浙江检验科特气管道安装规范

硅烷（SiH4）是一种在常温常压下为具有恶臭的无色气体。它还是一种在室温下能着火、在空气或卤素气体中能爆裂性燃烧和剧毒性的特种气体。硅烷在高科技行业中应用越来越普遍，这与它的特性有关，同时也与行业的特殊需求有关。硅烷（SiH4）可以通过热分解或与其它气体的化学反应制得单晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物质。举例：半导体行业中，硅烷SiH4是显示屏制造中较关键的气体之一，与氨气（NH3）结合使用，形成用于a-Si晶体管的氮化硅层；与氧化亚氮（N2O）结合使用形成MO晶体管的氧化硅层。弯管加工，常规双层管弯头需定做，定做成品成本高，而且质量不易得到保证。浙江检验科特气管道安装规范

特气管道工程安装要求，1、特气管道工程要选择一家经验丰富的供气气体系统公司，2、施工和验收要参照规范，特气管道工程施工注意事项：1、不选择半路进入行业，没有过多的经验的公司；2、不使用的材料不合格，工艺落后，施工和验收不按规定标准；3、避免气体管道工程系统设计不到位；4、避免出现管道经常出现问题，影响研究和工作进度。5、注意特殊气体泄漏会引起中毒或爆裂的危险。选择特气管道工程安装公司的标准：1、十几年行业经验，技术的积累；2、对特气管道工程设计考虑的比较全方面；3、使用材料进口，标准高；4、施工技艺先进，验收严格按照规定标准；5、秉承“安全至上”的观念。特气管道安装精选厂家特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式。

尾气处理装置进场验收应符合下列规定：1 尾气处理装置进场应对外观、外形尺寸、构成、接口、铭牌、气密试验、阀门动作、信号传输等性能进行检查和核对；2 尾气处理装置的主要组成件、附件应符合设计与合同的要求，随机资料和专门使用工具应齐全；3 酸碱中和装置的洗涤塔、风机、泵、控制盘、酸(碱)储罐以及连接管路等应进行外观检查，随机资料应齐全；4 尾气处理装置、风机、泵的出厂合格证、性能测试报告，铭牌、标识应齐全；5 系统流程图、控制原理图、设备使用说明书应齐全。

特种气体管道焊接应符合下列规定：1管外径大于或等于1"时，焊接前应先采用手工氩弧焊机进行不加丝对称点焊预连接，点焊时管内应通入高纯氩气进行保护，点焊后应对焊点进行洁净处理，并应用洁净胶带密封焊接接头；2焊机应采用专门使用配电箱，当电源电压不稳定时应采用自动稳压装置供电。焊机本体应可靠接地；3焊接时的保护气体流量应以做焊接样品的保护气体流量为基准；施工过程中应连续充气保护。施工中断时可降低充气流量，但应确保管内呈正压；4 每一个系统焊接完成后，均应充高纯气或氮气正压保护；5外焊缝宽度应为管壁厚度的2.5倍~4.0倍，内焊缝宽度不应小于外焊缝宽度的2/3倍，焊缝不应有裂纹、未焊透、未熔合焊接缺陷，不得有气孔、夹渣、咬边等缺陷。焊缝错边量不应大于管壁厚度的10%，管内、外焊缝凹、凸起高度不应大于管道壁厚的10%。在施工过程中，采取必要的安全措施，如佩戴防护用品、设置警示标志等，确保施工人员的安全和健康。

以下是特气管道安装的一般步骤：1. 规划和设计：在安装特气管道之前，需要对整个系统进行规划和设计。这包括确定管道的路线、长度、直径、材质等，以及选择适当的气体控制设备和监测设备。2. 材料选择：特气管道的材质需要根据输送的气体种类和压力等因素进行选择。一般来说，不锈钢、铜、铝等材料是常用的特气管道材料。3. 管道加工和安装：特气管道的加工和安装需要遵循相关的标准和规范，以确保管道的密封性和可靠性。在安装过程中，需要注意避免管道受到污染和损坏。特气管道安装时，在管子对口前应检查平直度，在距离接口中心200mm处测量。检验科特气管道安装设计

对施工过程进行质量控制，确保管道的安装质量符合相关标准和要求。浙江检验科特气管道安装规范

硅烷特气柜设计要求：1、因为硅烷（SiH4）的危险性，所以整套系统应该配备惰性吹扫装置，而且应该设置单独的惰性气体钢瓶（比如高压N2）进行吹扫，不得采用管道氮气吹扫。2、硅烷（SiH4）与空气会自燃，柜内应配备气体泄露侦测器、火焰探测器等，当发生泄漏时，能及时报警处理，避免更大事故的发生。3、硅烷系统的排气管不得接入排风系统，硅烷和硅烷混合物排气系统应该单独于其它气体排气系统。4、如果排气的硅烷（SiH4）浓度较高时，应采用燃烧式尾气处理装置处理后排入大气。5、由于存在通过系统的固定惯性气流，要设有防止回流装置。6、排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m/s。浙江检验科特气管道安装规范