吸热体的基材的外表面上的薄膜对太阳热能的吸收，提高光热转换的效率，是本领域技术人员急需解决的技术问题。技术实现要素：经检测，本申请制备的膜层的吸收率为93％～97％，比现有技术中膜层的吸收率提高了3％～9％。甘肃AM0太阳光谱模拟低价

这一新设计转换太阳光为电力的效率是44.5%，有望成为世界上效率的太阳能电池。天津生产太阳光谱模拟价格

反应性溅镀制备缓冲膜：在第三真空镀膜室中，氩离子撞击靶材，撞击出来的铬离子与通入的氮气发生化学反应生成氮化铬，反应生成的氮化铬沉积在步骤2)制得的低发射率膜的外表面上形成缓冲膜；4)反应性溅镀制备过渡膜：在第四真空镀膜室中，氩离子撞击靶材，撞击出来的铬离子与通入的氧气与氮气发生化学反应生成氮氧化铬、氮化铬以及氧化铬，反应生成的氮氧化铬、氮化铬以及氧化铬沉积在步骤3)制得的缓冲膜的外表面上形成过渡膜；5)反应性溅镀制备吸收膜：在第五真空镀膜室中，氩离子撞击靶材，撞击出来的铬离子与通入的氧气发生化学反应生成氧化铬，反应生成的氧化铬沉积在步骤4)制得的过渡膜的外表面上形成吸收膜；天津生产太阳光谱模拟价格

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