江苏特种气体管道设计施工规范

近20年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。”所有管道应清晰标识，包括气体名称、流向标记和安全警示。江苏特种气体管道设计施工规范

管道敷设要求：1）输送干燥气体的管道宜水平安装， 轮送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。2）氧气管道与其他气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氢气管道外的其他气体管道之上。3）氢气管道与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m ; 交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。分层敷设时，氢气管道应位于上方。室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地，不得穿过不使用氢气的房间。4）气体管道不得和电缆、导电线路同架敷设。上海氧气气体管道设计连接图由于存放的气体由于有可燃性气体和助燃气体，按国家规定必须分库存放。

这期我们聊聊高纯气体的管路设计在实际应用上，应注意哪些要点？GP在管道设计上是如何实施？高纯气体管路设计要点：01气体特性，了解气体特性，规划单独的供应区域。一般根据气体特性分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区。将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙和泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体于毒性/腐蚀性气体放置同一区域。02输送距离，管路设计需要考虑输送至用气点的距离，距离越长，成本越高，风险越高。通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。

终端布局：1.系统设置为二次减压系统。终端采用壁挂式设计。上设有压力调节器、输出压力指示计、紧急切断阀，同一气路的呈上下对应排布，方便操作。面板为不锈钢产品，该终端可以实现在室内对设备的压力调节、输出压力的监控及气路开关控制，省去了每日往返于气瓶间和实验间的奔波，提高了办事效率。2.控制终端上的气体出口尺寸要与分析仪的气体入口尺寸相对应。气体出口接头还应方便安装。压力调节面板和气路控制终端上粘贴气路编号、气体种类、浓度等标识。实验室供气系统是实验室设计中的一个重要组成部分，其安全性、可靠性和功能性对实验室的正常运行至关重要。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。

物料的输送状况：输送量，在设计气力输送系统时，一般是根据单位时间的输送量确定系统的容量和规格。输送系统往往是作为整套设备的组成部分进行设计的。如果输送能力比额定值大，则后部的设备就没有能力处理，反之，如果输送能力过小，则会影响设备的正常操作。因此，一般宜使瞬时的输送量控制在额定的范围内。对连续运转的设备，当输送装置万一发生故障时，会造成整套设备的停车，带来过大的损失。因此输送系统应具有承受连续运转的结构，并要设置中间料斗，以便在紧急修理时，允许暂停运转。当供给量不连续时，在瞬时内会供给大量的物料所以系统的容量应加大。氢气管道与其它可燃气体管道交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。江苏厂房气体管道设计行价

输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。江苏特种气体管道设计施工规范

日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次：1.超高纯气体，气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。2.高纯气体，气体中杂质总含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内。3.洁净气体，气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定，都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。江苏特种气体管道设计施工规范