上海矿用气体管道设计连接图

在实验室计过程中，通常会涉及到气体管路。一般实验室用气主要有不可燃气体、惰性气体、易燃气体、剧毒气体、助燃气体组成。所以在设计实验室的过程中，就需要考虑到气路的安装问题，根据场地环境及不同气体的要求，设计选用合适的洁净气体管道及气体阀门，满足实验室对气体安全、纯度及洁净度的需要。随着行业快速发展，由于实验室气体输送等设备系统在关键内容、关键标准等方面缺乏统一技术要求，设备设施种类繁多、专门使用模块与设备管道阀件性能不匹配等问题逐步凸显，方案设计、技术实现、测试评估、实际部署等暂时缺乏统一和准确的指导，给后期使用维护造成较大影响。气瓶间内设立一次调压面板，其中二托一面板带吹扫铜镀铬面板4套。上海矿用气体管道设计连接图

管道设计标准：一、管道直径的确定，管道直径的确定取决于气体的流量和运输的距离。如果管道直径过小，会导致气体流量不足，影响气体的输送效率;如果管道直径过大，不只会浪费材料，还会增加建设成本。二、管道的布局，在气体管道的布局设计中，需要考虑管道连接的数量和位置、管道的支撑方式等因素。合理的管道布局可以保证气体输送的平稳和安全。三五、管道的安装，在气体管道的安装过程中，需要特别注意管道的密封和固定。如果安装不当，会导致气体泄漏和管道破裂等安全问题。以上就是芯片净化车间建设中工业气体管道设计的必须知道的标准。只有在严格遵守这些标准的前提下，才能保证净化车间的高效运行和安全生产。江苏氮气气体管道设计要求氢气、氧气管道的末端和较高点宜设放空管。

气路的布线：1.气瓶间内压力调节面板与实验室内的气路终端之间选用SS316LBA管进行连接，管道内表面光洁度为Ra<0.4umBA级管道。2.4N氮气主管线采用OD3/8”（6.35mm）的管道，0.5Mpa压力下的流量可达8M3/小时，完全满足常规用气需求，支线采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。3.5N氮气、氦气、预留气主管线采用OD1/4”（6.35mm）的管道，支线采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。实验室气体管道设计要求严格，需要考虑多个因素，确保供应的气体能够满足实验室内不同设备和实验的需求。以下是实验室气体管道设计的一些基本要求。

气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。易燃气体，如乙炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.5M；交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。氧气管道与其它气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氢气管道外的其它管道上。

气体管道设计规范 ：1、本章规定适用于压力不大于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、煤气、压缩空气和真空等实验室内气体管道设计。2、气体管道设计除应按现行的《城镇燃气设计规范》、《工业企业煤气安全规程》、《氧气站设计规范》、《氢气使用安全技术规程》等的规定执行外，尚应符合本规范的规定。3、氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气次数为每小时1～3次的通风措施。4、按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。氮气气体管道设计价格

高纯气体管道应采用承插焊接。上海矿用气体管道设计连接图

对于低蒸汽压气体(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。上海矿用气体管道设计连接图